一种大规格钼靶材生产用翻转震实工装的制作方法

1.本实用新型属于钼靶材生产技术领域，尤其涉及一种大规格钼靶材生产用翻转震实工装。


背景技术：

2.随着越来越多的超大尺寸、高分辨率高端智能电视与数字信息显示屏的市场应用，薄膜晶体管液晶显示(tft
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lcd)产业正着朝大型化和高精细化方向快速发展。相应地，tft
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lcd用钼溅射靶材的规格尺寸也在不断大型化，钼靶材板坯单重也由100~150kg发展到800~900kg。
3.在钼靶材的生产过程中，通常需要将钼原料粉装入胶套模具，然后放入冷等静压设备中进行冷等静压得到钼靶材毛坯。现有技术中，通常是在胶套模具装料的同时对胶套模具进行进行震动以将钼原料粉震实，这对于较大规格（厚度不小于140mm,宽度不小于1000mm,长度不小于1500mm）的靶材来说，由于不方便翻动，因此不容易震动均匀，因而容易造成生产的钼靶材致密度不均匀，影响到钼靶材的品质。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是提供一种大规格钼靶材生产用翻转震实工装。
5.为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种大规格钼靶材生产用翻转震实工装，包括一个开放式结构的盒状主体和一个与盒状主体配合使用的独立盖板，所述的盒状主体包括一块长方形的底板，沿着底板宽度方向的两端分别固定焊接设有一块长方形的侧板，侧板与底板相应的宽度边沿均留有一定的距离，形成侧板外支撑边，侧板外支撑边上沿着底板长度方向焊接有方管，在方管上沿长度方向布设有多个螺母，所述螺母的中心线与底板长度方向相平行，在靠近方管两端的位置分别设置有吊装环；在底板长度方向的一端设有一块端板，所述端板连接在两块侧板之间，并且端板的宽度小于侧板的宽度，端板与侧板的相应端留有一定距离，形成端板外支撑部，在底板的另一端没有端板，从而形成开放式结构的盒状主体；独立盖板用于将装过钼粉料的胶套模具压盖在盒状主体内，独立盖板的宽度比两侧板之间的距离小，在所述的螺母上设有用于将独立盖板与盒状主体进行固定连接的柔性绳，在所述的底板、侧板、端板和独立盖板上均设置有多个用于向胶套模具施加压力的施压孔。
6.优选地，在两侧板之间位于端板的外侧连接有一块用于对独立盖板进行长度方向限定位置的定位板，所述定位板的宽度不小于侧板的宽度并大于端板的宽度以保证独立盖板能够在盒状主体平放时越过端板顶在定位板上进行定位。
7.进一步地，每一根方管上设置的螺母均为四个。
8.进一步地，在底板上和独立盖板上设置的多个施压孔均呈矩阵排列，施压孔的直径为20
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25mm,同一排和同一列中相邻两个施压孔的间距为80
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90mm。
9.进一步地，在底板上和独立盖板上均设置有用于支撑胶套模具密封夹具的调整螺
栓组件，所述调整螺栓组件包括调整支架、调整螺母和调整螺栓，调整支架固定设在底板或独立盖板上远离端板的一端，调整螺母固定在调整支架上，调整螺母的中心线与底板的长度方向相一致，调整螺栓设置在调整螺母中。
10.进一步地，底板和独立盖板上设置的调整螺栓组件均为两套。
11.作为一种可选的实施方式，所述的调整支架为槽型，槽型开口侧与独立盖板或者盒状主体的底板固定连接，柔性绳经过调整支架时能够从调整支架的槽中穿过。
12.有益效果：
13.根据本实用新型，采用盒状主体与能够活动拆卸的独立盖板相结合的方式，不仅可以实现胶套模具内钼粉的有效震实，并且胶套模具装入盒状主体十分便捷，生产效率高，节省作业时间。
14.另外，采用本实用新型可以根据胶套模具的尺寸进行调整独立盖板的压入量，从而改善胶套模具内钼粉原料的整体平整度和致密度，对后续冷等静压和烧结时钼靶材的密度具有一定的提升作用。
15.同时，本实用新型中，盒状主体与独立盖板可活动拆卸，使用过程中如有损坏，可以只更换损坏部件，不用全体更换，达到节省成本的有益效果。
附图说明
16.图1为本实用新型中盒状主体的结构示意图。
17.图2为图1中a处放大图。
18.图3为本实用新型使用状态示意图。
19.图4为图3中的调整螺栓组件的侧视图。
20.图中标记：1、底板，101、侧板外支撑边， 2、侧板，201、端板外支撑部，3、方管，4、吊装环，5、螺母，6、端板，7、定位板，8、施压孔，9、独立盖板，10、柔性绳，11、调整螺栓组件，11a、调整支架，11b、调整螺母，11c、调整螺栓。
具体实施方式
