1.本发明涉及蒸发料的技术领域，特别是涉及一种异型金靶加工工艺。
背景技术：
2.金靶为用于电子芯片镀层的高纯度贵金属，金靶的尺寸和外观质量尤为重要，产品表面应清洁，不应有拉伸润滑痕迹、油污、黑斑等，加工时需要使用化学用品对表面进行清洁处理，但是由于化学药品的挥发，容易对环境产生污染。
3.现有技术中， cn 108987273 a公开了钛蒸发料的制备方法和钛蒸发料，通过对原料钛进行预处理、酸洗、研磨及后处理，获得了钛蒸发料，通过优化酸洗和研磨参数，制备出符合要求的高纯钛蒸发料，但是其酸洗和研磨时，容易消耗蒸发料和损伤蒸发料的表面，且酸洗所采用的酸为硫酸、盐酸、磷酸、硝酸、铬酸或氢氟酸中的至少一种，很容易产生有害废气，污染环境，环保性能差。
技术实现要素：
4.本发明主要解决的技术问题是提供一种异型金靶加工工艺，废气和噪声的排放较低，环保性能好，对环境不会造成污染，其工艺简单，工作效率高，处理时不需要研磨和酸洗，不易损伤质地较软的产品，提高了产品的质量，使产品的市场综合竞争力得到提升。
5.为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种异型金靶加工工艺，包括以下具体步骤：a、加热：将原料金块放入加热炉内，将加热炉内的温度升高至1060-1070℃之间，同时加热炉内通入惰性气体保护，使原料金块达到熔融状态形成黄金液；b、成型：将熔融状态的黄金液倒入模具中冷却成型；c、机加工：将成型后的产品按要求用刨床、车床进行机加工，制成金靶半成品；d、精加工：经过机加工的金靶半成品按要求进行精密加工以达到产品金靶的尺寸和精度；e、清洗：将加工完成的金靶放入超声波清洗机内，然后用清洗剂擦拭清洁，去除表面污渍，清洗完成后取出至室温下晾干；f、入库：清洗晾干完成后即为金靶成品，检验是否合格，如合格包装入库。
6.在本发明一个较佳实施例中，所述原料金块采用纯度为99.99%的4n金。
7.在本发明一个较佳实施例中，所述加热炉采用电加热的加热方式。
8.在本发明一个较佳实施例中，所述惰性气体采用氩气。
9.在本发明一个较佳实施例中，所述冷却成型时的温度为160-360℃。
10.在本发明一个较佳实施例中，所述清洗剂采用酒精。
11.在本发明一个较佳实施例中，所述金靶成品的结构为圆形或方形。
12.本发明的有益效果是：本发明提供的一种异型金靶加工工艺，废气和噪声的排放较低，环保性能好，对环境不会造成污染，其工艺简单，工作效率高，处理时不需要研磨和酸
洗，不易损伤质地较软的产品，提高了产品的质量，使产品的市场综合竞争力得到提升。
附图说明
13.图1是本发明异型金靶加工工艺一较佳实施例的流程图。
具体实施方式
14.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。
15.如图1所示，本发明实施例包括：实施例1：一种异型金靶加工工艺，包括以下具体步骤：a、加热：将原料金块放入加热炉内，将加热炉内的温度升高至1060℃之间，同时加热炉内通入惰性气体保护，使原料金块达到熔融状态形成黄金液；b、成型：将熔融状态的黄金液倒入模具中冷却成型，冷却成型时的温度为160℃；c、机加工：将成型后的产品按要求用刨床、车床进行机加工，制成金靶半成品；d、精加工：经过机加工的金靶半成品按要求进行精密加工以达到产品金靶的尺寸和精度；e、清洗：将加工完成的金靶放入超声波清洗机内，然后用清洗剂擦拭清洁，去除表面污渍，清洗完成后取出至室温下晾干；f、入库：清洗晾干完成后即为金靶成品，检验是否合格，如合格包装入库。
16.上述中，所述原料金块采用纯度为99.99%的4n金，其质地较软，容易损伤，但是其纯度比较高，熔融后不需要过滤杂质，减少了加工的工序，提高了工作效率。其中，所述金靶成品的结构为圆形。
17.其中，所述加热炉采用电加热的加热方式，加热效率快，同时达到了环保的要求，不易污染环境。
18.本实施例中，所述惰性气体采用氩气。加热炉内的空气中含约18%的氧气，通过充入氩气来置换加热炉中的空气，以避免在熔炼过程中有可能发生的金属氧化，保证了产品的质量。
19.进一步的，所述清洗剂采用酒精，清洗效果好，可有效去除产品表面污渍，同时不易污染环境。
