一种新型的真空卷绕溅射单体机的制作方法

1.本实用新型涉及真空镀膜技术领域，具体为一种新型的真空卷绕溅射单体机。


背景技术：

2.现有的卷绕式真空镀膜设备，在工作过程中，盘绕于放卷辊的料卷卷径逐渐减小，盘绕于收卷辊的料卷卷径逐渐增大，若卷绕装置的旋转线速度恒定，则基材表面的张力将随料卷卷径变化而变化，这会造成膜层不均匀，影响镀膜效果。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种新型的真空卷绕溅射单体机，以解决上述背景技术中提出的问题。
4.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；所述真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安装在卷绕支架上，卷绕支架安装在移动架上；所述收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊、张力辊、导向辊、水冷辊，收放卷辊通过双向旋转的收卷电机驱动，收卷电机的输出轴设置有磁粉制动器、行星齿轮减速机；所述水冷辊通过同步带轮、同步带的配合与伺服电机连接，张力辊连接有张力传感器，张力传感器安装在张力辊的一侧；所述溅射区上设置有多个错位安装的平面阴极位，移动架的内壁上也安装有多组冷却挡板、平面阴极位，并布置有布气管路。
5.优选的，所述真空腔室的顶部安装有放气阀，真空腔室的内侧安装有低温捕集器。
6.优选的，所述真空腔室的背部及另一面外侧安装有观察窗，内侧顶部安装有维修照明灯。
7.优选的，所述水冷辊连接有进水管和出水管，进水管、出水管与冷却水管连接，从而形成自动冷却水循环。
8.优选的，所述真空腔室的左右两侧均配置有真空泵组，每组真空泵组均包括油扩散泵、罗茨泵、机械泵和机械泵，真空泵组通过可编程控制器控制。
9.优选的，所述卷绕支架通过联杆连接有活动底架，活动底架设置在直线导轨上，并通过电机与坦克链牵引机构的配合驱动其沿直线导轨行走。
10.优选的，所述直线导轨的一侧安装有立柱式悬吊臂，悬吊臂呈倒置的“l”形结构，悬吊臂上部安装有悬吊勾，悬吊勾的顶端连接有吊绳，吊绳卷绕在收卷辊上，收卷辊连接有旋转电机。
11.优选的，所述旋转电机固定在滑动架上，滑动架的顶端连接有直线滑移机构。
12.优选的，所述直线滑移机构包括驱动电机、传动齿轮、齿条组，悬吊臂上部的水平部分设有传动槽，传动齿轮安装在传动槽内，齿条组设置在传动槽的底壁上，传动齿轮与齿条组啮合传动连接。
13.优选的，所述传动齿轮远离驱动电机的一端通过转轴连接有限位块，传动槽对应
转轴的位置上开设有供其直线滑移的辅助滑槽。
14.与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
15.本实用新型提供的一种新型的真空卷绕溅射单体机，该设备主要用于柔性材料的两侧镀制溅射工艺，该设备在可调的恒定转速和可调的恒定张力下传送柔性材料材料，线速度恒定的情况下，镀膜张力控制效果好，从而使膜层镀覆均匀，镀膜效果好。
附图说明
16.图1为本实用新型的整体结构示意图；
17.图2为本实用新型的局部剖视图；
18.图3为本实用新型的收卷装置的主视图；
19.图4为本实用新型的图3的局部放大结构示意图；
20.图5为本实用新型的真空腔室的具体结构示意图；
21.图6为本实用新型的真空腔室的后视图；
22.图7为本实用新型的悬吊臂的具体结构示意图；
23.图8为本实用新型的直线滑移机构的剖视图。
24.图中：1、卷绕支架；2、移动架；3、收放卷辊；4、张力辊；5、导向辊；6、水冷辊；7、收卷电机；8、磁粉制动器；9、行星齿轮减速机；10、同步带轮；11、同步带；12、伺服电机；13、张力传感器；14、平面阴极位；15、冷却挡板；16、布气管路；17、放气阀；18、低温捕集器；19、观察窗；20、维修照明灯；21、冷却水管；22、进水管；23、出水管；24、真空泵组；25、活动底架；26、直线导轨；27、悬吊臂；28、悬吊勾；29、吊绳；30、收卷辊；31、旋转电机；32、驱动电机；33、传动齿轮；34、齿条组；35、传动槽；36、限位块；37、辅助滑槽；38、滑动架；39、联杆；40、坦克链牵引机构。
具体实施方式
25.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
26.在本发明的描述中，需要说明的是，术语“竖直”、“上”、“下”、“水平”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
