一种化学气相沉积气体导流机构的制作方法

1.本实用新型涉及化学气相沉积设备技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积气体导流机构。


背景技术：

2.化学气相沉积(cvd)是指化学气体或蒸汽在基质表面反应合成涂层或纳米材料的方法，是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术，包括大范围的绝缘材料，大多数金属材料和金属合金材料。从理论上来说，它是很简单的：两种或两种以上的气态原材料导入到一个反应室内，然后他们相互之间发生化学反应，形成一种新的材料，沉积到晶片表面上。
3.目前市面上化学气相沉积设备一般采用平行电容式整流板。这种平行电容式整流板与衬底保持平行，其整流板上设有阵列孔以供气体排出；通过膜厚测试对膜厚厚的区域的排气孔进行堵孔，或对膜厚薄的区域的排气孔进行扩孔。但由于上述整流板的出气口(排气孔)为阵列孔，即阵列均匀排布的出气孔，而整流板的进气孔一般处于整流板的中心，使其为中间(整流板的中部位置)进气、整个面(整流板的整个内平面)出气，这势必会出现中间的出气孔气流大、边缘的出气孔气流小的现象。从而影响了气体的使用效率、以及气体沉积膜厚的均匀性；另外，因阵列的出气孔小且多，所以在进行膜厚测试时，需要反复验证，反复进行堵孔、扩孔等操作，制作成本高、调试时间长。


