1.本实用新型涉及oled制造技术领域,尤其涉及一种蒸镀装置。
背景技术:
2.在oled生产过程中,通常使用蒸镀装置对oled材料进行蒸镀。蒸镀装置包括蒸发舟和坩埚,坩埚用于盛装有机材料,蒸发舟用于加热坩埚。现有技术中的蒸镀装置,蒸发舟上开设有用于承载坩埚的凹槽,将坩埚置于蒸发舟的凹槽内,蒸发舟的两端接入电极实现坩埚的加热,从而加热坩埚,实现将有机材料蒸镀在oled材料上。上述结构设置,坩埚整体均被加热,坩埚的开口处以及坩埚底部之间不存在温差,从而易导致堵口问题的发生。
3.基于此,亟需一种蒸镀装置用来解决如上提到的问题。
技术实现要素:
4.本实用新型的目的在于提供一种蒸镀装置,以实现埚体的开口处温度较高,与埚体底部之间具有温差,降低了发生堵口问题的可能性,保证了蒸镀的效率以及质量。
5.为达此目的,本实用新型采用以下技术方案:
6.一种蒸镀装置,包括:
7.坩埚,包括埚体和衔口,所述衔口沿周向外延于所述埚体的开口处;
8.蒸发舟,包括加热环和两个电极,两个所述电极间隔设置且均连接于所述加热环的外壁,所述埚体穿设于所述加热环内,且所述埚体的底部伸出所述加热环,所述衔口搭接在所述加热环上。
9.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述电极连接于所述加热环的一端的侧壁上开设有缺口。
10.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述电极相对的两个侧壁上均开设所述缺口;和/或,
11.两个所述电极上均设置两个所述缺口。
12.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述加热环的底端凸出于所述电极设置,且所述电极位于所述加热环朝向所述衔口的一端。
13.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述加热环为圆环;
14.所述加热环的内壁贴合于所述埚体的外壁;或,所述埚体与所述加热环过盈配合。
15.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述加热环的横截面呈圆环状,所述加热环的内径沿轴向递减,且所述加热环底端的内径最小;
16.所述加热环内壁的底部贴合于所述埚体的外壁;或,所述埚体内壁的底部与所述埚体过盈配合。
17.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述加热环为圆环,所述加热环底端的内壁上环向设置有凸出部;
18.所述凸出部的内壁贴合于所述埚体的外壁;或,所述凸出部与所述加热环过盈配
合。
19.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,两个所述电极均位于所述加热环朝向所述衔口的一端。
20.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,所述加热环与所述电极一体连接。
21.作为一种蒸镀装置的可选技术方案,两个所述电极分别位于所述加热环的相对两侧。
22.本实用新型的有益效果:本实用新型提供的蒸镀装置,包括坩埚和蒸发舟。坩埚的埚体底部穿过蒸发舟的加热环,且坩埚的衔口搭接在加热环上,加热环产生的高温通过衔口向埚体传递,使得埚体的开口处温度较高,埚体底部的温度较低,使得埚体开口处与埚体底部之间具有温差,降低了发生堵口问题的可能性,保证了蒸镀的效率以及质量。
附图说明
23.图1是本实用新型实施例提供的蒸镀装置的结构示意图;
24.图2是本实用新型实施例提供的蒸镀装置的剖视图;
25.图3是本实用新型实施例提供的坩埚的结构示意图;
26.图4是本实用新型实施例提供的蒸发舟的结构示意图。
27.图中:
28.1、坩埚;11、埚体;12、衔口;
29.2、蒸发舟;21、加热环;22、电极;221、缺口。
具体实施方式
30.为使本实用新型解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚,下面将结合附图对本实用新型实施例的技术方案做进一步的详细描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
31.在本实用新型的描述中,除非另有明确的规定和限定,术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
32.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
33.下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
34.本实施例提供了一种蒸镀装置。具体地,如图1所示,蒸镀装置包括坩埚1和蒸发舟