21.下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步的详细说明，但并不作为对实用新型做任何限制的依据。
22.如图所示，一种大规格钼靶材生产用翻转震实工装，包括一个开放式结构的盒状主体和一个与盒状主体配合使用的独立盖板9。
23.盒状主体包括一块长方形的底板1，沿着底板1宽度方向的两端分别固定焊接设有一块长方形的侧板2，侧板2与底板1相应的宽度边沿均留有一定的距离，形成侧板外支撑边101，侧板外支撑边101上沿着底板1长度方向焊接有方管3，在方管3上沿长度方向布设有多个螺母5，螺母5的中心线与底板1长度方向相平行，在靠近方管3两端的位置分别设置有吊装环4。
24.在底板1长度方向的一端设有一块端板6，所述端板6连接在两块侧板2之间，并且端板6的宽度小于侧板2的宽度，从而当盒状主体如图1所示平放时，端板6距离水平面的高度低于侧板2距离水平面的高度。这个高度差可以使得独立盖板9在于盒状主体连接时能够根据胶套模具的尺寸进行调整压入量，从而改善胶套模具内钼粉原料的整体平整度和致密
度，对后续冷等静压和烧结时的密度具有一定的提升作用。
25.端板6与侧板2的相应端留有一定距离，形成端板外支撑部201。在底板1的另一端没有设置端板，从而形成开放式结构的盒状主体。独立盖板9用于将装过钼粉料的胶套模具压盖在盒状主体内，独立盖板9的宽度比两侧板2之间的距离小，从而独立盖板9能够充分与胶套模具相接触。
26.在所述的螺母5上设有用于将独立盖板9与盒状主体进行固定连接的柔性绳10，在所述的底板1、侧板2、端板6和独立盖板9上均设置有多个用于向胶套模具施加压力的施压孔8。
27.本实施例中，在两侧板2之间位于端板6的外侧连接有一块用于对独立盖板9进行长度方向限定位置的定位板7，所述定位板7的宽度不小于侧板2的宽度并大于端板6的宽度以保证独立盖板9能够在盒状主体平放时越过端板6顶在定位板7上进行定位，如图1及图2所示。
28.这样的设计结构可以保证独立盖板9与盒状主体配合安装时，能够快速定位，并保证独立盖板9对置于盒状主体中已经装入钼粉的胶套模具的有效接触，从而能够根据胶套模具的尺寸进行调整独立盖板9的压入量，改善胶套模具内钼粉原料的整体平整度和致密度，对后续冷等静压和烧结时密度的提升具有一定的提升作用
29.方管3上螺母5的个数可根据实际情况进行确定，本实施例中，每一根方管3上设置的螺母5均为四个。
30.在底板1上和独立盖板9上设置的多个施压孔8呈矩阵排列，施压孔8的直径优选为20
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25mm（底板1上的施压孔只示意了一部分）,同一排和同一列中相邻两个施压孔的间距为80
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90mm，在这样的参数范围内，胶套模具内的钼粉能够得到更加均匀的施压，从而保证钼靶材内部品质的均匀一致性。
31.为了对设在胶套模具口部的密封夹具（为现有技术，本处不做详述）进行有效的支撑，本实施例中，在底板1上和独立盖板9上均设置有调整螺栓组件11。
32.本实施例中，调整螺栓组件11包括调整支架11a、调整螺母11b和调整螺栓11c。调整支架11a固定设在底板1或独立盖板9上远离端板6的一端，调整螺母11b固定在调整支架11a上远离端板6的一端，调整螺母11b的中心线与底板1的长度方向相一致，调整螺栓11c设置在调整螺母11b中。通过调整螺栓11b的旋进和旋出，可以调整支撑在其上端密封夹具的位置以达到最好的密封效果。
33.调整螺栓组件11的数量可根据情况选择，本实施例中，底板1和独立盖板9上设置的调整螺栓组件11均为两套。
34.其中，调整支架11a为槽型，调整支架11a的槽型开口侧与独立盖板9或者盒状主体的底板1固定连接，柔性绳10经过调整支架11a时能够从调整支架11a的槽中穿过。
35.本实用新型使用时，将盒状主体水平放置在震动平台上，然后放入胶套模具，使胶套模具的底部与盒状主体的端板接触，然后从设在胶套模具另一端的入口装入钼粉原料，钼粉原料装入后，将胶套模具入口密封，之后进行震动震实，然后将独立盖板9放置在两侧板2之间的胶套模具上，采用柔性绳10将独立盖板于盒状主体进行固定，然后采用提升设备采用吊挂装置通过吊装环4将整个工装翻转180度，然后再次在震动平台上进行震实。
36.其中的调整螺栓组件11可以在完成震实后，采用密封夹具对胶套模具入口进行彻
底密封之前再固定安装在底板1和独立盖板9上。
37.以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非对其进行限制，所属领域的普通技术人员应当理解，参照上述实施例可以对本实用新型的具体实施方式进行修改或者等同替换，这些未脱离本实用新型精神和范围的任何修改或者等同替换均在本实用新型的权利要求保护范围之内。