一种蒸镀机的加热装置的制作方法

本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种蒸镀机的加热装置。

背景技术：

在真空环境中，将材料加热并镀到基片上称为真空蒸镀，或叫真空镀膜。蒸镀是将待成膜的物质置于真空中进行蒸发或升华，使之在工件或基片表面析出的过程。

真空蒸镀工艺中一个较为重要的部件为坩埚和坩埚加热罩，目前材料利用率较高的坩埚为线源坩埚，其主要是通过在加热罩四周缠绕电热丝，通过热辐射对坩埚进行加热，使坩埚内的有机材料融化并蒸发，并通过对电热丝进行功率控制，使坩埚能够长时间维持同一温度进行蒸镀，以保证镀率的稳定性，进而控制成膜均匀性。

目前的坩埚的温控大部分采用输入所需温度后，由电脑进行功率输入控制，并且保持输入功率，但当部分区域温度有变化时，无法进行动态调整，由此可能造成局部镀率不均匀，影响成膜均匀性，为改善上述问题，中国专利授权号为cn210596239u公开了一种用于蒸镀机的坩埚，包括坩埚，坩埚的外侧壁上包裹着坩埚加热罩，坩埚加热罩包括至少两个坩埚加热区，每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置；通过在坩埚加热罩上设置有至少两个坩埚加热区，每一个坩埚加热区上设置有一组坩埚加热装置，与坩埚加热装置连接的外部控制机构能根据各区的设定温度，控制坩埚加热装置，实时调整坩埚上各区的加热温度，使蒸镀过程中坩埚的整体镀率能够更加均匀，保证有机膜成膜的均匀性。

上述装置通过在对工件进行镀膜时，由于工件直接与坩埚加热罩表面接触，其接触的位置镀膜效果较差，导致镀膜不均匀。

技术实现要素：

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种蒸镀机的加热装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种蒸镀机的加热装置，包括上下设置的坩埚盖加热罩和坩埚加热罩，所述坩埚盖加热罩上端固定连接有磁力盒，所述坩埚加热罩下端固定连接有支撑脚，所述磁力盒中设置有铜导线线圈，所述坩埚加热罩外壁固定连接有控制器，所述坩埚加热罩相对的两侧端均焊接有第一搭座，所述坩埚盖加热罩相对的两侧端同样焊接有与第一搭座相匹配的第二搭座，所述第二搭座与第一搭座之间固定连接有第一电动推杆。

优选的，所述坩埚加热罩一侧上端固定连接有固定座，所述固定座上固定连接有冷却罩，所述冷却罩中设置有冷却风扇。

优选的，所述坩埚加热罩上连接有清理构件。

优选的，所述清理构件包括刮架、横杆和一对支撑滑杆，所述刮架位于坩埚加热罩内侧，所述横杆位于坩埚加热罩外侧，所述坩埚加热罩上设置有一对与支撑滑杆相匹配的滑孔，所述支撑滑杆两端分别与刮架和横杆固定连接。

优选的，所述坩埚加热罩外侧壁焊接有固定架，所述固定架与横杆之间固定连接有第二电动推杆。

优选的，所述支撑滑杆和横杆均为绝缘隔热材料。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种蒸镀机的加热装置，具备以下有益效果：

1.通过在坩埚盖加热罩上端固定连接内设铜导线线圈的磁力盒，将待镀膜的工件放置在坩埚加热罩中，对于能够被磁力吸引的工件，可将磁力盒中的铜导线线圈通电使其对工件产生向上的拉力，从而使得工件处于悬浮状态，此时可实现工件的全面的全面均匀镀膜，提高镀膜质量。

2.通过在坩埚加热罩一侧上端固定连接有固定座，固定座上固定连接有冷却罩，冷却罩中设置有冷却风扇，加热结束后，启动第一电动推杆向上推动坩埚盖加热罩，在磁力盒的磁力作用下，工件随之上移接受风冷，加快工件的冷却速度。

3.通过在坩埚加热罩外侧壁焊接有固定架，固定架与横杆之间固定连接有第二电动推杆，启动第二电动推杆，可实现自动化驱动刮架对坩埚盖加热罩和坩埚加热罩的部分内壁进行清理，节省人工劳动力。

