雾化装置与薄膜沉积系统的制作方法

1.本发明涉及半导体芯片制备技术领域，特别是涉及一种雾化装置与薄膜沉积系统。


背景技术：

2.现有的镀膜方法主要有化学气相沉积法(简称cvd)和物理气相沉积法(简称pvd)这两大类，且每一类镀膜方法又因为材料特征等因素而细分出很多小类的镀膜方法。目前，cvd是半导体芯片制备领域应用最广泛的薄膜沉积方法之一。该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质、在衬底表面上进行化学反应生成薄膜的方法。其中，cvd包括有cvd常规沉积法与cvd热解沉积法。cvd常规沉积法的前驱体为全气相物，输入到反应装置的反应区受热或受到其他物理场的激发后发生化学反应，并沉积在衬底表面。此外，传统的cvd热解沉积法也可用在衬底上制备薄膜，一般先将前驱体物质配置为混合溶液，再置于雾化源中，雾化源雾化成气溶胶后再将液体气溶胶输入反应腔室后在反应区发生热解反应，进而在衬底表面镀膜。
3.cvd热解沉积法要求通入反应腔室的反应物为气态，但目前多种反应物(比如teos正硅酸乙酯)一般使用液态形式保存，这就要求液态反应物在进入反应腔室之前有一个气化过程。根据波义耳定律p1v1＝p2v2，利用雾化器中输送管径变大而使环境气压变小，同时辅助电阻丝加热，从而在温度和气压的共同作用下，反应腔室内的反应物由液态变为气态，然后通过惰性载气输送到反应腔室。然而，传统的cvd热解沉积法由于主要采用电阻丝加热雾化，电阻丝加热器升温速率慢，热机时间长，影响thp。有些液体不能完全雾化，影响制程稳定性；温度不能精确可控，波动范围大，受热不均匀。


技术实现要素：

4.基于此，有必要克服现有技术的缺陷，提供一种雾化装置与薄膜沉积系统，它能提高薄膜的制备效率，工作温度能得到精确控制且波动范围较小，以及受热均匀。
5.其技术方案如下：一种雾化装置，所述雾化装置包括：主体，所述主体设有主腔室，所述主体还设有与所述主腔室相连通的进气接头与出气接头，所述进气接头用于与载气管相连通，所述出气接头用于与反应腔室的进气口相连通；震荡模组，所述震荡模组设有进样口与出样口，所述进样口用于与样品管相连通，所述出样口用于与所述主腔室相连通，所述震荡模组用于对进入所述震荡模组内部的反应液进行震荡处理，以使得所述反应液雾化形成气溶胶；及光热模组，所述光热模组设置于所述主腔室的壁上，所述光热模组用于对所述主腔室进行加热升温处理，以使得通过所述震荡模组进入到所述主腔室内的反应液雾化形成气溶胶。
6.上述的雾化装置，在使用时，将进气接头与载气管连通，出气接头与反应腔室的进气口连通，震荡模组的进样口与样品管相连通，反应液通过样品管加入到震荡模组内，震荡模组通过震荡动作使得反应液的分子键打散，第一重雾化处理形成气溶胶，然后进入到主
腔室内；接着通过光热模组对主腔室加热升温处理，在光热模组的加热升温作用下，一方面能将震荡模组未雾化的反应液进行第二重雾化处理形成气溶胶，另一方面还能避免气溶胶凝结，此外，相对于传统的电阻丝的加热方式而言，光热模组采用辐射热、热对流以及热传导三种方式加热主腔室，升温速率快，温度控制灵敏和均匀性好，工作效率较高。通入到主腔室内的载气推动主腔室内的气溶胶，与气溶胶一起进入到反应腔室的内部。如此，能提高薄膜的制备效率，工作温度能得到精确控制且波动范围较小，以及受热均匀。
7.在其中一个实施例中，所述震荡模组设置于所述主体上；所述进样口位于所述主腔室的外部，所述出样口位于所述主腔室的内部。
8.在其中一个实施例中，所述震荡模组的震荡频率为f,f为1.5mhz～2.0mhz。
9.在其中一个实施例中，所述震荡模组为超声波震荡模组、电磁震荡模组或微波震荡模组。
10.在其中一个实施例中，所述震荡模组包括壳体、以及设置于所述壳体内的震动件与导热件；所述进样口与所述出样口分别设置于所述壳体的相对两端，所述导热件相对于所述震动件更加靠近于所述出样口。
11.在其中一个实施例中，所述导热件为热水管、热气流管或电热棒；所述导热件呈螺旋式地布置于所述壳体的内部。
12.在其中一个实施例中，所述出样口装设有喷头，所述喷头的喷射面上设有若干个喷孔。
