一种汽化器的制作方法

1.本实用新型涉及汽化器技术领域，尤其涉及一种汽化器。


背景技术：

2.一般的显示面板、pcb(printed circuit board，印刷电路板)以及医疗器械等产品为了提高耐腐蚀性以及抗氧化性能，会在器件的最外层进行镀膜操作以对器件形成保护。在镀膜操作中一般选取派瑞林作为镀膜操作的原料。而由于派瑞林是对二甲苯(p
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xylene)的聚合物，所以在镀膜操作中会将派瑞林二聚体内置于汽化器内部，使用加热固体派瑞林二聚体的方法将派瑞林二聚体升华。
3.现有汽化器一般采用在汽化器外部配置热线加热器的方式来升华派瑞林二聚体。但该方式中热线加热器与汽化器的接触面积有限，这就使得汽化器的尺寸增大后，汽化器内部温度不均匀，从而导致蒸镀工艺不均匀及发生堵塞现象。


技术实现要素：

4.本实用新型实施例提供了一种汽化器，上述汽化器通过改变内部结构设计，可以提高汽化器内部温度均匀性，从而可以保证蒸镀工艺的均匀性以及避免设备堵塞。
5.为达到上述目的，本实用新型提供以下技术方案：
6.一种汽化器，包括：
7.汽化器主体；
8.外壳，所述外壳设于所述汽化器主体外侧，且所述外壳与所述汽化器主体间形成用于容纳流体的容纳腔；所述容纳腔具有输入口和输出口，且所述输入口与所述输出口设于所述容纳腔的相对两侧；
9.用于调节所述容纳腔内流体温度的温度控制系统，所述温度控制系统通过连接管路与所述容纳腔的输入口以及所述容纳腔的输出口连接，以在所述容纳腔与所述温度控制系统间形成流体的流动通道；
10.设于所述流动通道的流体泵，所述流体泵用于使所述流体在所述容纳腔内沿所述容纳腔的输入口至所述容纳腔的输出口方向流动。
11.上述汽化器中，汽化器包括汽化器主体、外壳、温度控制系统以及流体泵，其中，外壳套设在汽化器主体的外侧，且该壳体与汽化器主体间形成容纳腔；温度控制系统通过连接管路与容纳腔的输入口和输出口连接。在使用上述汽化器时，可将原料置于汽化器主体内部；设置于温度控制系统与容纳腔间形成的流动通道上的流体泵会对通道内流体施压，使得容纳腔内流体沿输入口至输出口方向流动。具体来看上述流动通道内流体的流动方向：温度控制系统加热后输出的较高温度的流体经连接管路由输入口进入容纳腔；在容纳腔内流体沿输入口至输出口方向流动，且在流动过程中，流体与汽化器主体位于容纳腔的部分充分接触并向汽化器主体传递热量；在流体经输出口流出容纳腔后、流体经连接管路回到温度控制系统。
12.本实用新型提供的汽化器可以通过调节温度控制系统输出的流体温度，使得流体经输入口进入容纳腔后，可按照所需温度对汽化器主体进行加热，满足汽化器主体内部的蒸镀需求。同时，本实用新型提供的汽化器将输入口与输出口设置于容纳腔的相对两侧，当流体在容纳腔内沿输入口至输出口方向流动过程中，流体与汽化器主体位于容纳腔的部分更加充分地接触，可以向汽化器主体均匀地传导更多的热量。基于此，在汽化器主体接收到均匀的温度后，可以在汽化器内部形成一定的内压，使得汽化器主体内部的蒸镀材料可以升华并汽化，从而可以实现蒸镀的均匀性。
13.因此，上述汽化器通过改变内部结构设计，可以提高汽化器内部温度均匀性，从而可以保证蒸镀工艺的均匀性以及避免设备堵塞。
14.优选地，所述温度控制系统包括用于对流体进行温度调节的热交换器，所述连接管路包括第一连接管路和第二连接管路，其中：
15.所述热交换器的出口通过所述第一连接管路与所述容纳腔的输入口连接；
16.所述热交换器的入口通过所述第二连接管路与所述容纳腔的输出口连接。
17.优选地，还包括：
18.设于所述第一连接管路、且位于所述第一连接管路靠近所述热交换器的出口位置的第一热电偶，所述第一热电偶用于监测所述热交换器输出的流体温度；
19.设于所述第二连接管路、且位于所述第二连接管路靠近所述热交换器的入口位置的第二热电偶，所述第二热电偶用于检测输入所述热交换器的流体温度。
20.优选地，还包括：
21.设于所述容纳腔的输入口位置的第三热电偶，所述第三热电偶用于监测输入所述容纳腔的流体温度；
22.设于所述容纳腔的输出口位置的第四热电偶，所述第四热电偶用于监测所述容纳腔流出的流体温度。
23.优选地，所述热交换器包括热交换腔室、用于对流体进行加热的加热器、用于对流体进行冷却的冷却器和控制装置，其中，所述加热器与所述冷却器设于所述热交换腔室；所述控制装置分别与所述加热器以及所述冷却器连接，以控制所述热交换腔室内的流体温度。