该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型可使得工件处于悬浮状态，从而实现工件的全面的全面均匀镀膜，提高镀膜质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种蒸镀机的加热装置打开坩埚盖加热罩状态下的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种蒸镀机的加热装置闭合坩埚盖加热罩状态下的结构示意图；

图3为本实用新型提出的一种蒸镀机的加热装置去除坩埚盖加热罩状态下的结构示意图。

图中：1-坩埚加热罩、2-坩埚盖加热罩、3-控制器、4-第一搭座、5-第一电动推杆、6-第二搭座、7-磁力盒、8-横杆、9-固定座、10-冷却罩、11-固定架、12-第二电动推杆、13-支撑滑杆、14-刮架。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。

在本专利的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“设置”应做广义理解，例如，可以是固定相连、设置，也可以是可拆卸连接、设置，或一体地连接、设置。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利中的具体含义。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

实施例1

参照图1-3，一种蒸镀机的加热装置，包括上下设置的坩埚盖加热罩2和坩埚加热罩1，坩埚盖加热罩2上端固定连接有磁力盒7，坩埚加热罩1下端固定连接有支撑脚，磁力盒7中设置有铜导线线圈，坩埚加热罩1外壁固定连接有控制器3，坩埚加热罩1相对的两侧端均焊接有第一搭座4，坩埚盖加热罩2相对的两侧端同样焊接有与第一搭座4相匹配的第二搭座6，第二搭座6与第一搭座4之间固定连接有第一电动推杆5。

本实用新型中，坩埚加热罩1一侧上端固定连接有固定座9，固定座9上固定连接有冷却罩10，冷却罩10中设置有冷却风扇，加热结束后，启动第一电动推杆5向上推动坩埚盖加热罩2，在磁力盒7的磁力作用下，工件随之上移接受风冷，加快工件的冷却速度，需要取下工件时，只需关闭磁力盒7中的铜导线线圈即可。

其中，坩埚加热罩1上连接有清理构件，清理构件包括刮架14、横杆8和一对支撑滑杆13，刮架14位于坩埚加热罩1内侧，横杆8位于坩埚加热罩1外侧，坩埚加热罩1上设置有一对与支撑滑杆13相匹配的滑孔，支撑滑杆13两端分别与刮架14和横杆8固定连接，加热结束后，可手持横杆8通过支撑滑杆13拉动支撑滑杆13对坩埚盖加热罩2和坩埚加热罩1的部分内壁进行清理，刮除结晶。

其中，支撑滑杆13和横杆8均为绝缘隔热材料，便于操作人员手持操作，另外，可有效防止坩埚加热罩1内部热量的散失。

工作原理：打开坩埚盖加热罩2，将待镀膜的工件放置在坩埚加热罩1中，对于能够被磁力吸引的工件，可将磁力盒7中的铜导线线圈通电使其对工件产生向上的拉力，从而使得工件处于悬浮状态，此时可实现工件的全面的全面均匀镀膜，提高镀膜质量；镀膜结束后，启动第一电动推杆5向上推动坩埚盖加热罩2，在磁力盒7的磁力作用下，工件随之上移接受风冷，加快工件的冷却速度，需要取下工件时，只需关闭磁力盒7中的铜导线线圈即可。

实施例2

参照图1-3，一种蒸镀机的加热装置，本实施例相较于实施例1，坩埚加热罩1外侧壁焊接有固定架11，固定架11与横杆8之间固定连接有第二电动推杆12，启动第二电动推杆12，可实现自动化驱动刮架14对坩埚盖加热罩2和坩埚加热罩1的部分内壁进行清理，节省人工劳动力。

需要进一步说明的是，本申请文件中使用到的电性控制方式是通过控制器3来自动控制，并利用外部电源供电，控制器3的控制电路通过本领域的技术人员简单编程即可实现，属于本领域的公知常识，并且本申请文主要用来保护机械装置，所以本申请文不再详细解释控制方式和电路连接。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。