一种用于真空镀膜的旋转装置的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜的旋转装置。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种，主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.在真空镀膜的过程中，基材会在真空镀膜室内被镀膜，为了使得基材表面的膜层均匀与一致，需要调整基材的位置。当对基材进行双面镀膜时，现有的做法是先镀膜其中一面，之后将基材再取出翻转至另一面进行镀膜，增加了镀膜的时间，降低了镀膜的效率，因此我们提出了一种用于真空镀膜的旋转装置。


技术实现要素：

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中先镀膜其中一面，之后将基材再取出翻转至另一面进行镀膜，增加了镀膜的时间，降低了镀膜的效率的问题，而提出的一种用于真空镀膜的旋转装置。
5.为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
6.一种用于真空镀膜的旋转装置，包括箱体和基片，还包括：转动杆，转动连接在箱体上；转套，转动连接在转动杆上；内筒，固定连接在转套上；齿套，固定连接在内筒上；其中，所述齿套上设置有转动机构，所述转动机构上连接有夹持机构，所述基片放置在夹持机构上；箱体上固定连接有驱动机构。
7.为了方便进行翻转，优选的，所述驱动机构包括电机、第一锥齿轮、第二锥齿轮和第三锥齿轮，所述电机固定连接在箱体上，所述第一锥齿轮固定连接在电机输出端，所述第二锥齿轮固定连接在转动杆上，所述第三锥齿轮固定连接在转套上，所述第一锥齿轮分别与第二锥齿轮和第三锥齿轮啮合相连。
8.为了方便对基材进行翻转，优选的，所述转动机构包括转动齿轮、传动杆和固定架，所述转动齿轮啮合连接在齿套上，所述传动杆固定连接在转动齿轮上，所述传动杆远离转动齿轮的一端转动连接在转动杆上，所述固定架有两组且均固定连接在传动杆上，所述夹持机构设置在固定架上。
9.为了翻转的稳定性，优选的，所述转动杆上转动连接有转座，所述转座上固定连接有固定块，所述传动杆转动连接在固定块上。
10.为了方便对基材进行固定，优选的，所述夹持机构包括固定板、固定座、滑杆、弹簧和夹板，所述固定板和固定座均固定连接在固定架上，所述滑杆滑动连接在固定座，所述夹板固定连接在滑杆上，所述弹簧套接在滑杆外壁，所述弹簧的两端分别与固定座和夹板相抵，所述基片分别与固定板和夹板相抵。
11.为了提高内筒的稳定性，优选的，所述箱体上转动连接有限位块，所述内筒固定连
接在限位块上，所述转动杆转动连接在限位块上。
12.与现有技术相比，本实用新型提供了一种用于真空镀膜的旋转装置，具备以下有益效果：
13.1、该用于真空镀膜的旋转装置，通过传动杆带动固定架上的基材转动进行翻转，减少一面镀膜后需要人工翻转的麻烦，减少镀膜时间，提高镀膜效率。
14.2、该用于真空镀膜的旋转装置，通过弹簧与夹板相抵对夹板上的基材进行固定，提高基材固定的稳定性，减少基材被转动甩出，同时通过夹板可以对不同尺寸厚度的基材进行固定，提高使用的方便性和适用性。
15.该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型使用简单，操作方便，通过对基材进行自动翻转进行镀膜，减少了人工翻转的麻烦，提高了镀膜的效率，同时降低了镀膜的时间。
附图说明
16.图1为本实用新型提出的一种用于真空镀膜的旋转装置主视的结构示意图；
17.图2为本实用新型提出的一种用于真空镀膜的旋转装置转动机构的结构示意图；
18.图3为本实用新型提出的一种用于真空镀膜的旋转装置齿套的结构示意图；