27.在本发明的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
28.请参阅图1-8，本实用新型提供一种技术方案：一种新型的真空卷绕溅射单体机，包括真空腔室；真空腔室包括卷绕区和溅射区，卷绕区上安装有收放卷装置，收放卷装置安
装在卷绕支架1上，卷绕支架1安装在移动架2上；收放卷装置包括通过柔性材料相互连接的收放卷辊3、张力辊4、导向辊5、水冷辊6。
29.在本实施例中：收放卷辊3通过收卷电机7驱动，收卷电机7可实现正反转，镀膜产品根据膜层特性以及使用要求，在收卷时有膜层向内收卷和膜层向外收卷两种收卷方式，可双向转动的收卷电机7增大了本收卷设备的适用范围。
30.在本实施例中：收卷电机7的输出轴设置有磁粉制动器8、行星齿轮减速机9；磁粉制动器8是一种以高导磁性磁粉为工作媒介，以激磁电流为控制手段的性能优越的新型自动控制原件，当接通直流电源后产生磁场，工作介质磁粉在磁力线作用下形成磁粉链达到制动扭矩的目的，其特点是快速反映，线性度好，控制力矩恒定，运转平稳，可以快速制动，控制张力；安装磁粉制动器8可以避免收放卷辊3在送料时因惯性而继续旋转，导致柔性材料在收放卷辊3与导向辊5之间出现堆积打结的情况。
31.在本实施例中：水冷辊6通过同步带轮10、同步带11的配合与伺服电机12连接，张力辊4连接有张力传感器13，张力传感器13安装在张力辊4的一侧；为了检测柔性材料实际张力大小，将其反馈至张力控制器中，并与控制器中设定张力相比较，根据它们之间的差值，调整控制器的输出，使柔性材料张力与设定张力相一致，上、下安装两个张力传感器13，张力辊4与张力传感器13连接，单独可调，整个收放卷过程中柔性材料的收卷张力在各个位置保持恒定，线速度恒定的情况下，从而使膜层镀覆均匀，镀膜效果好。
32.在本实施例中：阴极溅射区优选设置8个平面阴极位14(4个为一组)，平面阴极位14采用错位安装，靶材尺寸优选为1708*130*600；移动架2一侧内壁依次安装冷却挡板15、平面阴极位14各四件，同时装有布气管路16，真空腔室内壁一侧同样依次安装冷却挡板15。
33.作为一种优选实施例，真空腔室的顶部安装有放气阀17，真空腔室的内侧安装有低温捕集器18；真空腔室的背部及另一面外侧安装有观察窗19，内侧顶部安装有维修照明灯20。
34.作为一种优选实施例，水冷辊6连接有进水管22和出水管23，进水管22、出水管23与冷却水管21连接，从而形成自动冷却水循环，整个生产过程无须拔管和插管，简化操作。
35.作为一种优选实施例，真空腔室的左右两侧均配置有真空泵组24，缩短轴气时间，从而提高了效率；每组真空泵组24均由三台k630油扩散泵、一台jp-600b罗茨泵、一台2x-30机械泵和两台2x-70机械泵组成。真空泵组24通过预设压力/真空开关全电脑控制，主控柜采用立式结构，配触摸屏及显示屏，使用中央处理器进行高速逻辑与算术运算，所有机器功能和基本控制回路为逻辑控制，操作界面通过pc面板进行操作。
36.作为一种优选实施例，卷绕支架1通过联杆39连接有活动底架25，活动底架25设置在直线导轨26上，并通过电机与坦克链牵引机构40的配合驱动其沿直线导轨26行走，便于移动、搬运卷绕支架1上的相关组件。
37.作为一种优选实施例，直线导轨26的一侧安装有方便装卸卷辊的立柱式悬吊臂27，悬吊臂27呈倒置的“l”形结构，悬吊臂27上部安装有悬吊勾28，悬吊勾28的顶端连接有吊绳29，吊绳29卷绕在收卷辊30上，收卷辊30连接有旋转电机31。
38.旋转电机31固定在滑动架38上，滑动架38的顶端连接有直线滑移机构；直线滑移机构包括驱动电机32、传动齿轮33、齿条组34，悬吊臂27上部的水平部分设有传动槽35，传动齿轮33安装在传动槽35内，齿条组34设置在传动槽35的底壁上，传动齿轮33与齿条组34
啮合传动连接；传动齿轮33远离驱动电机32的一端通过转轴连接有限位块36，传动槽35对应转轴的位置上开设有供其直线滑移的辅助滑槽37。
39.在本实施例中：当需要通过悬吊臂27使卷绕支架1上溅射阴极组件与卷绕组件移出真空腔室，更换靶材及更换卷辊时，可以启动驱动电机32，使得驱动电机32带动传动齿轮33旋转，传动齿轮33通过与齿条组34的啮合传动连接，带动驱动电机32移动，驱动电机32通过滑动架38带动旋转电机31移动至合适的位置，通过悬吊勾28吊装设备上的吊耳，通过旋转电机31带动收卷辊30旋转，进而通过吊绳29搬运设备。
40.值得注意的是：整个装置通过控制器对其实现控制，由于控制器为常用设备，属于现有成熟技术，在此不再赘述其电性连接关系以及具体的电路结构。
41.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。