一种金属化薄膜的高效蒸镀装置的制作方法

1.本发明涉及金属化薄膜蒸镀技术领域，尤其涉及一种金属化薄膜的高效蒸镀装置。


背景技术：

2.电容器是一种容纳电荷的器件，由两个相互靠近的导体在中间夹一层不导电的绝缘介质构成。薄膜电容器为电容器的一种，是一种性能优秀的电容器，具有无极性、绝缘阻抗很高、频率特性优异(频率响应宽广)、而且介质损失很小的特性，被大量使用在模拟电路上。
3.通常的薄膜电容器其制法是将铝等金属箔当成电极和塑料薄膜重叠后卷绕在一起制成。但是另外薄膜电容器又有一种制造法，叫做金属化薄膜，其制法是在塑料薄膜上以真空蒸镀上一层很薄的金属以做为电极。
4.现有的蒸镀装置中，对金属材料进行加热至蒸汽状态时，耗费时间较长，使金属化薄膜的整体蒸镀效率较低。


技术实现要素：

5.本发明针对现有技术的不足，提供了一种金属化薄膜的高效蒸镀装置。
6.本发明通过以下技术手段实现解决上述技术问题的：
7.一种金属化薄膜的高效蒸镀装置，包括工作台，所述工作台上设置有蒸镀室，所述蒸镀室外接真空系统，所述蒸镀室的内部设置有对薄膜基材进行输送的传送机构、对薄膜基材的不需涂镀区域进行遮挡的隔离机构，隔离机构位于传送机构的下方，
8.所述蒸镀室的内部设置有下钨丝组件和上钨丝组件，所述下钨丝组件的两端均通过承接件连接有支撑基板，支撑基板上设置有对下钨丝组件和上钨丝组件支撑的支撑机构，支撑机构与工作台连接，所述工作台上设置有带动下钨丝组件和上钨丝组件转动的转动机构；
9.所述上钨丝组件由第一上钨丝段和第二上钨丝段组成，所述第一上钨丝段和所述第二上钨丝段相互远离的一端均通过承接件连接有长杆，承接件具有隔热功能，所述支撑基板上设置有通过长杆带动上钨丝组件转动的角度调节机构，所述支撑基板上设置有通过长杆对上钨丝组件位置固定的固定机构。
10.作为上述技术方案的改进，所述下钨丝组件的内部设置有第一钨丝翅板，所述第一上钨丝段和所述第二上钨丝段上均设置有第二钨丝翅板。
11.作为上述技术方案的改进，所述第二钨丝翅板插入下钨丝组件的内部，所述第二钨丝翅板的长度为所述第一钨丝翅板长度的二倍。
12.作为上述技术方案的改进，所述支撑机构包括环形滑轨，所述环形滑轨通过支撑杆与工作台连接，所述环形滑轨上滑动连接有与支撑基板连接的滑块。
13.作为上述技术方案的改进，所述角度调节机构包括气缸和承接杆，气缸和承接杆
均与支撑基板连接，所述气缸的杆部连接有齿条；
14.所述承接杆连接有中心轴，所述中心轴上转动套接有圆盘和第一齿轮，圆盘和第一齿轮连接，第一齿轮与齿条啮合，圆盘与长杆连接。
15.作为上述技术方案的改进，所述转动机构包括第一半齿轮和第二半齿轮，第一半齿轮与上钨丝组件上的承接件连接，第二半齿轮与下钨丝组件上的承接件连接，所述第一半齿轮和所述第二半齿轮形成一个完整的齿轮a；
16.所述工作台上连接有伺服电机，所述伺服电机的输出端连接有第二齿轮，第二齿轮与齿轮a啮合。
17.作为上述技术方案的改进，所述固定机构包括开设在支撑基板上的安装腔和开设在长杆上的限位槽，所述安装腔的侧壁转动连接有衔铁杆，所述衔铁杆上连接有弧形杆，弧形杆的活动端插入限位槽的内部；
18.所述安装腔的底壁上连接有第一电磁铁，所述安装腔的左侧壁上连接有第二电磁铁。
19.本发明的有益效果：
20.本发明中的金属化薄膜的高效蒸镀装置，蒸镀金属碎屑置于下钨丝组件和上钨丝组件形成的空腔中，转动的下钨丝组件和上钨丝组件使内部的金属材料滚动，通过使蒸镀金属碎屑与加热钨丝(下钨丝组件和上钨丝组件)与之间充分接触，提高金属的熔化速率，进而提高蒸镀的效率；且本装置中，通过角度调节机构控制上钨丝组件转动打开或关闭，满足蒸镀金属的加热和蒸发的需求；
21.第一钨丝翅板和第二钨丝翅板的设置，增大加热钨丝的面积，提高蒸镀金属碎屑的混合程度，提高蒸镀金属碎屑的熔化速率；
22.支撑机构对转动的下钨丝组件、上钨丝组件进行支撑；转动机构带动下钨丝组件和上钨丝组件进行正向一圈、反向一圈的交替转动；
