一种具有均匀镀膜功能的真空镀膜设备的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜领域，特别是涉及一种具有均匀镀膜功能的真空镀膜设备。


背景技术：

2.真空镀膜技术是气相物理沉积的方法之一，是在真空条件下，用蒸发器加热镀膜材料使之升华，蒸发粒子流直接射向基体，在基体表面沉积形成固体薄膜。
3.在现代加工生产过程中，为了提高金属组件，特别是用于精密设备的零件的表面精度，以达到减少振动、降低噪声、减小摩擦、延长寿命等目的，通常会对其表面进行真空镀膜处理。
4.产品表面镀膜的均匀性，和整个真空镀膜设备的真空度存在很大关系，如果设备的密封达不到所需真空度要求，其镀膜效果较差，无法达到所需要求。而真空镀膜设备的旋转挂架结构总成，其动力部分设置在真空镀膜室主体外侧，从而导致转轴在和轴承座连接位置的密封状态不佳，目前多使用橡塑密封结构进行密封，但是由于转轴在旋转过程中，橡塑密封结构和转轴之间存在一定摩擦，长时间使用后，容易对转轴造成磨损，从而增加产品耗损；而且真空镀膜设备使用时候温度较高，橡塑密封结构容易失效，从而影响密封效果，使得产品的镀膜均匀性较差。