24.优选地，所述加热器包括至少一个加热单元，所述至少一个加热单元中的每个加热单元包括控制部和加热销，所述控制部与所述控制装置连接，且所述控制部设于所述热交换腔室的外侧；所述加热销与所述控制部连接，且所述加热销自所述热交换器的外侧探入所述热交换腔室的内部。
25.优选地，所述冷却器包括沿所述热交换器的入口至所述热交换器的出口方向延伸的冷却水管，所述冷却水管的外表面设有至少一个冷却销。
26.优选地，所述热交换腔室包括相对设置的两个腔室内壁，且所述两个腔室内壁的排列方向与所述热交换器的入口至所述热交换器的出口方向垂直；所述两个腔室内壁中的每个所述腔室内壁上设有多个加热销，且所述冷却水管在朝向所述两个腔室内壁中的每个腔室内壁的一侧设有多个冷却销；在所述冷却水管与每个所述腔室内壁间：
27.设置于所述冷却水管的所述冷却销与设置于所述腔室内壁的所述加热销交替排列。
28.优选地，还包括用于降低所述冷却水管内液体温度的散热器，所述散热器置于所述热交换腔室的外侧、且与所述冷却水管连接。
29.优选地，还包括用于回收所述连接管路内流体的流体回收装置，所述流体回收装置包括用于储存流体的储存箱和设于所述储存箱与所述连接管路间的阀门。
附图说明
30.图1为本实用新型实施例提供的一种汽化器的结构示意图；
31.图2为图1中汽化器主体和壳体的放大示意图；
32.图3为图1中温度控制系统的结构示意图；
33.图4为本实用新型实施例提供的一种汽化器的又一结构示意图。
34.附图标记：10
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汽化器主体；20
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外壳；201
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输入口；202
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输出口；30
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温度控制系统；301
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热交换腔室；302
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加热器；3021
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控制部；3022
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加热销；303
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冷却器；3031
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冷却水管；3032
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冷却销；3033
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第五热电偶；3034
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第六热电偶； 40
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流体泵；50
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第一热电偶；60
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第二热电偶；70
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第三热电偶；80
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第四热电偶； 90
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阀门；100
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散热器；110
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储存箱；120