23.固定机构通过对长杆和支撑基板的相对位置进行固定，对钨丝组件、上钨丝组件的相对位置进行固定，将上钨丝组件保持在关闭状态，操作简单，使用方便。
附图说明
24.图1为本发明实施例所述金属化薄膜的高效蒸镀装置的结构示意图；
25.图2为本发明实施例所述金属化薄膜的高效蒸镀装置的局部结构放大示意图；
26.图3为本发明实施例所述金属化薄膜的高效蒸镀装置的固定机构示意图；
27.图4为本发明实施例所述金属化薄膜的高效蒸镀装置的上钨丝组件打开状态示意图；
28.附图标记：工作台1；蒸镀室2；真空系统3；传送机构4；隔离机构5；下钨丝组件6；第一钨丝翅板601；上钨丝组件7；第一上钨丝段701；第二上钨丝段702；第二钨丝翅板703；承接件8；支撑基板9；支撑机构10；环形滑轨1001；支撑杆1002；滑块1003；角度调节机构11；气缸1101；齿条1102；承接杆1103；中心轴1104；圆盘1105；第一齿轮1106；长杆12；转动机构13；第一半齿轮1301；第二半齿轮1302；第二齿轮1303；伺服电机1304；固定机构14；安装腔1401；衔铁杆1402；弧形杆1403；限位槽1404；第一电磁铁1405；第二电磁铁1406。
具体实施方式
29.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
30.需要说明的是，当元件被称为“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。
31.实施例
32.如图1、图2、图3、图4所示，本实施例金属化薄膜的高效蒸镀装置，包括工作台1，工作台1上设置有蒸镀室2，蒸镀室2外接真空系统3，蒸镀室2的内部设置有对薄膜基材进行输送的传送机构4、对薄膜基材的不需涂镀区域进行遮挡的隔离机构5，隔离机构5位于传送机构4的下方，
33.蒸镀室2的内部设置有下钨丝组件6和上钨丝组件7，下钨丝组件6的两端均通过承接件8连接有支撑基板9，支撑基板9上设置有对下钨丝组件6和上钨丝组件7支撑的支撑机构10，支撑机构10与工作台1连接，工作台1上设置有带动下钨丝组件6和上钨丝组件7转动的转动机构13；
34.上钨丝组件7由第一上钨丝段701和第二上钨丝段702组成，第一上钨丝段701和第二上钨丝段702相互远离的一端均通过承接件8连接有长杆12，承接件8具有隔热功能，支撑基板9上设置有通过长杆12带动上钨丝组件7转动的角度调节机构11，支撑基板9上设置有通过长杆12对上钨丝组件7位置固定的固定机构14。
35.本案中，将蒸镀金属碎屑放入下钨丝组件6的内部，通过角度调节机构11控制上钨丝组件7转动，至上钨丝组件7至水平状态与下钨丝组件6相抵，通过固定机构14将长杆12和支撑基板9的相对位置进行固定，即下钨丝组件6和上钨丝组件7的相对位置进行固定，通过转动机构13控制下钨丝组件6和上钨丝组件7进行正向一圈、反向一圈交替转动，支撑机构10对下钨丝组件6和上钨丝组件7进行支撑；
36.当蒸镀金属碎屑被加热到一定的程度后，使下钨丝组件6转动到下方位置后，转动机构13停止工作，固定机构14解除下钨丝组件6和上钨丝组件7的位置固定，通过角度调节机构11控制上钨丝组件7转动打开，使继续蒸发至蒸汽状态的金属顺利散发至薄膜基材上；
37.蒸镀金属碎屑置于下钨丝组件6和上钨丝组件7形成的空腔中，转动的下钨丝组件6和上钨丝组件7使内部的金属材料滚动，通过使蒸镀金属碎屑与加热钨丝(下钨丝组件6和上钨丝组件7)与之间充分接触，提高金属的熔化速率，进而提高蒸镀的效率；且本装置中，通过角度调节机构11控制上钨丝组件7转动打开或关闭，满足蒸镀金属的加热和蒸发的需求。
38.如图1、图2、图4所示，下钨丝组件6的内部设置有第一钨丝翅板601，第一上钨丝段701和第二上钨丝段702上均设置有第二钨丝翅板703；
39.第二钨丝翅板703插入下钨丝组件6的内部，第二钨丝翅板703的长度为第一钨丝翅板601长度的二倍。
40.本案中，当下钨丝组件6转动至下方时，上钨丝组件7内部的蒸镀金属碎屑掉落至