13.在其中一个实施例中，所述震荡模组为两个以上，两个以上所述震荡模组间隔地设置于所述主体上；两个以上所述震荡模组用于与两个以上所述样品管一一对应连通。
14.在其中一个实施例中，所述光热模组包括若干个发光源，若干个所述发光源沿着所述进气接头至所述出气接头的方向上依次间隔设置。
15.在其中一个实施例中，所述发光源为钨灯、激光灯、红外线灯或紫外线灯。
16.在其中一个实施例中，所述光热模组还包括安装座；所述安装座设置于所述主腔室的壁上，若干个所述发光源可拆卸地装设于所述安装座上。
17.在其中一个实施例中，所述雾化装置还包括温度传感器与控制器；所述温度传感器设置于所述主体上，用于获取所述主腔室内的温度信息，所述温度传感器与所述控制器电性连接；所述控制器与所述安装座电性连接，用于根据所述温度信息控制所述发光源工作。
18.在其中一个实施例中，所述雾化装置还包括设置于所述主腔室内部的过滤网；所述过滤网为导热体，所述过滤网设置于所述主腔室的内部靠近于所述出气接头的一端。
19.在其中一个实施例中，所述过滤网为电热丝，或者所述过滤网与位于所述主体外部的导热装置导热接触。
20.在其中一个实施例中，所述过滤网设有滤孔，所述滤孔的孔径为0.1mm-15mm。
21.在其中一个实施例中，所述过滤网为两个以上，两个以上所述过滤网沿着所述进气接头至所述出气接头的方向上依次间隔设置。
22.一种雾化装置，所述雾化装置包括：主体，所述主体设有主腔室，所述主体还设有与所述主腔室相连通的进气接头与出气接头，所述进气接头用于与载气管相连通，所述出气接头用于与反应腔室的进气口相连通，所述主腔室还用于与样品管相连通；光热模组，所
述光热模组设置于所述主腔室的壁上，所述光热模组用于对所述主腔室进行加热升温处理，以使得进入到所述主腔室内的反应液雾化形成气溶胶；过滤网，所述过滤网设置于所述主腔室内部，所述过滤网设置于所述主腔室的内部靠近于所述出气接头的一端，所述过滤网为导热体。
23.上述的雾化装置，在使用时，将进气接头与载气管连通，出气接头与反应腔室的进气口连通，主腔室还与样品管相连通，反应液通过样品管加入到主腔室内，通过光热模组对主腔室加热升温处理，在光热模组的加热升温作用下，能使得进入到主腔室内的反应液雾化形成气溶胶，相对于传统的电阻丝的加热方式而言，光热模组采用辐射热、热对流以及热传导三种方式加热主腔室，升温速率快，温度控制灵敏和均匀性好，工作效率较高。通入到主腔室内的载气推动主腔室内的气溶胶，与气溶胶一起进入到反应腔室的内部。气溶胶流经过滤网的过程中，一方面，过滤网仅允许气溶胶通过，避免残留反应液液滴通过，气溶胶穿过过滤网后便通过出气接头进入到反应腔室内；另一方面，过滤网通过自身热量对残留的反应液液滴进行雾化处理得当气溶胶，使得反应液的雾化效果更好。如此，能提高薄膜的制备效率，工作温度能得到精确控制且波动范围较小，以及受热均匀。
24.一种薄膜沉积系统，所述薄膜沉积系统包括所述的雾化装置，所述薄膜沉积系统还包括载气管、样品管与反应腔室，所述载气管与所述进气接头相连通，所述样品管与所述进样口或所述主腔室相连通，所述出气接头与所述反应腔室相连通。
25.上述的薄膜沉积系统，由于包括了上述的雾化装置，其技术效果由雾化装置带来，有益效果与上述的雾化装置相同，在此不进行赘述。
附图说明
26.构成本技术的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。
27.为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本发明一实施例的雾化装置的结构示意图；
29.图2为本发明一实施例的雾化装置的震荡模组的结构示意图；
30.图3为本发明一实施例的雾化装置的震荡模组的喷射面的结构示意图；
31.图4为本发明一实施例的雾化装置的过滤网的结构示意图；
32.图5为本发明一实施例的薄膜沉积系统的结构示意图；
33.图6为本发明另一实施例的雾化装置的结构示意图。
