一种多功能磁控溅射真空镀膜机的制作方法

1.本实用涉及磁控溅射技术领域，具体为一种多功能磁控溅射真空镀膜机。


背景技术：

2.磁控溅射是物理气相沉积(physical vapor deposition，pvd)的一种。一般的溅射法可被用于制备金属、半导体、绝缘体等多材料，且具有设备简单、易于控制、镀膜面积大和附着力强等优点，而上世纪70年代发展起来的磁控溅射法更是实现了高速、低温、低损伤。因为是在低气压下进行高速溅射，必须有效地提高气体的离化率。磁控溅射通过在靶阴极表面引入磁场，利用磁场对带电粒子的约束来提高等离子体密度以增加溅射率。
3.传统的磁控溅射真空镀膜装置功能较为单一，只能对被镀件进行镀膜处理，并且传统的磁控溅射真空镀膜装置在对被镀件进行镀膜的过程中，被镀件的表面会产生大量的热，并且温度在0-100摄氏度不等，若是工作人员直接将镀膜完成的被镀件从磁控溅射真空镀膜装置内部取出的话，容易造成工作人员被镀膜完成的被镀件烫伤。


技术实现要素：

4.本实用的目的在于提供一种多功能磁控溅射真空镀膜机，以解决上述背景技术中提出的问题。
5.为实现上述目的，本实用提供如下技术方案：一种多功能磁控溅射真空镀膜机，包括电箱，所述电箱一侧的两端均通过合页转动安装有活动门板，所述活动门板一侧的一端安装有控制面板，所述电箱内部底部的一端安装有第一电机，所述电箱内部底部靠近第一电机的一端安装有真空泵，所述电箱内部远离控制面板一侧靠近真空泵一端的中间位置安装有固定件，所述电箱内部远离控制面板一侧通过固定件安装有惰性气体气罐，所述电箱内部底部远离第一电机的一端安装有第二电机，所述电箱内部顶端靠近第一电机一端的中间位置活动安装有第一传送带，所述第一传送带顶部活动安装有放置板，所述电箱内部顶端远离第一电机一端的中间位置活动安装有第二传送带，所述电箱顶部靠近第一传送带的一端安装有真空舱，所述真空舱顶部靠近第一电机一端的中间位置安装有电子气阀，所述真空舱内部远离控制面板的一侧安装有靶材，所述真空舱内部靠近控制面板的一侧安装有基板，所述真空舱两侧的侧壁均安装有承载件，所述承载件的内部安装有磁铁，所述电箱顶部靠近第二电机的一端安装有冷却舱，所述冷却舱顶部的中间位置安装有散热扇，所述真空舱和冷却舱两侧两端的中间位置均安装有安装件，所述真空舱和冷却舱均通过安装件安装有电缸，所述真空舱和冷却舱顶部的两端均活动安装有升降板，所述升降板顶部安装有连接块。
6.优选的，所述第一电机和第二电机的输出端均设置有转轮，所述第一传送带和第二传送带的一侧均设置有转动轮，所述第一电机和第二电机上的转轮与第一传送带和第二传送带上的转动轮之间通过皮带相连接。
7.优选的，所述电箱顶部的两端均开设有矩形开口，所述电箱上的矩形开口的尺寸
与第一传送带和第二传送带的尺寸相适配，所述冷却舱顶部的中间位置开设有散热口，所述冷却舱上散热口的尺寸和散热扇的尺寸相适配。
8.优选的，所述电箱内部远离控制面板的一侧靠近第一电机一端的中间位置开设有两个通孔，所述真空泵的输出端和输入端分别与两个通孔相连通，所述电箱顶部靠近第二电机一端的中间位置设置有管道，所述真空泵的输入端与管道相连通。
9.优选的，所述电箱内部远离控制面板一侧顶部开设有进气口，所述惰性气体气罐的输出端与进气口相连通，所述惰性气体气罐输出端通过进气口与电子气阀相连通，所述电子气阀的输出端贯穿真空舱的顶部。
10.优选的，所述真空舱和冷却舱顶部的两端均开设有矩形滑槽，所述真空舱和冷却舱上矩形滑槽的尺寸和升降板的尺寸相适配，所述电缸的输出端与连接块底部的两侧相连接，所述真空舱内部两侧的顶部和底部均设置有卡块，所述真空舱内部的两侧通过卡块与靶材和基板相卡接。