技术实现要素：

5.实用新型目的：本实用新型的目的是提供一种具有均匀镀膜功能的真空镀膜设备，解决了真空镀膜设备进行真空镀膜时候存在的问题。
6.技术方案：本实用新型提供了一种具有均匀镀膜功能的真空镀膜设备，包括镀膜室结构、挂架结构总成，所述挂架结构总成包括电机固定座、电机、联轴器、上密封结构、挂架结构、下密封结构，所述电机固定座设置在镀膜室结构上端，所述电机设置在电机固定座上，其轴端联轴器和设置在镀膜室结构内的挂架结构端部连接，所述密封结构、下密封结构分别设置在镀膜室结构上下端且和挂架结构两端连接；所述上密封结构和下密封结构结构相同，所述上密封结构包括轴套、第一轴承、第一挡环、第一极靴、永磁体、第二极靴、第二挡环、第二轴承，所述第一轴承、第一挡环、第一极靴、永磁体、第二极靴、第二挡环、第二轴承依次设置在轴套内部。将需要进行真空镀膜的零件依次挂到挂架结构总成上，然后在镀膜室结构进行镀膜工作。挂架结构总成中的电机通过联轴器驱动挂架结构进行匀速转动，而上密封结构、下密封结构则有效保证了整个镀膜室结构内的真空度保持恒定，从而有效提高了零件表面镀膜的均匀性。
7.进一步的，所述轴套法兰盘上设有第一密封圈。上密封结构、下密封结构外侧和镀膜室结构通过螺栓固定，轴套法兰盘上设有第一密封圈，从而起到密封作用。
8.进一步的，所述第一极靴和第二极靴结构相同，所述第一极靴内壁上设有若干等间距排列的极齿，所述极齿之间构成齿槽，所述齿槽内装有磁性液体。极齿与转轴存在一定
间隙，永磁体提供磁源，与第一极靴和第二极靴、转轴形成磁回路，将磁性液体束缚在极齿之间，形成若干个环形密封圈，从而起到多重密封作用，从而保证了整个真空镀膜设备的真空度的恒定，从而提高了产品表面的镀膜均匀性。另外，转轴旋转过程中合磁性液体接触，有效避免了磨损现象，从而提高了转轴以及上密封结构、下密封结构零部件的使用寿命。
9.进一步的，所述第一极靴外壁上设有第二密封圈。和轴套之间起到密封作用。
10.进一步的，所述挂架结构包括转轴、上法兰盘、下法兰盘、挂架组件、齿轮结构，所述上法兰盘设置在转轴上靠近上密封结构位置，所述下法兰盘设置在转轴上靠近下密封结构位置，所述挂架组件有若干组，以转轴轴心为中心呈圆周阵列设置，且其两端分别和上法兰盘、下法兰盘连接，所述齿轮结构设置在下法兰盘和下密封结构支架，且分别和转轴、挂架组件端部连接。转轴在电机的驱动下进行匀速转动，设置在上法兰盘、下法兰盘上的挂架组件随着转轴的转动，通过齿轮结构做匀速自转，从而提高了设置在挂架组件上的零件在镀膜过程中其表面的镀膜均匀性。
11.上述技术方案可以看出，本实用新型具有如下有益效果：1）设置上密封结构、下密封结构，通过永磁体与第一极靴和第二极靴、转轴形成磁回路，在转轴上形成若干个液体环形密封圈，从而不但起到多重密封作用，从而保证了整个真空镀膜设备的真空度的恒定，从而提高了产品表面的镀膜均匀性；2）替代了原有的橡胶密封结构，有效避免了转轴转动时候和密封结构之间产生的磨损现象，从而提高了转轴以及上密封结构、下密封结构零部件的使用寿命；3）结构简单，便于拆装，具有广泛适用性。
附图说明
12.图1为本实用新型的主视图；
13.图2为挂架结构总成的主视图；
14.图3为上密封结构安装在转轴上的剖视图；
15.图4为图3中局部视图a的放大图。
16.图中：镀膜室结构1、挂架结构总成2、电机固定座21、电机22、联轴器23、上密封结构24、轴套241、第一密封圈2411、第一轴承242、第一挡环243、第一极靴244、极齿2441、齿槽2442、第二密封圈2443、永磁体245、第二极靴246、第二挡环247、第二轴承248、挂架结构25、转轴251、上法兰盘252、下法兰盘253、挂架组件254、齿轮结构255、下密封结构26。
具体实施方式
17.下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
18.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
19.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确的限定。
20.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
21.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
22.实施例一
23.如图1所示是本实用新型的主视图，包括镀膜室结构1、挂架结构总成2，如图2所述为所述挂架结构总成2主视图，包括电机固定座21、电机22、联轴器23、上密封结构24、挂架结构25、下密封结构26，所述电机固定座21设置在镀膜室结构1上端，所述电机22设置在电机固定座21上，其轴端联轴器23和设置在镀膜室结构1内的挂架结构25端部连接，所述密封结构24、下密封结构26分别设置在镀膜室结构1上下端且和挂架结构25两端连接；所述上密封结构24和下密封结构26结构相同，如图3所示为所述上密封结构24安装在转轴251上时候的剖视图，包括轴套241、第一轴承242、第一挡环243、第一极靴244、永磁体245、第二极靴246、第二挡环247、第二轴承248，所述第一轴承242、第一挡环243、第一极靴244、永磁体245、第二极靴246、第二挡环247、第二轴承248依次设置在轴套241内部。
24.所述轴套241法兰盘上设有第一密封圈2411。
25.所述第一极靴244和第二极靴246结构相同，如图4所示为图3中局部视图a的放大图，所述第一极靴244内壁上设有若干等间距排列的极齿2441，所述极齿2441之间构成齿槽2442，所述齿槽2442内装有磁性液体。
26.所述第一极靴244外壁上设有第二密封圈2443。
27.所述挂架结构25包括转轴251、上法兰盘252、下法兰盘253、挂架组件254、齿轮结构255，所述上法兰盘252设置在转轴251上靠近上密封结构24位置，所述下法兰盘253设置在转轴251上靠近下密封结构26位置，所述挂架组件254有若干组，以转轴251轴心为中心呈圆周阵列设置，且其两端分别和上法兰盘252、下法兰盘253连接，所述齿轮结构255设置在下法兰盘253和下密封结构26支架，且分别和转轴251、挂架组件254端部连接。
28.以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进，这些改进也应视为本实用新型的保护范围。