34.10、主体；11、主腔室；12、进气接头；13、出气接头；14、安装孔；15、端盖；20、震荡模组；201、进样口；202、出样口；21、壳体；22、震动件；23、导热件；24、喷头；241、喷射面；242、喷孔；25、控制板；30、光热模组；31、发光源；41、载气管；42、样品管；50、对接管；60、温度传感器；70、控制器；80、过滤网；81、滤孔；90、流量控制阀。
具体实施方式
35.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
36.参阅图1与图5，图1示出了本发明一实施例的雾化装置的结构示意图，图5示出了本发明一实施例的薄膜沉积系统的结构示意图。本发明一实施例提供的一种雾化装置，雾化装置包括：主体10、震荡模组20及光热模组30。主体10设有主腔室11，主体10还设有与主腔室11相连通的进气接头12与出气接头13。进气接头12用于与载气管41相连通，出气接头13用于与反应腔室(图中未示意出)的进气口相连通。具体而言，出气接头13通过对接管50与反应腔室连通。震荡模组20设有进样口201与出样口202，进样口201用于与样品管42相连通，出样口202用于与主腔室11相连通。震荡模组20用于对进入震荡模组20内部的反应液进行震荡处理，以使得反应液雾化形成气溶胶。光热模组30设置于主腔室11的壁上，光热模组30用于对主腔室11进行加热升温处理，以使得通过震荡模组20进入到主腔室11内的反应液雾化形成气溶胶。
37.上述的雾化装置，在使用时，将进气接头12与载气管41连通，出气接头13与反应腔室的进气口连通，震荡模组20的进样口201与样品管42相连通，反应液通过样品管42加入到震荡模组20内，震荡模组20通过震荡动作使得反应液的分子键打散，第一重雾化处理形成气溶胶，然后进入到主腔室11内；接着通过光热模组30对主腔室11加热升温处理，在光热模组30的加热升温作用下，一方面能将震荡模组20未雾化的反应液进行第二重雾化处理形成气溶胶，另一方面还能避免气溶胶凝结，此外，相对于传统的电阻丝的加热方式而言，光热模组30采用辐射热、热对流以及热传导三种方式加热主腔室11，升温速率快，温度控制灵敏和均匀性好，工作效率较高。通入到主腔室11内的载气推动主腔室11内的气溶胶，与气溶胶一起进入到反应腔室的内部。如此，能提高薄膜的制备效率，工作温度能得到精确控制且波动范围较小，以及受热均匀。
38.需要说明的是，载气管41中通入的载气为惰性气体，它不与气溶胶发生化学反应，例如可以是氮气、氦气、二氧化氮等等，在此不进行限定。此外，反应液例如为teos等等反应物，根据实际需求进行设置，在此不进行限定。
39.请参阅图1与图2，图2示出了本发明一实施例的雾化装置的震荡模组20的结构示意图。进一步地，震荡模组20设置于主体10上。进样口201位于主腔室11的外部，出样口202位于主腔室11的内部。具体而言，主体10上设置有贯通到腔室的内部的安装孔14，震荡模组20设置于安装孔14处，并使得震荡模组20的进样口201位于主腔室11的外部，出样口202位于主腔室11的内部。
40.需要说明的是，震荡模组20不限于是设置于主体10上，作为一些可选的方案，震荡模组20也可以设置于主体10的外部，即震荡模组20的出样口202通过连通管与主腔室11连通即可。此外，震荡模组20还可以是设置于主体10的内部，即震荡模组20的进样口201与连通管相连通，连通管贯穿主体10的壁伸出到主体10的外部后与样品管42相连通。
41.在一个实施例中，震荡模组20的震荡频率为f,f为1.5mhz～2.0mhz。如此，在该震荡频率下，震荡模组20能将流经其内部的反应液较好地雾化形成超微粒子。当然了，震荡模
组20的震荡频率也不限于是1.5mhz～2.0mhz，还可以是其它范围，在此不进行限定。
42.在一个实施例中，震荡模组20为超声波震荡模组20、电磁震荡模组20或微波震荡模组20。需要说明的是，震荡模组20还可以是其它类型的震荡模组20，只要能实现震荡频率f达到预设要求，使得反应液雾化形成超微粒子即可。