2。坩埚1包括埚体11和衔口12,衔口12沿周向外延于埚体11的开口处;蒸发舟2包括加热环21和两个电极22,两个电极22间隔设置且均连接于加热环21的外壁,埚体11穿设于加热环21内,且埚体11的底部伸出加热环21,衔口12搭接在加热环21上。如图1-图3所示,本实施例中,坩埚1为带衔口12的坩埚,埚体11外侧壁呈圆环形,衔口12呈圆环型。
35.本实施例提供的蒸镀装置,包括坩埚1和蒸发舟2。坩埚1的埚体11底部穿过蒸发舟2的加热环21,且坩埚1的衔口12搭接在加热环21上,加热环21产生的高温通过衔口12向埚体11传递,使得埚体11的开口处温度较高,埚体11底部的温度较低,使得埚体11开口处与埚体11底部之间具有温差,降低了发生堵口问题的可能性,保证了蒸镀的效率以及质量。
36.在本实施例中,加热环21与电极22一体连接,便于生产加工。蒸发舟2采用钽皮材质。在其他实施例中,蒸发舟2的材质可适应性选取,能够起到通电加热的作用即可,在此不作限定。坩埚1的材质可采用石英或pbn。
37.进一步地,如图1、图2和图4所示,两个电极22分别位于加热环21的相对两侧,加热环21电阻分布均匀,有利于加热环21的温度均匀,保证了埚体11能够受热均匀,保证了蒸镀效率以及质量。
38.现有技术中,电极22与加热环21之间的连接处的温度较低,导致加热环21上的温度不均,影响蒸镀效率。作为优选方案,电极22连接于加热环21的一端的侧壁上开设有缺口221,使得电极22连接于加热环21的一端的截面积减小,增大了电极22朝向与加热环21之间连接端的电阻,当电极22通电时,上述连接端的产热量较大,温度较高,保证了加热环21上的温度均匀,保证了对于埚体11的加热效率,从而保证了蒸镀的效率。
39.进一步地,电极22相对的两个侧壁上均开设缺口221,进一步增大了电极22与加热环21之间的连接端的电阻,进一步保证了加热环21的温度均匀。其中,缺口221可呈弧状或方形,在此不作限定。
40.在本实施例中,两个电极22上均设置两个缺口221,有利于两侧电极22上的连接端处的温度相同,进一步保证了加热环21上的温度均匀。
41.优选地,加热环21的底端凸出于电极22设置,且电极22位于加热环21朝向衔口12的一端。上述结构设置,能够增大加热环21与坩埚1的接触面积,从而加强了热传导效率,保证了对埚体11的加热效率,而且电极22位于加热环21的上端,也能够保证加热环21上端的温度高于加热环21下端的温度,从而保证衔口12的温度高于埚体11底部的温度,降低了堵口的可能性。
42.在本实施例中,两个电极22均位于加热环21朝向衔口12的一端,进一步保证了加热环21上端的温度高于加热环21下端的温度。
43.优选地,加热环21的横截面呈圆环状,能够实现加热环21与埚体11之间的间距相同,利于均匀加热埚体11。
44.在一些实施例中,加热环21为圆环,便于生产加工。加热环21的内壁贴合于埚体11的外壁,便于坩埚1与蒸发舟2之间的装配,也保证了加热环21与埚体11之间的导热效率,提高了蒸镀效率。或,埚体11与加热环21过盈配合,在保证导热效率的基础上,又保证了埚体11能够稳定的固定在加热环21上,提高了蒸镀装置的结构稳定性。
45.在其他一些实施例中,加热环21的横截面呈圆环状,加热环21的内径沿轴向递减,且加热环21底端的内径最小。加热环21内壁的底部贴合于埚体11的外壁,便于坩埚1与蒸发
舟2之间的装配,也保证了加热环21与埚体11之间的导热效率,提高了蒸镀效率;或,埚体11内壁的底部与埚体11过盈配合,在保证导热效率的基础上,又保证了埚体11能够稳定地固定在加热环21上,提高了蒸镀装置的结构稳定性。此时,加热环21的外径可为恒定值,或可沿轴向变化,在此不作限定。
46.在其他又一些实施例中,加热环21为圆环,加热环21底端的内壁上环向设置有凸出部;凸出部的内壁贴合于埚体11的外壁,便于坩埚1与蒸发舟2之间的装配,也保证了加热环21与埚体11之间的导热效率,提高了蒸镀效率;或,凸出部与加热环21过盈配合,在保证导热效率的基础上,又保证了埚体11能够稳定地固定在加热环21上,提高了蒸镀装置的结构稳定性。
47.优选地,加热环21的最大厚度小于电极22的厚度,使得加热环21的电阻较大,增大了加热环21的产热,保证了蒸镀效率。
48.显然,本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例,而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说,在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等,均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。