11.与现有技术相比，本实用的有益效果是：该多功能磁控溅射真空镀膜机，通过第一传送带和第二传送带之间的配合，将镀膜完成的被镀件从真空舱内部送往冷却舱，然后通过冷却舱上的散热扇对镀膜完成的被镀件进行散热处理，使得镀膜完成的被镀件表面的温度下降，然后通过第二传送带将被镀件送出冷却舱，然后工作人员便能够直接将镀膜完成的被镀件取下，避免工作人员被镀膜完成的被镀件烫伤。
附图说明
12.图1为本实用结构主视图；
13.图2为本实用结构侧视图；
14.图3为本实用内部结构主视剖图；
15.图4为本实用内部结构侧视剖图。
16.图中：1、电箱；2、活动门板；3、控制面板；4、第一电机；5、真空泵； 6、固定件；7、第二电机；8、第一传送带；9、第二传送带；10、真空舱； 11、电子气阀；12、放置板；13、靶材；14、基板；15、升降板；16、连接块；17、承载件；18、磁铁；19、冷却舱；20、散热扇；21、安装件；22、电缸；23、惰性气体气罐。
具体实施方式
17.下面将结合本实用实施例中的附图，对本实用实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本实用的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用保护的范围。
18.请参阅图1-4，本实用提供的一种实施例：一种多功能磁控溅射真空镀膜机，包括电箱1，电箱1一侧的两端均通过合页转动安装有活动门板2，活动门板2一侧的一端安装有控制面板3，控制面板3与第一电机4、真空泵5、第二电机7、电子气阀11和电缸22之间电性连接，电箱1内部底部的一端安装有第一电机4，通过第一电机4带动第一传送带8进行传送工作，电箱1内部底部靠近第一电机4的一端安装有真空泵5，通过真空泵5将真空舱10内部的空气抽出，电箱1内部远离控制面板3一侧靠近真空泵5一端的中间位置安装有固定件6，电
箱1内部远离控制面板3一侧通过固定件6安装有惰性气体气罐23，通过固定件6将惰性气体气罐23固定在电箱1内部，电箱1内部底部远离第一电机4的一端安装有第二电机7，通过第二电机7带动第二传送带9进行传送工作，电箱1内部顶端靠近第一电机4一端的中间位置活动安装有第一传送带8，第一传送带8顶部活动安装有放置板12，工作人员将被镀件固定在放置板12上，电箱1内部顶端远离第一电机4一端的中间位置活动安装有第二传送带9，电箱1顶部靠近第一传送带8的一端安装有真空舱 10，真空舱10顶部靠近第一电机4一端的中间位置安装有电子气阀11，通过电子气阀11来达到开关惰性气体气罐23的目的，真空舱10内部远离控制面板3的一侧安装有靶材13，真空舱10内部靠近控制面板3的一侧安装有基板 14，真空舱10两侧的侧壁均安装有承载件17，承载件17的内部安装有磁铁 18，电箱1顶部靠近第二电机7的一端安装有冷却舱19，冷却舱19顶部的中间位置安装有散热扇20，通过散热扇20对冷却舱19内部进行散热，真空舱 10和冷却舱19两侧两端的中间位置均安装有安装件21，真空舱10和冷却舱 19均通过安装件21安装有电缸22，通过安装件21将电缸22稳定牢固的安装在真空舱10和冷却舱19上，真空舱10和冷却舱19顶部的两端均活动安装有升降板15，升降板15顶部安装有连接块16，通过升降板15达到密封真空舱10和冷却舱19的目的。
19.在本实施中，第一电机4和第二电机7的输出端均设置有转轮，第一传送带8和第二传送带9的一侧均设置有转动轮，第一电机4和第二电机7上的转轮与第一传送带8和第二传送带9上的转动轮之间通过皮带相连接，通过第一电机4和第二电机7输出端上转轮的转动，再由转动轮带上的皮带带动转动轮转动，使得第一传送带8和第二传送带9能够进行传送作业。