43.请参阅图1与图2，在一个实施例中，震荡模组20包括壳体21、以及设置于壳体21内的震动件22与导热件23。进样口201与出样口202分别设置于壳体21的相对两端，导热件23相对于震动件22更加靠近于出样口202。如此，震动件22的高频震动能使得反应液雾化形成气溶胶，接着在导热件23的导热作用下，热能对雾化后的气溶胶以及未来得及雾化的反应液进行加热，加快粒子的布朗运动。此外，震荡模组20还包括设置于壳体21外部的控制板25，控制板25与震动件22电性连接，用于控制震动件22工作。
44.在一个实施例中，导热件23为热水管、热气流管或电热棒。如此，导热件23通过与壳体21内的气溶胶接触时，能将自身的热量较好地传递给壳体21内的气溶胶与未来得及雾化的反应液。
45.在一个具体的实施例中，当导热件23为热水管或热气流管，并均伸入到壳体21的内部时，热水管或热气流管的两端贯穿壳体21伸出到壳体21外部与热水供应源相连通或者热气流供应源相连通。这样热水供应源持续地为热水管提供循环热水，保证热水管的热量足够。同样地，热气流供应源持续地为热气流管提供热气流，保证热气流管的热量足够。
46.进一步地，导热件23呈螺旋式地布置于壳体21的内部。如此，导热件23采用螺旋式地设置于壳体21内部时能尽可能地与气溶胶和反应液相接触，但导热件23不限于是螺旋式地设置于壳体21的内部，还可以采用其它的方式设置于壳体21的内部，在此不进行限定，根据实际需求进行设置即可。此外，作为一个可选的方案，导热件23也可以设置于壳体21的外部，导热件23将热量传导给壳体21，通过壳体21将热量传递给壳体21内的气溶胶以及未来得及雾化的反应液。当导热件23设置于壳体21的外部时，在壳体21的外部还设置有包裹于导热件23的外围的保温层，保温层避免导热件23的热量传递到环境中，使得导热件23的热量尽可能多地通过壳体21传递给气溶胶与未来得及雾化的反应液。
47.请参阅图1至图3，图3示出了本发明一实施例的雾化装置的震荡模组20的喷射面241的结构示意图。在一个实施例中，出样口202装设有喷头24，喷头24的喷射面241上设有若干个喷孔242。具体而言，若干个喷孔242阵列式地布置于喷射面241上。如此，壳体21内雾化产生的气溶胶经喷孔242向外喷出到主腔室11的内部，使得气溶胶尽可能均匀地布置于主腔室11的内部。此外，未经震动模组雾化的反应液喷射到主腔室11内后，因为进入到体积更大气压相对较小的空间中，在光热模组30的加热升温作用下气化形成气溶胶。
48.需要说明的是，为了避免与气溶胶发生化学反应，上述的导热件23、喷头24与壳体21均选用不与气溶胶发生化学反应的材质，例如玻璃、陶瓷、不锈钢、或碳化硅材质等等。当然也可以在导热件23、喷头24与壳体21的表面上设置有惰性表层，惰性表层能避免与气溶胶发生化学反应。
49.请再参阅图1与图5，在一个实施例中，震荡模组20为两个以上，两个以上震荡模组20间隔地设置于主体10上。两个以上震荡模组20用于与两个以上样品管42一一对应连通。如此，当需要向主腔室11内通入的反应物为两种以上时，震荡模组20相应为两个以上，两个以上震荡模组20一一对应地将两个以上样品管42通入的反应液进行震荡雾化处理，并将两
种以上气溶胶通入到主腔室11内部。具体而言，主体10例如为圆柱形体状，两个以上震荡模组20沿着进气接头12到出气接头13的方向上依次间隔设置，如此能实现主腔室11内均匀地布置有气溶胶。当然了主体10也可以是其它形状，在此不进行限制，根据实际情况设置即可。
50.此外，还需要说明的是，震荡模组20的具体数量不进行限定，例如可以是一个、两个、三个或其它数量，根据实际需求进行设置即可。另外，当震荡模组20为两个以上时，也可以将同一种反应液分别通过两个以上震荡模组20通入到主腔室11内。
51.请参阅图1，在一个实施例中，光热模组30包括若干个发光源31。可选地，发光源31为钨灯、激光灯、红外线灯或紫外线灯。若干个发光源31沿着进气接头12至出气接头13的方向上依次间隔设置。如此，当干个发光源31同步工作时，能实现对主腔室11内的各个区域升温速率快，温度控制灵敏和均匀性好，工作效率较高。