19.图4为本实用新型提出的一种用于真空镀膜的旋转装置图1中a部分的结构示意图；
20.图5为本实用新型提出的一种用于真空镀膜的旋转装置内筒的结构示意图。
21.图中：1、箱体；2、转动杆；3、转套；4、内筒；5、齿套；6、转动齿轮；7、传动杆；8、固定架；9、转座；10、固定块；11、电机；12、第一锥齿轮；13、第二锥齿轮；14、第三锥齿轮；15、基片；16、固定板；17、固定座；18、滑杆；19、弹簧；20、夹板；21、限位块。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
23.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
24.实施例1：
25.参照图1
‑
5，一种用于真空镀膜的旋转装置，包括箱体1和基片15，还包括：转动杆2，转动连接在箱体1上；转套3，转动连接在转动杆2上；内筒4，固定连接在转套3上；齿套5，固定连接在内筒4上；其中，齿套5上设置有转动机构，转动机构上连接有夹持机构，基片15放置在夹持机构上；箱体1上固定连接有驱动机构。
26.驱动机构包括电机11、第一锥齿轮12、第二锥齿轮13和第三锥齿轮14，电机11固定连接在箱体1上，第一锥齿轮12固定连接在电机11输出端，第二锥齿轮13固定连接在转动杆2上，第三锥齿轮14固定连接在转套3上，第一锥齿轮12分别与第二锥齿轮13和第三锥齿轮
14啮合相连。
27.转动机构包括转动齿轮6、传动杆7和固定架8，转动齿轮6啮合连接在齿套5上，传动杆7固定连接在转动齿轮6上，传动杆7远离转动齿轮6的一端转动连接在转动杆2上，固定架8有两组且均固定连接在传动杆7上，夹持机构设置在固定架8上。
28.转动杆2上转动连接有转座9，转座9上固定连接有固定块10，传动杆7转动连接在固定块10上，通过固定块10对传动杆7进行限位，提高传动杆7转动的稳定性。
29.本实用新型中，使用者使用时，通过夹持机构对基材进行固定，然后启动电机11，电机11输出端上的第一锥齿轮12与第二锥齿轮13和第三锥齿轮14啮合带动转动杆2和内筒4转动，通过内筒4上的齿套5带动转动齿轮6转动，通过转动齿轮6带动传动杆7在转动杆2上转动，通过传动杆7带动固定架8上的基材转动进行翻转，减少一面镀膜后需要人工翻转的麻烦，减少镀膜时间，提高镀膜效率。
30.实施例2：
31.参照图1
‑
5，一种用于真空镀膜的旋转装置，包括箱体1和基片15，还包括：转动杆2，转动连接在箱体1上；转套3，转动连接在转动杆2上；内筒4，固定连接在转套3上；齿套5，固定连接在内筒4上；其中，齿套5上设置有转动机构，转动机构上连接有夹持机构，基片15放置在夹持机构上；箱体1上固定连接有驱动机构，夹持机构包括固定板16、固定座17、滑杆18、弹簧19和夹板20，固定板16和固定座17均固定连接在固定架8上，滑杆18滑动连接在固定座17，夹板20固定连接在滑杆18上，弹簧19套接在滑杆18外壁，弹簧19的两端分别与固定座17和夹板20相抵，基片15分别与固定板16和夹板20相抵。
32.箱体1上转动连接有限位块21，内筒4固定连接在限位块21上，转动杆2转动连接在限位块21上，通过限位块21对内筒4进行限位，提高内筒4转动的稳定性。
33.与实施例1相比，更进一步的是通过把基材插入到固定座17和夹板20之间，通过弹簧19与夹板20相抵对夹板20上的基材进行固定，提高基材固定的稳定性，减少基材被转动甩出，同时通过夹板20可以对不同尺寸厚度的基材进行固定，提高使用的方便性和适用性。
34.本实用新型使用简单，操作方便，通过对基材进行自动翻转进行镀膜，减少了人工翻转的麻烦，提高了镀膜的效率，同时降低了镀膜的时间。
35.以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。