20.在本实施中，电箱1顶部的两端均开设有矩形开口，电箱1上的矩形开口的尺寸与第一传送带8和第二传送带9的尺寸相适配，使第一传送带8和第二传送带9能够通过矩形开口延伸至真空舱10和冷却舱19内部，冷却舱 19顶部的中间位置开设有散热口，冷却舱19上散热口的尺寸和散热扇20的尺寸相适配，冷却舱19通过散热口将散热扇20稳定牢固的安装在冷却舱19 上。
21.在本实施中，电箱1内部远离控制面板3的一侧靠近第一电机4一端的中间位置开设有两个通孔，真空泵5的输出端和输入端分别与两个通孔相连通，电箱1顶部靠近第二电机7一端的中间位置设置有管道，真空泵5的输入端与管道相连通，使真空舱10内部的空气能够通过管道和真空泵5之间的配合将真空舱10内部的空气抽出。
22.在本实施中，电箱1内部远离控制面板3一侧顶部开设有进气口，惰性气体气罐23的输出端与进气口相连通，惰性气体气罐23输出端通过进气口与电子气阀11相连通，电子气阀11的输出端贯穿真空舱10的顶部，通过惰性气体气罐23和电子气阀11之间的配合能够往真空舱10内部注入惰性气体。
23.在本实施中，真空舱10和冷却舱19顶部的两端均开设有矩形滑槽，真空舱10和冷却舱19上矩形滑槽的尺寸和升降板15的尺寸相适配，通过真空舱10和冷却舱19上的矩形滑槽与升降板15之间滑动连接，电缸22的输出端与连接块16底部的两侧相连接，真空舱10内部两侧的顶部和底部均设置有卡块，真空舱10内部的两侧通过卡块与靶材13和基板14相卡接，通过卡块将靶材13和基板14稳定牢固的安装在真空舱10内部的两侧。
24.工作原理：工作人员将被镀件固定在放置板12上，然后工作人员将放置板12放在第一传送带8上，然后工作人员通过控制面板3启动电缸22，由真空舱10上电缸22的输出端
收缩，使升降板15能够将真空舱10密封，然后通过真空泵5将真空舱10内部的空气抽出，再启动电子气阀11，使惰性气体气罐23内的惰性气体能够注入真空舱10内部，再由真空舱10内部的靶材13 和基板14之间的配合对放置板12上的被镀件进行镀膜处理，当被镀件镀膜完成后，真空泵5往真空舱10内注入空气并关闭电子气阀11，然后真空舱 10上电缸22的输出端伸长，使真空舱10上的升降板15向上移动，第一电机 4和第二电机7启动，使第一传送带8上的放置板12能够被送入第二传送带 9上，然后冷却舱19上电缸22输出端进行收缩，使冷却舱19上的升降板15 能够下降，将冷却舱19进行密封，然后工作人员通过控制面板3启动散热扇 20，对冷却舱19内部镀膜完成的被镀件进行散热，当被镀件的温度降低后，冷却舱19上电缸22输出端进行伸长，由电缸22的输出端推动升降板15向上，然后通过第二电机7带动第二传送带9进行传动，使放置板12能够从冷却舱19内部移出。
25.对于本领域技术人员而言，本实用不限于上述示例性实施例的细节，而且在不背离本实用的精神或范围的情况下，能够以其他的具体形式实现本实用。因此，本实用的实施例是示例性的，而且是非限制性的。本实用的范围由所附权利要求而不是上述说明限定，因此旨在将落在权利要求的等同要件的含义和范围内的所有变化囊括在本实用内。不应将权利要求中的任何附图标记视为限制所涉及的权利要求。
26.在本实用的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上；术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”、“前端”、“后端”、“头部”、“尾部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
27.在本实用的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用中的具体含义。