1.本发明涉研磨液供给及技术领域，具体为智能芯片化学研磨液供给方法。
背景技术：
2.现有的芯片化学研磨液供给系统已经应用了几十年，利用传统的工艺进行化学液的供给，也是比较成熟的技术，但是随着全世界科技的迅速发展，尤其是半导体、芯片行业的崛起，因此传统的芯片化学研磨液供给系统已经不能满足当今市场环境的发展，其缺点主要体现在液体搅拌时间长、精度低、可供液体路线少等问题。
技术实现要素：
3.针对上述存在的技术不足，本发明的目的是提供智能芯片化学研磨液供给方法，解决现有研磨液供给时间长、精度低、可供液体路线少的问题。
4.为解决上述技术问题，本发明采用如下技术方案：
5.本发明提供智能芯片化学研磨液供给方法，所述方法包括如下步骤：
6.1.厂务水电气与设备相连接，并打开厂务端阀门；
7.2.设备接通电源，旋转开关给设备上电；
8.3.等待设备初始化完成；
9.4.输入配方到数据库；
10.5.按下操作电源启动按钮；
11.6.设备自动启动并执行清洗程序；
12.7.混料罐和供料罐分别清洗3次后自动关闭；
13.8.设备准备完毕，可以执行任务；
14.9.选择配方；
15.10.搬运原料桶至设备原料秤；
16.11.扫码枪扫描原料桶编码；
17.12.系统进行对比，判断编码与数据库中记录的配方是否一致，重量是否一致；
18.13.ok时系统界面外框绿色提示，no时系统界面外框红色闪烁提示，蜂鸣器发出声光提示；
19.14.在自动画面里点击混料和供料；
20.15.系统根据选择配方点击开始，原料隔膜泵启动，自动根据配方混合溶液，通过偏差的比例、积分和微分进行控制各路阀体开闭，根据重量反馈初步混合溶液；
21.16.混料循环隔膜泵启动，使混料罐中的混合液搅匀，根据电导率的反馈，通过人工智能及深度学习进行准确的微量原料填补，使混料罐中的溶液达到配方中的各项指标；
22.17.供料罐把混合好的混合液输送到供液罐；
23.18.输送完毕后供液罐磁力泵启动，继续循环；
24.优选的，所述步骤4中，配方包含物料编码及物料配比。
25.优选的，所述步骤4中，如果数据库中有配方略过。
26.优选的，所述步骤18中，向外部供给研磨液供液的这个过程是一个偏差的比例、积分和微分进行控制调节的过程，首先向外部供液分四路，四路不一定同时打开，每一路的出口管路上增加了传感器即检测，当其中一路打开时，或打开了一路、或打开了两路、或打开了三路的时候，这时磁力泵研磨液供液泵的开度不同的，即提供的流量大小不同；只开一路输出的情况下，磁力泵的转数最小，开四路时磁力泵是全力运转的。
27.优选的，研磨液供液回路上设置流量计，当检测到开一路对外输出，即一路输出、两路输出、三路输出、四路输出开不同路，这时研磨液供液这个回路的流量应该也是对应的不同，有一个严格的比例关系，如果流量计上显示的数值和正常理论上计算的数值差很多的时候，就需要用pid控制调节回料三通阀的开度。
28.优选的，磁力泵始终运转，且有一个回料，三通阀也是始终要打开的，当外部不需要供液时，要保证供料桶内的溶液不断循环，避免凝固，如果检测到外部没有供液需求，回料三通阀开度小；当有一路输出，流量计显示的数值和理论数值差比较多时，调节回料三通阀的开度大小补偿流量。
29.优选的，除了自动的供液流程外，还设置清洗、氮气吹干、加湿氮气，在整个自动供液过程当中，氮气加湿是始终打开的，在加湿氮气的时候，向氮罐内加入纯水，所述氮罐设置上下限位传感器，当纯水的液位比较低的时候，向内注水，且不能超过其上限位。
30.优选的，在混料的过程当中，整个流程是先完整的混合一罐，混合一罐之后，等供料罐空了，就把混料罐里的溶液转移到供料罐里，这时候混料罐里就空了，混料罐里空了以后再混合，第二罐溶液如此反复，只要混料罐里空了，就按照当前的这个配方在进行混液混合，当原料桶a和原料桶b，其中有一个或者是两个的重量都低于下限值的时候，就报警提示需要更换原料桶，更换原料桶的时候需要进行扫码确认。
31.优选的，确认更换的原料桶是原料a或者是原料b，总之是和缺少的那种原料相匹配的情况下，才可以继续进行混料。
32.优选的，设置紧急停止按钮，不管是混料过程还是供料过程，这个自动运行过程当按下紧急停止钮，过程停止。