52.本实施例中，发光源31具体为钨灯，钨灯的光源不会与气溶胶发生化学反应，即不会影响气溶胶进入到反应腔室后的沉积反应。此外，钨灯具体形状不进行限定，例如可以是圆柱体状、球形状或椭球状等等。另外，在主腔室11内部设置的钨灯的数量是根据主腔室11的体积尺寸大小以及所需要的温度进行确定，当设置的钨灯的数量越多时，释放相同的热量所需要功率会相对较低，钨灯使用的寿命会更长。作为一个示例，钨灯的实际工作功率是其额定功率的5％-25％，具体例如是其额定功率的9％，因此钨灯的数目可以在一个弹性的范围。当然，激光灯、红外线灯、紫外线灯或其它类型的发光源31不会对液体气溶胶性质产生影响时，也可以作为发光源31来对主腔室11进行加热升温。
53.进一步地，光热模组30还包括安装座(图中未示意出)。安装座设置于主腔室11的壁上，若干个发光源31可拆卸地装设于安装座上。如此，将若干个发光源31均装设于安装座上，这样便可以将光热模组30作为一个整体装入到主腔室11的内部，安装操作较为方便快捷。此外，当其中一个发光源31出现故障时，将该出现故障的发光源31从安装座上拆卸下来进行维修处理，无需将整个光热模组30从主腔室11内向外取出。
54.具体而言，当需要更换发光源31时，打开其中一侧的端盖15，将发光源31从安装座上拆卸下来，然后进行更换或维护处理，更换完毕后再关闭端盖15。为了便于开启端盖15，端盖15上例如设置有把手或旋钮等等配件。此外，为了保证主腔室11的密封性，在端盖15的外缘绕设有密封圈，或者在主腔室11的端部开口处设有密封圈，端盖15关闭后通过密封圈与主腔室11的端部开口密封配合，从而能保证密封性。需要说明的是，主体10还可以是其它的开合结构形式，在此不进行限定，只要能在打开主体10后，可以将光热模组30装入到主腔室11内以及对主腔室11进行维护处理，以及能在关闭主体10后有较好的气密性即可。
55.此外，为了更好地对主腔室11内的气溶胶加热升温，以及使得震荡模组20未来得及雾化的反应液雾化处理，安装座位于喷射面241相对的位置上，具体而言，安装座设置于主腔室11的底壁上，震荡模组20设置于主腔室11的顶壁上。
56.请再参阅图1与图5，在一个实施例中，雾化装置还包括温度传感器60与控制器70。温度传感器60设置于主体10上，用于获取主腔室11内的温度信息，温度传感器60与控制器70电性连接。控制器70与安装座电性连接，用于根据温度信息控制发光源31工作。如此，通过温度传感器60能获取主腔室11内的温度信息，并将主腔室11内的温度信息反馈给控制器70，控制器70根据主腔室11内的温度信息相应控制各个发光源31工作，增大工作功率或降
低工作功率，以实现将主腔室11内的温度控制在预设范围，即便于控制主腔室11内的气体气氛温度，从而实现对不同液态反应物的完全气化，从而达到第二重雾化效果。
57.请参阅图1与图4，图4示出了本发明一实施例的雾化装置的过滤网80的结构示意图。在一个实施例中，雾化装置还包括设置于主腔室11内部的过滤网80。过滤网80为导热体，过滤网80设置于主腔室11的内部靠近于出气接头13的一端。如此，过滤网80具有至少如下优点：一方面，过滤网80仅允许气溶胶通过，避免残留反应液液滴通过，气溶胶穿过过滤网80后便通过出气接头13进入到反应腔室内；另一方面，过滤网80由于为导热体，过滤网80可以吸收光热模组30的热量或者通过自身热量对残留的反应液液滴进行雾化处理得当气溶胶，使得反应液的雾化效果更好。
58.具体而言，过滤网80的形状与主腔室11的内壁形状相适应。举例而言，主体10为圆柱体时，过滤网80例如为圆形状；当主体10为长方体时，过滤网80例如为方形状。这样过滤网80的边缘能与主腔室11的内壁紧密贴合。
59.进一步地，过滤网80例如为电热丝，或者过滤网80与位于主体10外部的导热装置导热接触。如此，过滤网80既可以选用通电的方式来提高自身温度，又可以通过与位于主体10外部的导热装置导热接触的方式来提高自身温度。
60.需要说明的是，为了避免过滤网80与气溶胶发生化学反应，过滤网80具体选用不与气溶胶发生化学反应的材质，例如玻璃、陶瓷、不锈钢、或碳化硅材质等等。当然过滤网80也可以选用金属材料，并在过滤网80的表面上设置有惰性表层，惰性表层能避免与气溶胶发生化学反应。
61.在一个实施例中，过滤网80设有滤孔81，滤孔81的孔径为0.1mm-15mm。滤孔81的具体形状例如可以是圆形、椭圆形、方形、菱形、五边形、六边形等等，在此不进行限制，根据实际需求进行设置即可。