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阀门。
具体实施方式
35.为了使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
36.请参考图1和图2，本实用新型提供了一种汽化器，包括：
37.汽化器主体10；
38.外壳20，外壳20设于汽化器主体10外侧，且外壳20与汽化器主体10 间形成用于容纳流体的容纳腔a，示例性的，该流体可以水或者矿物油；容纳腔a具有输入口201和输出口202，且输入口201与输出口202设于容纳腔a 的相对两侧；
39.用于调节容纳腔a内流体温度的温度控制系统30，温度控制系统30通过连接管路与容纳腔a的输入口201以及容纳腔a的输出口202连接，以在容纳腔a与温度控制系统30间形成流体的流动通道；
40.设于流动通道的流体泵40，流体泵40用于使流体在容纳腔a内沿容纳腔 a的输入口201至容纳腔a的输出口202方向流动。
41.上述汽化器中，汽化器包括汽化器主体10、外壳20、温度控制系统30以及流体泵40，其中，外壳20套设在汽化器主体10的外侧，且该壳体与汽化器主体10间形成容纳腔a；温度控制系统30通过连接管路与容纳腔a的输入口 201和输出口202连接。在使用上述汽化器时，可将原料置于汽化器主体10 内部，示例性的原料为派瑞林二聚体；设置于温度控制系统30与容纳腔a间形成的流动通道上的流体泵40会对通道内流体施压，使得容纳腔a内流体沿输入口201至输出口202方向流动。具体来看上述流动通道内流体的流动方向：温度控制系统30加热后输出的较高温度的流体经连接管路由输入口201进入容纳腔a；在容纳腔a内流体沿输入口201至输出口202方向流动，且在流动过程中，流体与汽化器主体10位于容纳腔a的部分充分接触并向汽化器主体 10传递热量；在流体经输出口202流出容纳腔a后、流
体经连接管路回到温度控制系统30。
42.本实用新型提供的汽化器可以通过调节温度控制系统30输出的流体温度，使得流体经输入口201进入容纳腔a后，可按照所需温度对汽化器主体10进行加热，满足汽化器主体10内部的蒸镀需求。同时，本实用新型提供的汽化器将输入口201与输出口202设置于容纳腔a的相对两侧，当流体在容纳腔a 内沿输入口201至输出口202方向流动过程中，流体与汽化器主体10位于容纳腔a的部分更加充分地接触，可以向汽化器主体10均匀地传导更多的热量。基于此，在汽化器主体10接收到均匀的温度后，可以在汽化器内部形成一定的内压，使得汽化器主体10内部的蒸镀材料可以升华并汽化，从而可以实现蒸镀的均匀性。
43.因此，上述汽化器通过改变内部结构设计，可以提高汽化器内部温度均匀性，从而可以保证蒸镀工艺的均匀性以及避免设备堵塞。
44.在上述技术方案的基础上，一种可能的实现方式中，请继续参考图1，温度控制系统30包括用于对流体进行温度调节的热交换器，连接管路具体包括第一连接管路和第二连接管路，其中：热交换器的出口通过第一连接管路与容纳腔a的输入口201连接；热交换器的入口通过第二连接管路与容纳腔a的输出口202连接。
45.请继续参考图1，在上述技术方案的基础上，作为一种优选实施方式，本实用新型实施例提供的汽化器还包括：设于第一连接管路、且位于第一连接管路靠近热交换器的出口位置的第一热电偶50，第一热电偶50用于监测热交换器输出的流体温度；设于第二连接管路、且位于第二连接管路靠近热交换器的入口位置的第二热电偶60，第二热电偶60用于检测输入热交换器的流体温度。
46.需要说明的是，通过在热交换腔室301的两侧设置第一热电偶50和第二热电偶60，可以实时监测热交换器中完成温度控制后流出的流体温度。
47.在上述技术方案的基础上，作为一种优选实施方式，请继续参考图1，本实用新型实施例提供的还包括：设于容纳腔a的输入口201位置的第三热电偶 70，第三热电偶70用于监测输入容纳腔a的流体温度；设于容纳腔a的输出口202位置的第四热电偶80，第四热电偶80用于监测容纳腔a流出的流体温度。
48.需要说明的是，通过在容纳腔a内部设置第三热电偶70和第四热电偶80，可以实时监测容纳腔a内的流体温度，从而通过温度控制系统30实时调整温度控制系统30输出的流体温度。
49.在上述技术方案的基础上，结合图1具体介绍一下热交换器，热交换器包括热交换腔室301、用于对流体进行加热的加热器302、用于对流体进行冷却的冷却器303和控制装置，其中，加热器302与冷却器303设于热交换腔室301；控制装置分别与加热器302以及冷却器303连接，以控制热交换腔室301内的流体温度。这里使用的加热器302示例性的可以是片型加热器302、带型加热器302或者板加热器302，具体可以根据需求进行选择，在此不再赘述。
