一种真空密闭的MPCVD装置的制作方法

一种真空密闭的mpcvd装置
技术领域
1.本实用新型涉及一种mpcvd装置，具体是一种真空密闭的mpcvd装置，属于mpcvd装置技术领域。


背景技术：

2.微波等离子体化学气相沉积(microwave plasma chemical vapor deposition)简称mpcvd，是一种将微波发生器产生的微波用波导管经隔离器进入反应室，在微波的激励下，使反应室中的气体分子电离产生等离子体，在衬底上沉积得到金刚石膜。
3.但是，现有的真空密闭的mpcvd装置在使用时并不能够对其内部是为真空状态进行实时监测，功能单一，同时，现有的真空密闭的mpcvd装置在使用时，并不能够对连接处进行密封。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的就在于为了解决上述问题而提供一种真空密闭的mpcvd装置，功能多样，可大大的提高连接处的密封效果。
5.本实用新型通过以下技术方案来实现上述目的，一种真空密闭的mpcvd装置，包括上盖板，所述上盖板的一侧设置有安装孔一，所述安装孔一的内侧壁上固定安装有连接管，所述上盖板的一侧设置有外壳，所述外壳的一侧设置有安装孔二，所述外壳通过所述安装孔二套设在连接管上，所述外壳内设置有气囊，所述气囊固定安装在所述连接管的一端，所述外壳顶部的内侧壁上设置有安装槽一，所述安装槽一的内侧壁上固定安装有弹簧一，所述弹簧一的一端固定安装有安装板，所述安装板的底部设置有安装槽二，所述安装槽二的内侧壁上固定安装有电极片一，所述气囊顶部固定安装有电极片二，所述上盖板的一侧设置有安装孔三，所述安装孔三的内侧壁上固定安装有真空泵，所述电极片一和电极片二通过电线与所述真空泵连接。
6.优选的，为了便于对沉积台进行安装，所述上盖板上设置有安装孔四，所述安装孔四内穿设有沉积台。
7.优选的，为了便于与安装块进行连接，所述上盖板的底部设置有安装孔五，所述安装孔五的内侧壁上固定安装有矩形波导。
8.优选的，为了便于对弹簧二进行连接，所述矩形波导的一端设置有安装槽三，所述安装槽三的内侧壁上固定安装有安装块。
9.优选的，为了便于与密封环进行连接，所述安装块上设置有安装槽四，所述安装槽四的内侧壁上固定安装有弹簧二。
10.优选的，为了增加密封环的密封效果，所述密封环固定安装在所述弹簧二的一端。
11.本实用新型的有益效果是：
12.1、当使用者将矩形波导与外界设备进行连接时，弹簧可通过自身的弹力将密封环顶在连接处，从而可对连接处进行密封，进而可大大的提高连接处的密封效果。
13.2、当本实用新型内处于非真空状态时，上盖板内的气体可通过连接管进入气囊内，从而可使气囊膨胀，从而气囊可将电极片二顶起，进而可使电极片一与电极片二连接通电，进而可使真空泵通电工作，真空泵通电工作后可对上盖板内的气体进行抽取，从而可维持本实用新型的真空状态。
附图说明
14.图1为本实用新型的整体结构示意图。
15.图2为本实用新型外壳的剖面图。
16.图3为本实用新型安装槽四的剖面图。
17.图中：1、上盖板，2、连接管，3、外壳，4、气囊，5、弹簧一，6、安装板，7、电极片一，8、电极片二，9、真空泵，10、沉积台，11、矩形波导，12、安装块，13、弹簧二，14、密封环。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1
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3所示，一种真空密闭的mpcvd装置，包括上盖板1，上盖板1的一侧设置有安装孔一，安装孔一的内侧壁上固定安装有连接管2，上盖板1的一侧设置有外壳3，外壳3的一侧设置有安装孔二，外壳3通过安装孔二套设在连接管2上，外壳3内设置有气囊4，气囊4固定安装在连接管2的一端，外壳3顶部的内侧壁上设置有安装槽一，安装槽一的内侧壁上固定安装有弹簧一5，弹簧一5的一端固定安装有安装板6，安装板6的底部设置有安装槽二，安装槽二的内侧壁上固定安装有电极片一7，气囊4顶部固定安装有电极片二8，上盖板1的一侧设置有安装孔三，安装孔三的内侧壁上固定安装有真空泵9，电极片一7和电极片二8通过电线与真空泵9连接。
20.作为本实用新型的一种技术优化方案，上盖板1上设置有安装孔四，安装孔四内穿设有沉积台10，上盖板1的底部设置有安装孔五，安装孔五的内侧壁上固定安装有矩形波导11，矩形波导11的一端设置有安装槽三，安装槽三的内侧壁上固定安装有安装块12，安装块12上设置有安装槽四，安装槽四的内侧壁上固定安装有弹簧二13，密封环14固定安装在弹簧二13的一端，当使用者将矩形波导11与外界设备进行连接时，弹簧可通过自身的弹力将密封环14顶在连接处，从而可对连接处进行密封，进而可大大的提高连接处的密封效果。
21.本实用新型在使用时，使用者可先检查该实用新型上的各个部件是否完善，当使用者将矩形波导11与外界设备进行连接时，弹簧可通过自身的弹力将密封环14顶在连接处，从而可对连接处进行密封，进而可大大的提高连接处的密封效果，当本实用新型内处于非真空状态时，上盖板1内的气体可通过连接管2进入气囊4内，从而可使气囊4膨胀，从而气囊4可将电极片二8顶起，进而可使电极片一7与电极片二8连接通电，进而可使真空泵9通电工作，真空泵9通电工作后可对上盖板1内的气体进行抽取，从而可维持本实用新型的真空状态。
22.对于本领域技术人员而言，显然本实用新型不限于上述示范性实施例的细节，而
且在不背离本实用新型的精神或基本特征的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用新型。因此，无论从哪一点来看，均应将实施例看作是示范性的，而且是非限制性的，本实用新型的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用新型内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
23.此外，应当理解，虽然本说明书按照实施方式加以描述，但并非每个实施方式仅包含一个独立的技术方案，说明书的这种叙述方式仅仅是为清楚起见，本领域技术人员应当将说明书作为一个整体，各实施例中的技术方案也可以经适当组合，形成本领域技术人员可以理解的其他实施方式。