62.在一个实施例中，过滤网80为两个以上，两个以上过滤网80沿着进气接头12至出气接头13的方向上依次间隔设置。如此，过滤网80为两个以上时，能起到较好的过滤作用。需要说明的是，过滤网80的具体数量不进行限定，例如可以是一个、两个、三个、四个或其它数量，根据实际需求设置即可。
63.请参阅图6，图6示意出了另一实施例的雾化装置的结构示意图。图6示意出的雾化装置相对于图1与图5示意出的雾化装置而言，省略掉了震荡模组20。在一个实施例中，一种雾化装置，雾化装置包括主体10、光热模组30与过滤网80。主体10设有主腔室11，主体10还设有与主腔室11相连通的进气接头12与出气接头13。进气接头12用于与载气管41相连通，出气接头13用于与反应腔室的进气口相连通，主腔室11还用于与样品管42相连通。光热模组30设置于主腔室11的壁上，光热模组30用于对主腔室11进行加热升温处理，以使得进入到主腔室11内的反应液雾化形成气溶胶；过滤网80设置于主腔室11内部，过滤网80设置于主腔室11的内部靠近于出气接头13的一端，过滤网80为导热体。
64.上述的雾化装置，在使用时，将进气接头12与载气管41连通，出气接头13与反应腔室的进气口连通，主腔室11还与样品管42相连通，反应液通过样品管42加入到主腔室11内，通过光热模组30对主腔室11加热升温处理，在光热模组30的加热升温作用下，能使得进入到主腔室11内的反应液雾化形成气溶胶，相对于传统的电阻丝的加热方式而言，光热模组30采用辐射热、热对流以及热传导三种方式加热主腔室11，升温速率快，温度控制灵敏和均
匀性好，工作效率较高。通入到主腔室11内的载气推动主腔室11内的气溶胶，与气溶胶一起进入到反应腔室的内部。气溶胶流经过滤网80的过程中，一方面，过滤网80仅允许气溶胶通过，避免残留反应液液滴通过，气溶胶穿过过滤网80后便通过出气接头13进入到反应腔室内；另一方面，过滤网80通过自身热量对残留的反应液液滴进行雾化处理得当气溶胶，使得反应液的雾化效果更好。如此，能提高薄膜的制备效率，工作温度能得到精确控制且波动范围较小，以及受热均匀。
65.请再参阅图5，在一个实施例中，一种薄膜沉积系统，薄膜沉积系统包括上述任一实施例的雾化装置，薄膜沉积系统还包括载气管41、样品管42与反应腔室，载气管41与进气接头12相连通，样品管42与进样口201或主腔室11相连通，出气接头13与反应腔室相连通。
66.上述的薄膜沉积系统，由于包括了上述的雾化装置，其技术效果由雾化装置带来，有益效果与上述的雾化装置相同，在此不进行赘述。
67.进一步地，出气接头13通过对接管50与反应腔室相连通。更具体地，在载气管41、样品管42与对接管50上均设置有流量控制阀90，通过调整流量控制阀90的开度大小进行流量大小的调控。
68.需要说明的是，该“进气接头12、出气接头13”可以为“主体10的一部分”，即“进气接头12、出气接头13”与“主体10的其他部分”一体成型制造；也可以与“主体10的其他部分”可分离的一个独立的构件，即“进气接头12、出气接头13”可以独立制造，再与“主体10的其他部分”组合成一个整体。
69.以上实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
70.以上实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。
71.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
72.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
73.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
74.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
75.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。