一种真空镀膜机用冷却结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜机技术领域，具体为一种真空镀膜机用冷却结构。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空电阻加热蒸发，电子枪加热蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积，离子束溅射等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。
3.传统的真空镀膜机中需要其内部生产后的产品进行冷却，现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，导致工作效率低，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，影响真空镀膜机的使用寿命。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却结构，解决了现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，导致工作效率低，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，影响真空镀膜机的使用寿命的问题。
5.为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜机用冷却结构，包括真空镀膜机和外冷却框，所述外冷却框包裹在真空镀膜机的外部，所述外冷却框与真空镀膜机的间隙处设为冷却间隙室，所述冷却间隙室的内部固定设置有固定连接块，所述真空镀膜机的外部表面上缠绕设置有螺纹冷却管，所述螺纹冷却管的输出端与第二连接管的一端相连，所述第二连接管的另一端与冷却器的输入端之间相连，所述冷却器的输出端与第一连接管的一端相连，所述第一连接管的另一端与水泵的输入端之间相连，所述水泵的输出端与螺纹冷却管的输入端之间相连。
6.作为本实用新型进一步的方案：所述冷却间隙室的内部设置有散热翅片和第三连接管，并且所述散热翅片与第三连接管之间相连通，所述第三连接管通过固定连接块固定在冷却间隙室的内部，所述第三连接管的输入端与进液阀门的端口之间相连，所述第三连接管的输出端与水箱的进液端之间相连。
7.作为本实用新型进一步的方案：所述真空镀膜机的输料端处转动设置有进料盖，并且所述进料盖的最大直径值大于真空镀膜机的输料端的最小直径值。
8.作为本实用新型进一步的方案：所述进液阀门与外界出液端口相连接，所述水箱与第三连接管之间为可拆卸式连接。
9.作为本实用新型进一步的方案：所述冷却器与外界固定件紧固相连。
10.作为本实用新型进一步的方案：所述散热翅片固定在外冷却框的内壁上。
11.有益效果
12.本实用新型提供了一种真空镀膜机用冷却结构。与现有技术相比具备以下有益效果：
13.一种真空镀膜机用冷却结构，通过外冷却框包裹在真空镀膜机的外部，外冷却框
与真空镀膜机的间隙处设为冷却间隙室，冷却间隙室的内部固定设置有固定连接块，真空镀膜机的外部表面上缠绕设置有螺纹冷却管，螺纹冷却管的输出端与第二连接管的一端相连，第二连接管的另一端与冷却器的输入端之间相连，冷却器的输出端与第一连接管的一端相连，第一连接管的另一端与水泵的输入端之间相连，水泵的输出端与螺纹冷却管的输入端之间相连,解决了现有的真空镀膜机散热较多采用自然冷却，效果较差，导致工作效率低，冷却不及时，很容易导致真空镀膜机因为温度过高而损坏，影响真空镀膜机的使用寿命的问题。
附图说明
14.图1为本实用新型内部结构示意图；
15.图2为本实用新型内部侧视结构示意图；
16.图3为本实用新型结构示意图。
17.图中：1、真空镀膜机；2、进料盖；3、水箱；4、外冷却框；5、水泵；6、第一连接管；7、冷却器；8、第二连接管；9、散热翅片；10、第三连接管；11、固定连接块；12、螺纹冷却管；13、进液阀门；14、冷却间隙室。
具体实施方式
18.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
19.请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种真空镀膜机用冷却结构，包括真空镀膜机1和外冷却框4，所述外冷却框4包裹在真空镀膜机1的外部，所述外冷却框4与真空镀膜机1的间隙处设为冷却间隙室14，所述冷却间隙室14的内部固定设置有固定连接块11，所述真空镀膜机1的外部表面上缠绕设置有螺纹冷却管12，所述螺纹冷却管12的输出端与第二连接管8的一端相连，所述第二连接管8的另一端与冷却器7的输入端之间相连，所述冷却器7的输出端与第一连接管6的一端相连，所述第一连接管6的另一端与水泵5的输入端之间相连，所述水泵5的输出端与螺纹冷却管12的输入端之间相连，所述冷却间隙室14的内部设置有散热翅片9和第三连接管10，并且所述散热翅片9与第三连接管10之间相连通，所述第三连接管10通过固定连接块11固定在冷却间隙室14的内部，所述第三连接管10的输入端与进液阀门13的端口之间相连，所述第三连接管10的输出端与水箱3的进液端之间相连，所述真空镀膜机1的输料端处转动设置有进料盖2，并且所述进料盖2的最大直径值大于真空镀膜机1的输料端的最小直径值，所述进液阀门13与外界出液端口相连接，所述水箱3与第三连接管10之间为可拆卸式连接，所述冷却器7与外界固定件紧固相连，所述散热翅片9固定在外冷却框4的内壁上。
20.在上述实施例中，所述冷却器7的型号为or-150。
21.本实用新型在使用时，将需要进行镀膜操作的芯片放置在真空镀膜机1的内部进行镀膜操作，结束后，进液阀门13处通入冷却液，冷却液体沿着第三连接管10的位置进入到散热翅片9中，散热翅片9对真空镀膜机1与外冷却框4之间的冷却间隙室14的温度进行冷
却，经过散热翅片9后的残余液体继续沿着第三连接管10的位置进入到水箱3的内部，同时，在第二连接管8和第一连接管6内的液体沿着螺纹冷却管12的方向对真空镀膜机1进行冷却，螺纹冷却管12缠绕在真空镀膜机1的表面，这样对真空镀膜机1的内部进行冷却，冷却器7对冷却后吸收热量的冷却液进行同步冷却，水泵5实现冷却液的传送。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”等指示方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以及特定的方位构造和操作，因此，不能理解为对本实用新型的限制。此外，“第一”、“第二”仅由于描述目的，且不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。因此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者多个该特征。本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
23.在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”“相连”“连接”等应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接连接，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
24.以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。