技术实现要素：

4.(一)实用新型目的
5.为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种化学气相沉积气体导流机构，使得膜厚测试更为简单方便，制作成本低，调试时间短，降低了气流大小不均匀对气体沉积膜厚度造成的影响。
6.(二)技术方案
7.本实用新型提供了一种化学气相沉积气体导流机构，包括布气筒、上盖、进气管、支撑件、安装板、安装管、安装柱和分流罩；
8.布气筒为底端封闭的圆筒结构，布气筒底部均匀设置有多个出气孔；上盖设置在布气筒上端；进气管设置在上盖上，进气管与布气筒连通，进气管位于上盖中部；支撑件设置在布气筒内壁上，支撑件为上下开口且中空的圆台结构，支撑件上均匀设置有多个第一通孔；安装板设置在支撑件上端面，安装板上设置有多个第二通孔；安装管设置在安装板上，安装管位于进气管下方；安装柱卡接在安装管内；分流罩设置在安装柱上端。
9.优选的，安装管横向两侧均设置有导向槽，导向槽内壁上绕安装管中心轴旋转设置有限位槽；安装柱底端部横向两侧均设置有限位杆，限位杆与安装管滑动连接，限位杆位于导向槽内或限位槽内。
10.优选的，还包括复位弹簧和顶块；顶块滑动设置在安装管纵向两侧内壁上；复位弹
簧设置在安装板上，复位弹簧位于安装管内，复位弹簧的上端与顶块连接。
11.优选的，安装管纵向两侧内壁上均设置有滑槽；顶块纵向两侧均设置有滑块，滑块与安装管滑动连接，滑块位于滑槽内。
12.优选的，滑槽为t形槽状结构，滑块为t形块状结构，滑块与滑槽相适配。
13.优选的，上盖外周面上设置有外螺纹，布气筒上端内壁上设置有内螺纹，上盖和布气筒螺纹连接。
14.优选的，分流罩为圆锥结构，分流罩底面设置有圆锥槽，安装柱位于分流罩的圆锥槽内。
15.优选的，还包括密封垫；密封垫设置在布气筒上端面，密封垫位于布气筒和上盖之间。
16.与现有技术相比，本实用新型的上述技术方案具有如下有益的技术效果：
17.本实用新型使用时，将安装柱卡接在安装管上，盖上上盖，然后向进气管内通入气体，通入的气体进入布气筒内，中部的气体气流量较大，冲击力较大，冲击在分流罩上后向四周散开，经过支撑件的缓冲作用进入支撑件下方的空间，此时支撑件下方空间的气体流量几乎一致，然后同步从出气孔排出，从多个出气孔排出的气流大小一样，进而方便了膜厚测试，制作成本低，调试时间短，降低了现有技术中的装置中部气流大对气体沉积膜造成的影响，使得生产出的气体沉积膜厚度更均匀。
附图说明
18.图1为本实用新型提出的一种化学气相沉积气体导流机构的局部剖视图。
19.图2为图1中a处的局部放大图。
20.图3为本实用新型提出的一种化学气相沉积气体导流机构中安装管的结构示意图。
21.附图标记：1、布气筒；101、出气孔；2、上盖；3、进气管；4、支撑件；401、第一通孔；5、安装板；501、第二通孔；6、安装管；601、导向槽；602、限位槽；603、滑槽；7、复位弹簧；8、顶块；801、滑块；9、安装柱；10、分流罩；11、限位杆；12、密封垫。
具体实施方式
22.为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。
23.如图1
‑
3所示，本实用新型提出的一种化学气相沉积气体导流机构，包括布气筒1、上盖2、进气管3、支撑件4、安装板5、安装管6、安装柱9和分流罩10；
24.布气筒1为底端封闭的圆筒结构，布气筒1底部均匀设置有多个出气孔101；上盖2设置在布气筒1上端；进气管3设置在上盖2上，进气管3与布气筒1连通，进气管3位于上盖2中部；支撑件4设置在布气筒1内壁上，支撑件4为上下开口且中空的圆台结构，支撑件4上均匀设置有多个第一通孔401；安装板5设置在支撑件4上端面，安装板5上设置有多个第二通孔501；安装管6设置在安装板5上，安装管6位于进气管3下方；安装柱9卡接在安装管6内；分
流罩10设置在安装柱9上端。
25.在一个可选的实施例中，安装管6横向两侧均设置有导向槽601，导向槽601内壁上绕安装管6中心轴旋转设置有限位槽602；安装柱9底端部横向两侧均设置有限位杆11，限位杆11与安装管6滑动连接，限位杆11位于导向槽601内或限位槽602内，通过将限位杆11卡进限位槽602内，能够保证安装柱9与安装管6卡接连接的稳定性。
26.在一个可选的实施例中，还包括复位弹簧7和顶块8；顶块8滑动设置在安装管6纵向两侧内壁上；复位弹簧7设置在安装板5上，复位弹簧7位于安装管6内，复位弹簧7的上端与顶块8连接，在限位杆11卡进限位槽602内后，在复位弹簧7弹力的作用下，顶块8顶在安装柱9下端面，保证限位杆11顶在限位槽602内壁上，进而保证安装柱9与安装管6卡接连接的稳定性。
27.在一个可选的实施例中，安装管6纵向两侧内壁上均设置有滑槽603；顶块8纵向两侧均设置有滑块801，滑块801与安装管6滑动连接，滑块801位于滑槽603内，能够保证顶块8在安装管6内壁上滑动时的稳定性。
28.在一个可选的实施例中，滑槽603为t形槽状结构，滑块801为t形块状结构，滑块801与滑槽603相适配。
29.在一个可选的实施例中，上盖2外周面上设置有外螺纹，布气筒1上端内壁上设置有内螺纹，上盖2和布气筒1螺纹连接，便于安装与拆卸上盖2。
30.在一个可选的实施例中，分流罩10为圆锥结构，分流罩10底面设置有圆锥槽，安装柱9位于分流罩10的圆锥槽内，能够对从进气管3进入布气筒1内的气体更好的分流，减小气体进入布气筒1的冲击力。
31.在一个可选的实施例中，还包括密封垫12；密封垫12设置在布气筒1上端面，密封垫12位于布气筒1和上盖2之间，保证上盖2和布气筒1之间不会漏气。
32.本实用新型使用时，将安装柱9卡接在安装管6上，盖上上盖2，然后向进气管3内通入气体，通入的气体进入布气筒1内，中部的气体气流量较大，冲击力较大，冲击在分流罩10上后向四周散开，经过支撑件4的缓冲作用进入支撑件4下方的空间，此时支撑件4下方空间的气体流量几乎一致，然后同步从出气孔101排出，从多个出气孔101排出的气流大小一样，进而方便了膜厚测试，制作成本低，调试时间短，降低了现有技术中的装置中部气流大对气体沉积膜造成的影响，使得生产出的气体沉积膜厚度更均匀。
33.应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。