磨削装置和磨削方法与流程

本公开涉及磨削装置和磨削方法。

背景技术：

1、专利文献1所记载的加工装置具备转台、一对保持台、加工部件和水箱。水箱具有使转台暴露的开口，承接自转台流下的包含对被加工物进行加工而产生的加工屑在内的加工废液，并自排水口排水。

2、专利文献2所述的磨削装置具备：保持台；磨削部件，其供给磨削水并实施磨削；转台，其以旋转轴线为中心以均等的角度配设有两个以上的保持台；以及台罩，其覆盖转台的上表面。台罩的上表面自旋转轴线朝向外周方向向下方倾斜。磨削水自水箱的排出口排出。在水箱的排出口放置有收集混入在磨削水中的磨削屑的网。磨削屑适当地自网去除。

3、专利文献3所述的平面加工装置具有分隔板。分隔板固定于分度台，并且以分隔设置于分度台的4台保持盘的方式形成为十字形状。平面加工装置具有收纳保持盘和分度台的壳体，在其内部一边向基板供给磨削液，一边利用磨石磨削基板。在壳体的上表面和侧面安装有刷子。当保持盘位于加工位置时，刷子与分隔板的上表面和侧面接触。

4、现有技术文献

5、专利文献

6、专利文献1：日本特开2017-222015号公报

7、专利文献2：日本特开2013-188813号公报

8、专利文献3：日本特开2010-124006号公报

技术实现思路

1、发明要解决的问题

2、本公开的一技术方案提供一种抑制磨削屑在保持盘的周边沉积的技术。

3、用于解决问题的方案

4、本公开的一技术方案的磨削装置具备多个保持盘、工具驱动部、台和台罩。所述保持盘保持基板。所述工具驱动部驱动按压于所述基板的磨削工具。所述台绕旋转中心线保持多个所述保持盘，并以所述旋转中心线为中心旋转。所述台罩与所述台一起旋转。所述台罩包括越远离所述旋转中心线越向下方地倾斜的倾斜部。所述磨削装置具备喷嘴。所述喷嘴在所述倾斜部的顶部与所述保持盘之间向所述倾斜部供给清洗液。

5、发明的效果

6、根据本公开的一技术方案，能够抑制磨削屑在保持盘的周边沉积。

技术特征：

1.一种磨削装置，其中，

2.根据权利要求1所述的磨削装置，其中，

3.根据权利要求1或2所述的磨削装置，其中，

4.根据权利要求1～3中任一项所述的磨削装置，其中，

5.根据权利要求1～4中任一项所述的磨削装置，其中，

6.根据权利要求5所述的磨削装置，其中，

7.根据权利要求6所述的磨削装置，其中，

8.根据权利要求7所述的磨削装置，其中，

9.根据权利要求1～4中任一项所述的磨削装置，其中，

10.根据权利要求8或9所述的磨削装置，其中，

11.根据权利要求1～10中任一项所述的磨削装置，其中，

12.根据权利要求11所述的磨削装置，其中，

13.根据权利要求12所述的磨削装置，其中，

14.一种磨削方法，其是使用磨削装置对基板进行磨削的磨削方法，该磨削装置具备：多个保持盘，其保持所述基板；台，其绕旋转中心线保持多个所述保持盘，并以所述旋转中心线为中心旋转；以及台罩，其与所述台一起旋转，所述台罩包括倾斜部，该倾斜部越远离所述旋转中心线越向下方地倾斜，其中，

技术总结
磨削装置具备多个保持盘、工具驱动部、台和台罩。所述保持盘保持基板。所述工具驱动部驱动按压于所述基板的磨削工具。所述台绕旋转中心线保持多个所述保持盘，并以所述旋转中心线为中心旋转。所述台罩与所述台一起旋转。所述台罩包括越远离所述旋转中心线越向下方地倾斜的倾斜部。所述磨削装置具备喷嘴。所述喷嘴在所述倾斜部的顶部与所述保持盘之间向所述倾斜部供给清洗液。

技术研发人员：児玉宗久
受保护的技术使用者：东京毅力科创株式会社
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13