下钨丝组件6的内部，分部在第一钨丝翅板601的两侧；当上钨丝组件7转动至下方时，下钨丝组件6内部的蒸镀金属碎屑掉落至上钨丝组件7的内部，分部在第二钨丝翅板703的两侧；
41.第一钨丝翅板601和第二钨丝翅板703的设置，增大加热钨丝的面积，提高蒸镀金属碎屑的混合程度，提高蒸镀金属碎屑的熔化速率。
42.如图2、图4所示，支撑机构10包括环形滑轨1001，环形滑轨1001通过支撑杆1002与工作台1连接，环形滑轨1001上滑动连接有与支撑基板9连接的滑块1003；
43.支撑机构10对转动的下钨丝组件6、上钨丝组件7进行支撑，在转动机构13带动下钨丝组件6、上钨丝组件7转动时，支撑机构10中的滑块1003在环形滑轨1001上转动。
44.如图2、图4所示，角度调节机构11包括气缸1101和承接杆1103，气缸1101和承接杆1103均与支撑基板9连接，气缸1101的杆部连接有齿条1102；承接杆1103连接有中心轴1104，中心轴1104上转动套接有圆盘1105和第一齿轮1106，圆盘1105和第一齿轮1106连接，第一齿轮1106与齿条1102啮合，圆盘1105与长杆12连接。
45.气缸1101的整体长度增长时，带动齿条1102向上移动，齿条1102啮合第一齿轮1106，通过第一齿轮1106、圆盘1105、长杆12带动第一上钨丝段701顺时针转动、带动第二上钨丝段702逆时针转动，上钨丝组件7关闭；
46.气缸1101的整体长度缩短时，带动齿条1102向下移动，齿条1102通过第一齿轮1106、圆盘1105、长杆12带动第一上钨丝段701逆时针转动、带动第二上钨丝段702顺时针转动，上钨丝组件7打开；角度调节机构11中，通过改变气缸1101的整体长度，改变上钨丝组件7的位置，控制上钨丝组件7打开或关闭。
47.如图2、图4所示，转动机构13包括第一半齿轮1301和第二半齿轮1302，第一半齿轮1301与上钨丝组件7上的承接件8连接，第二半齿轮1302与下钨丝组件6上的承接件8连接，第一半齿轮1301和第二半齿轮1302形成一个完整的齿轮a；工作台1上连接有伺服电机1304，伺服电机1304的输出端连接有第二齿轮1303，第二齿轮1303与齿轮a啮合。
48.上钨丝组件7关闭时，第一半齿轮1301和第二半齿轮1302相抵形成完整的齿轮a，齿轮a与第二齿轮1303啮合，
49.伺服电机1304通电，正向一圈、反向一圈交替转动，伺服电机1304带动第二齿轮1303转动，第二齿轮1303通过齿轮a带动下钨丝组件6和上钨丝组件7同步转动。
50.如图3所示，固定机构14包括开设在支撑基板9上的安装腔1401和开设在长杆12上的限位槽1404，安装腔1401的侧壁转动连接有衔铁杆1402，衔铁杆1402上连接有弧形杆1403，弧形杆1403的活动端插入限位槽1404的内部；
51.安装腔1401的底壁上连接有第一电磁铁1405，安装腔1401的左侧壁上连接有第二电磁铁1406。
52.参见图3，当上钨丝组件7转动至水平状态与下钨丝组件6相抵时，第一电磁铁1405通电，第二电磁铁1406断电，第一电磁铁1405吸引衔铁杆1402逆时针转动，衔铁杆1402带动弧形杆1403同步转动至弧形杆1403插入限位槽1404的内部，长杆12和支撑基板9的相对位置被固定，
53.需要解除长杆12和支撑基板9的固定状态时，将第一电磁铁1405断电、第二电磁铁1406通电，第二电磁铁1406吸引衔铁杆1402顺时针转动，衔铁杆1402带动弧形杆1403同步转动至弧形杆1403由限位槽1404中脱离；固定机构14对钨丝组件6、上钨丝组件7的相对位
置进行固定，将上钨丝组件7保持在关闭状态，操作简单，使用方便。
54.需要说明的是，在本文中，如若存在第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
55.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。