技术特征：
1.一种用于旋转靶阴极的磁棒组件，所述磁棒组件包括：支撑结构；磁棒结构，其可移动地附接到所述支撑结构，所述磁棒结构包含多个磁体；以及定位机构，其可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构，所述定位机构被配置为在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构，所述定位机构包括耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的气囊组件，其中所述气囊组件包括：收缩气囊，其位于与所述磁棒结构相对的所述支撑结构的一侧；以及磁棒致动板，其定位成将所述收缩气囊夹在所述磁棒致动板和所述支撑结构之间，所述磁棒致动板通过穿过所述支撑结构的多个螺栓耦接到所述磁棒结构；其中当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述磁棒结构的所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力；其中当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述磁棒结构的所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。2.根据权利要求1所述的磁棒组件，其进一步包括可移动地连接到所述支撑结构的多个辊，所述辊被配置为保持所述磁棒结构远离所述靶筒的内表面。3.根据权利要求1所述的磁棒组件，其进一步包括磁力应变消除组件。4. 根据权利要求3所述的磁棒组件，其中所述磁力应变消除组件包括：应变消除端块连接件，其在第一端处耦接到所述支撑结构；以及应变消除端帽连接件，其在与所述第一端相对的第二端处耦接到所述支撑结构；其中所述应变消除组件防止所述磁棒组件和磁性靶筒之间的磁力传递到所述端块连接件和所述端帽连接件。5.根据权利要求1所述的磁棒组件，其中所述支撑结构基本上是刚性的，以当处于所述展开位置时限制所述磁棒结构和所述靶筒之间的距离。6.根据权利要求1所述的磁棒组件，其中所述支撑结构包含夹层结构中的多个支撑板。7.根据权利要求6所述的磁棒组件，其中所述支撑板限定延伸穿过所述支撑结构的内部冷却剂通道。8.根据权利要求6所述的磁棒组件，其中所述支撑板通过一组支撑结构螺钉保持在一起。9.根据权利要求8所述的磁棒组件，其中所述支撑结构螺钉限制所述磁棒致动板的展开运动。10.根据权利要求1所述的磁棒组件，其进一步包括一个或多个调节机构，所述调节机构被配置为当所述磁棒组件在所述靶筒外部时，沿所述支撑结构的长度提供独立调节，以提供对所述靶筒的表面上的磁场均匀性的调节。11.根据权利要求1所述的磁棒组件，其进一步包括气囊填充口，所述气囊填充口耦接到所述收缩气囊并配置成从气源提供气体，从而扩张所述收缩气囊。12. 根据权利要求1所述的磁棒组件，其中：当膨胀时，所述收缩气囊推动所述磁棒致动板，所述磁棒致动板反过来将所述螺栓和所述磁棒结构拉到所述缩回位置；以及当所述收缩气囊放气时，所述磁棒致动板将所述螺栓和所述磁棒结构推到所述展开位
置。13.根据权利要求1所述的磁棒组件，其进一步包括一组磁棒均匀性调节螺母，每个螺母耦接到所述螺栓相应的螺栓，以允许沿着所述磁棒结构的长度进行调节，从而提供对所述靶筒的表面上的磁场均匀性的调节。
技术总结
一种用于旋转靶阴极的磁棒组件包括支撑结构、可移动地附接到所述支撑结构并且包含多个磁体的磁棒结构以及可操作地耦接到所述支撑结构和所述磁棒结构的定位机构。所述定位机构被配置为当在磁性靶材筒内时，在缩回位置和展开位置之间移动所述磁棒结构。当所述磁棒组件插入靶筒或从所述靶筒移除时，所述缩回位置显著减小所述磁体和所述靶筒的磁性靶材之间的磁力。当所述磁棒组件处于所述靶筒中时，所述展开位置显著增加所述磁体和所述磁性靶材之间的磁力，并且允许来自所述磁棒结构的磁场穿透所述磁性靶材。穿透所述磁性靶材。穿透所述磁性靶材。
技术研发人员：P
受保护的技术使用者：零件喷涂公司
技术研发日：2018.07.16
技术公布日：2021/11/8