50.应理解，本实用新型提供的汽化器中输入容纳腔a的流体在热交换器腔室通过由加热器302及冷却器303构成的热交换器系统进行pid控制，从而可以进行准确的温度管理。
51.示例性的，控制装置根据第三热电偶70与第四热电偶80读取的流体温度的差值进行pid控制，具体控制加热器302为进入热交换腔室301的流体提供热能；另外，还可通过控制冷却器303调节热交换腔室301内部的流体温度，甚至在热交换腔室301出现瞬间温度上
升时及时进行温度调节，避免过热现象发生。
52.需要说明的是，本实用新型提供的汽化器可以通过控制加热器302和冷却器303实时调节并控制热交换腔室301内的温度，从而保证对流体温度的准确调节。
53.至于加热器302与冷却器303的结构，一种可能的实现方式中，如图3所示出的结构：
54.加热器302包括至少一个加热单元，至少一个加热单元中的每个加热单元包括控制部3021和加热销3022，控制部3021与控制装置连接，且控制部3021 设于热交换腔室301的外侧；加热销3022与控制部3021连接，且加热销3022 自热交换器的外侧探入热交换腔室301的内部。
55.而冷却器303包括沿热交换器的入口至热交换器的出口方向延伸的冷却水管3031，冷却水管3031的外表面设有至少一个冷却销3032。
56.需要说明的是，热交换腔室301内的冷却销3032与加热销3022的数目可根据需求进行设置，在此不再进行赘述。
57.以加热器302包括多个加热单元，且冷却水管3031表面设有多个冷却销 3032为例提供一种具体的热交换器结构：
58.如图3中的方案，热交换腔室301包括相对设置的两个腔室内壁，两个腔室内壁沿图3中方向a排列。具体来说，此处方向a与热交换器的入口至热交换器的出口方向垂直；两个腔室内壁中的每个腔室内壁上设有多个加热销3022，且冷却水管3031在朝向两个腔室内壁中的每个腔室内壁的一侧设有多个冷却销3032；在冷却水管3031与每个腔室内壁间：
59.设置于冷却水管3031的冷却销3032与设置于腔室内壁的加热销3022交替排列。
60.需要说明的是，加热销3022以一定的间距设于腔室内壁上，且加热销3022 凸出于腔室内壁以“之”字形连接构成，流体接触加热销3022就可以传导接收热量。同时，流体通过“之”字形连接的加热销3022时会形成涡流。热交换腔室301内设置的冷却水管3031内可以经用于发挥冷却作用的冷媒经过，同时冷却水管3031上也设置有“之”字形排列的冷却销3032。请继续参考图 3，在冷却水管3031与每个腔室内壁间：设置于冷却水管3031的冷却销3032 与设置于腔室内壁的加热销3022交替排列，且冷却销3032和加热销3022互不接触。
61.在上述技术方案的基础上，如图3所示本实用新型实施例提供的汽化器还包括用于降低冷却水管3031内液体温度的散热器100，散热器100置于热交换腔室301的外侧、且与冷却水管3031连接。应理解，可以在冷却水管3031与散热器100间设置如图1所示出的阀门90，且通过该阀门90的开合控制可以调节冷却水管3031内的冷却液流速，从而影响热交换腔室301内的流体温度。
62.具体的，冷媒经过散热器100冷却至所需的一定温度后，冷媒随着阀门的开闭来调节流量向热交换腔室301进行供给。
63.当然，如图3所示，还可以在散热器100与冷却水管3031连接的管路靠近热交换器的入口的位置设置第五热电偶3033，以及，在散热器100与冷却水管3031连接的管路靠近热交换器的出口的位置设置第六热电偶3034。需要说明的是，该第五热电偶3033与第六电偶均可读取流体流经时的温度，控制装置可根据第五热电偶3033与第六热电偶3034读取的示数实时调节冷却器303。
64.本实用新型提供的汽化器还包括用于回收连接管路内流体的流体回收装置，该流
体回收装置是在对整个设备进行维护保养的时候，排空连接管路中的流体。示例性的，如图4所示，流体回收装置包括用于储存流体的储存箱110 和设于储存箱110与连接管路间的阀门120。
65.应理解，可以根据需求将上述阀门120选取为电磁阀，同时设置该阀门120 可以进行正向及逆向旋转，从而可以调节流体的方向,使得连接管路中的流体回收至储存箱110中。
66.显然，本领域的技术人员可以对本实用新型进行各种改动和变型而不脱离本实用新型的精神和范围。这样，倘若本实用新型的这些修改和变型属于本技术权利要求及其等同技术的范围之内，则本实用新型也意图包含这些改动和变型在内。