33.本发明的有益效果在于：本发明通过电导率液体监测时检测，能够进行更高效、高精度的化学研磨液供给系统来进行研磨液体的供给。
具体实施方式
34.下面将对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
35.实施例1，智能芯片化学研磨液供给方法，，所述方法包括如下步骤：1.厂务水电气与设备相连接，并打开厂务端阀门；
36.2.设备接通电源，旋转开关给设备上电；
37.3.等待设备初始化完成；
38.4.输入配方到数据库；
39.5.按下操作电源启动按钮；
40.6.设备自动启动并执行清洗程序；
41.7.混料罐和供料罐分别清洗3次后自动关闭；
42.8.设备准备完毕，可以执行任务；
43.9.选择配方；
44.10.搬运原料桶至设备原料秤；
45.11.扫码枪扫描原料桶编码；
46.12.系统进行对比，判断编码与数据库中记录的配方是否一致，重量是否一致；
47.13.ok时系统界面外框绿色提示，no时系统界面外框红色闪烁提示，蜂鸣器发出声光提示；
48.14.在自动画面里点击混料和供料；
49.15.系统根据选择配方点击开始，原料隔膜泵启动，自动根据配方混合溶液，通过偏差的比例、积分和微分进行控制各路阀体开闭，根据重量反馈初步混合溶液；
50.16.混料循环隔膜泵启动，使混料罐中的混合液搅匀，根据电导率的反馈，通过人工智能及深度学习进行准确的微量原料填补，使混料罐中的溶液达到配方中的各项指标；
51.17.供料罐把混合好的混合液输送到供液罐；
52.18.输送完毕后供液罐磁力泵启动，继续循环；
53.优选的，所述步骤4中，配方包含物料编码及物料配比。
54.优选的，所述步骤4中，如果数据库中有配方略过。
55.优选的，所述步骤18中，向外部供给研磨液供液的这个过程是一个偏差的比例、积分和微分进行控制调节的过程，首先向外部供液分四路，四路不一定同时打开，每一路的出口管路上增加了传感器即检测，当其中一路打开时，或打开了一路、或打开了两路、或打开了三路的时候，这时磁力泵研磨液供液泵的开度不同的，即提供的流量大小不同；只开一路输出的情况下，磁力泵的转数最小，开四路时磁力泵是全力运转的。
56.优选的，研磨液供液回路上设置流量计，当检测到开一路对外输出，即一路输出、两路输出、三路输出、四路输出开不同路，这时研磨液供液这个回路的流量应该也是对应的不同，有一个严格的比例关系，如果流量计上显示的数值和正常理论上计算的数值差很多的时候，就需要用pid控制调节回料三通阀的开度。
57.优选的，磁力泵始终运转，且有一个回料，三通阀也是始终要打开的，当外部不需要供液时，要保证供料桶内的溶液不断循环，避免凝固，如果检测到外部没有供液需求，回料三通阀开度小；当有一路输出，流量计显示的数值和理论数值差比较多时，调节回料三通阀的开度大小补偿流量。
58.优选的，除了自动的供液流程外，还设置清洗、氮气吹干、加湿氮气，在整个自动供液过程当中，氮气加湿是始终打开的，在加湿氮气的时候，向氮罐内加入纯水，所述氮罐设置上下限位传感器，当纯水的液位比较低的时候，向内注水，且不能超过其上限位。
59.优选的，在混料的过程当中，整个流程是先完整的混合一罐，混合一罐之后，等供料罐空了，就把混料罐里的溶液转移到供料罐里，这时候混料罐里就空了，混料罐里空了以后再混合，第二罐溶液如此反复，只要混料罐里空了，就按照当前的这个配方在进行混液混合，当原料桶a和原料桶b，其中有一个或者是两个的重量都低于下限值的时候，就报警提示
需要更换原料桶，更换原料桶的时候需要进行扫码确认。
60.优选的，确认更换的原料桶是原料a或者是原料b，总之是和缺少的那种原料相匹配的情况下，才可以继续进行混料。
61.优选的，设置紧急停止按钮，不管是混料过程还是供料过程，这个自动运行过程当按下紧急停止钮，过程停止。按一下操作电源停止钮按一次是暂停，如果连续按住时间超过三秒，那么就是操作电源断开，整个过程就会停止。暂停的情况下，再按启动按钮还可以继续进行混料和供料，但是一旦操作电源断开，整个停止过程就不能再恢复了。