20.实施例2：一种异型金靶加工工艺，包括以下具体步骤：a、加热：将原料金块放入加热炉内，将加热炉内的温度升高至1070℃之间，同时加热炉内通入惰性气体保护，使原料金块达到熔融状态形成黄金液；b、成型：将熔融状态的黄金液倒入模具中冷却成型，冷却成型时的温度为360℃；c、机加工：将成型后的产品按要求用刨床、车床进行机加工，制成金靶半成品；d、精加工：经过机加工的金靶半成品按要求进行精密加工以达到产品金靶的尺寸
和精度；e、清洗：将加工完成的金靶放入超声波清洗机内，然后用清洗剂擦拭清洁，去除表面污渍，清洗完成后取出至室温下晾干；f、入库：清洗晾干完成后即为金靶成品，检验是否合格，如合格包装入库。
21.上述中，所述原料金块采用纯度为99.99%的4n金，其质地较软，容易损伤，但是其纯度比较高，熔融后不需要过滤杂质，减少了加工的工序，提高了工作效率。其中，所述金靶成品的结构为方形。
22.其中，所述加热炉采用电加热的加热方式，加热效率快，同时达到了环保的要求，不易污染环境。
23.本实施例中，所述惰性气体采用氩气。加热炉内的空气中含约32%的氧气，通过充入氩气来置换加热炉中的空气，以避免在熔炼过程中有可能发生的金属氧化，保证了产品的质量。
24.进一步的，所述清洗剂采用酒精，清洗效果好，可有效去除产品表面污渍，同时不易污染环境。
25.本发明提供的一种异型金靶加工工艺与现有技术的区别特征为：1、加热炉内的空气中有氧气，通过充入氩气来置换加热炉中的空气，以避免在熔炼过程中有可能发生的金属氧化，不需要研磨处理，保证了产品的质量；2、原料金块采用纯度为99.99%的4n金，纯度比较高，熔融后不需要过滤杂质，减少了加工的工序，提高了工作效率；3、采用超声波清洗机进行清洗，清洗效果好，使用时噪声小，且不易损伤质地较软的产品，保证了产品的质量；4、清洗剂采用酒精，清洗效果好，可有效去除产品表面污渍，同时不易污染环境。
26.综上所述，本发明提供的一种异型金靶加工工艺，废气和噪声的排放较低，环保性能好，对环境不会造成污染，其工艺简单，工作效率高，处理时不需要研磨和酸洗，不易损伤质地较软的产品，提高了产品的质量，使产品的市场综合竞争力得到提升。
27.以上所述仅为本发明的实施例，并非因此限制本发明的专利范围，凡是利用本发明说明书内容所作的等效结构或等效流程变换，或直接或间接运用在其它相关的技术领域，均同理包括在本发明的专利保护范围内。
技术特征：
1.一种异型金靶加工工艺，其特征在于，包括以下具体步骤：a、加热：将原料金块放入加热炉内，将加热炉内的温度升高至1060-1070℃之间，同时加热炉内通入惰性气体保护，使原料金块达到熔融状态形成黄金液；b、成型：将熔融状态的黄金液倒入模具中冷却成型；c、机加工：将成型后的产品按要求用刨床、车床进行机加工，制成金靶半成品；d、精加工：经过机加工的金靶半成品按要求进行精密加工以达到产品金靶的尺寸和精度；e、清洗：将加工完成的金靶放入超声波清洗机内，然后用清洗剂擦拭清洁，去除表面污渍，清洗完成后取出至室温下晾干；f、入库：清洗晾干完成后即为金靶成品，检验是否合格，如合格包装入库。2.根据权利要求1所述的异型金靶加工工艺，其特征在于，所述原料金块采用纯度为99.99%的4n金。3.根据权利要求1所述的异型金靶加工工艺，其特征在于，所述加热炉采用电加热的加热方式。4.根据权利要求1所述的异型金靶加工工艺，其特征在于，所述惰性气体采用氩气。5.根据权利要求1所述的异型金靶加工工艺，其特征在于，所述冷却成型时的温度为160-360℃。6.根据权利要求1所述的异型金靶加工工艺，其特征在于，所述清洗剂采用酒精。7.根据权利要求1所述的异型金靶加工工艺，其特征在于，所述金靶成品的结构为圆形或方形。
技术总结
本发明公开了一种异型金靶加工工艺，包括以下具体步骤：a、加热；b、成型；c、机加工；d、精加工；e、清洗；f、入库。通过上述方式，本发明提供的异型金靶加工工艺，废气和噪声的排放较低，环保性能好，对环境不会造成污染，其工艺简单，工作效率高，处理时不需要研磨和酸洗，不易损伤质地较软的产品，提高了产品的质量，使产品的市场综合竞争力得到提升。品的市场综合竞争力得到提升。品的市场综合竞争力得到提升。
技术研发人员：王晓华 严建军 王德刚
受保护的技术使用者：常熟华一微电子材料有限公司
技术研发日：2021.05.18
技术公布日：2022/11/22