一种真空镀膜结构的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种真空镀膜结构。


背景技术：

2.真空镀膜设备，主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种；主要思路是分成蒸发和溅射两种。现在国内工厂应用的大部分是蒸发镀膜,蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来，并且沉降在基片表面，通过成膜过程形成薄膜。
3.但是现有技术在实际使用时，由于蒸发的离子在空气中的分布不均匀,在零件靠近靶材的一面镀的膜会比较厚,背离靶材的部分镀的膜就比较薄,导致镀膜不均，影响产品质量的情况，需要改进。


技术实现要素：

4.基于此，本实用新型的目的是提供一种真空镀膜结构，以解决现有的真空镀膜存在镀膜不均匀的技术问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种真空镀膜结构，包括镀膜设备，所述镀膜设备的内部设置有承载台，且承载台的端面安装有多组挂架，所述承载台的底端连接有与镀膜设备底壁连接的驱动齿轮，且驱动齿轮的一侧连接有半齿轮，所述半齿轮的底端连接有动力电机，所述挂架的一侧下方安装有从动齿轮，且从动齿轮的外侧位于镀膜设备的内壁设置有齿壁，所述从动齿轮的上方设置有与从动齿轮相连的皮带，且皮带的内侧位于承载台的内部安装有从动转盘，所述从动转盘的顶端连接有转动盘。
6.通过采用上述技术方案，使得放置有待镀膜工件的放置架在公转的同时能够进行自转，且每次公转自转都会保持当前位置一小段时间，使得工件镀膜区域拥有时间被完全镀膜，不仅提高了镀膜的均匀度还增强了镀膜的质量。
7.本实用新型进一步设置为，所述动力电机的输出端与半齿轮通过联轴器固定连接，且半齿轮与驱动齿轮通过齿轮啮合连接。
8.通过采用上述技术方案，起到动力传递的效果。
9.本实用新型进一步设置为，所述挂架与承载台通过轴承转动连接。
10.通过采用上述技术方案，便于挂架实现转动。
11.本实用新型进一步设置为，所述从动转盘与转动盘通过联轴器固定连接，所述从动齿轮外壁的轮齿与齿壁通过齿轮啮合连接。
12.通过采用上述技术方案，使得转动盘能够进行转动。
13.本实用新型进一步设置为，所述从动齿轮通过传动转盘和皮带与从动转盘传动连接。
14.通过采用上述技术方案，使得从动转盘能够带动转动盘转动，实现挂架的自转。
15.综上所述，本实用新型主要具有以下有益效果：
16.1、本实用新型通过设置动力电机、驱动齿轮、半齿轮和承载台，启动动力电机，动力电机的输出端带动半齿轮转动，当半齿轮转动至与驱动齿轮接触后，半齿轮则通过齿轮啮合作用带动驱动齿轮转动，驱动齿轮转动后会带动承载台转动，承载台转动后会带动多组挂架进行转动，从而实现对挂架上物件的均匀镀膜，当半齿轮转动至不与驱动齿轮接触后，半齿轮无法带动驱动齿轮转动，此时承载台会停滞一段时间，使得挂架上的工件可以更好地进行镀膜，解决了真空镀膜存在镀膜不均匀的同时也解决镀膜质量不佳的技术问题；
17.2、本实用新型通过设置齿壁、从动齿轮、皮带、从动转盘和转动盘，当承载台转动时，位于承载台内部且延伸至外侧的从动齿轮会跟随承载台转动，因此从动齿轮会在齿壁的作用下进行转动，从动齿轮转动后会通过传动转盘和皮带的传动作用带动从动转盘转动，从动转盘带动转动盘做与承载台旋转反向相反的转动，从而使得转动盘能够带动挂架反向自转，挂架在公转的同时进行自转，进一步的提升了镀膜的均匀性，且挂架的自转也会跟随承载台转动的停滞而停滞，也进一步的提升了镀膜的质量。
附图说明
18.图1为本实用新型的内部结构图；
19.图2为本实用新型的齿轮传动结构图；
20.图3为本实用新型的俯视结构图；
21.图4为本实用新型图3中的a处局部放大图；
22.图5为本实用新型图1中的b处局部放大图。
23.图中：1、镀膜设备；2、承载台；3、挂架；4、驱动齿轮；5、半齿轮；6、动力电机；7、齿壁；8、皮带；9、从动转盘；10、转动盘；11、从动齿轮。
具体实施方式
24.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，仅用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
25.下面根据本实用新型的整体结构，对其实施例进行说明。
26.一种真空镀膜结构，如图1-5所示，包括镀膜设备1，镀膜设备1的内部设置有承载台2，且承载台2的端面安装有多组挂架3，承载台2的底端连接有与镀膜设备1底壁连接的驱动齿轮4，且驱动齿轮4的一侧连接有半齿轮5，半齿轮5的底端连接有动力电机6，动力电机6的输出端与半齿轮5通过联轴器固定连接，且半齿轮5与驱动齿轮4通过齿轮啮合连接，动力电机6的输出端带动半齿轮5转动，半齿轮5转动后通过齿轮啮合作用带动驱动齿轮4转动，挂架3的一侧下方安装有从动齿轮11，且从动齿轮11的外侧位于镀膜设备1的内壁设置有齿壁7，从动齿轮11的上方设置有与从动齿轮11相连的皮带8，且皮带8的内侧位于承载台2的内部安装有从动转盘9，从动转盘9的顶端连接有转动盘10，从动转盘9与转动盘10通过联轴器固定连接，从动齿轮11外壁的轮齿与齿壁7通过齿轮啮合连接，从动齿轮11会在齿壁7的作用下转动；从动转盘9转动后则会带动转动盘10转动。
27.请参阅图3，挂架3与承载台2通过轴承转动连接，便于挂架3转动。
28.请参阅图5，从动齿轮11通过传动转盘和皮带8与从动转盘9传动连接，从动齿轮11
转动后会通过传动转盘和皮带8带动从动转盘9转动，实现动力传动。
29.本实用新型的工作原理为：首先，将待镀膜的工件放置在挂架3上，随后启动动力电机6，动力电机6的输出端带动半齿轮5转动，当半齿轮5转动至与驱动齿轮4接触后，半齿轮5则通过齿轮啮合作用带动驱动齿轮4转动，驱动齿轮4转动后会带动承载台2转动，承载台2转动后会带动多组挂架3进行转动，从而实现对挂架3上物件的均匀镀膜，当半齿轮5转动至不与驱动齿轮4接触后，半齿轮5无法带动驱动齿轮4转动，此时承载台2会停滞一段时间，使得挂架3上的工件可以更好地进行镀膜，提升镀膜质量；
30.当承载台2转动时，位于承载台2内部且延伸至外侧的从动齿轮11会跟随承载台2转动，因此从动齿轮11会在齿壁7的作用下进行转动，从动齿轮11转动后会通过传动转盘和皮带8的传动作用带动从动转盘9转动，从动转盘9带动转动盘10做与承载台2旋转反向相反的转动，从而使得转动盘10能够带动挂架3反向自转，挂架3在公转的同时进行自转，进一步的提升了镀膜的均匀性，且挂架3的自转也会跟随承载台2转动的停滞而停滞，进一步的提升了镀膜的质量。
31.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，但本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对实用新型的限制，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合，本领域技术人员在阅读完本说明书后可在不脱离本实用新型的原理和宗旨的情况下，可以根据需要对实施例做出没有创造性贡献的修改、替换和变型等，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。