一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法与流程

本发明涉及太阳能电池制造，尤其涉及一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法。

背景技术：

1、规化石能源枯竭、以及生态环境的恶化，能源危机已经成为当前国际社会经济发展的主要矛盾。为解决这一大危机，世界各国都在努力探索新能源。在新能源中，特别引人注目的是不断倾注于地球的永久性能源—太阳能。随着最近几年太阳能的发展，竞争也日趋激烈。高效率、低成本成为太阳能企业的生存之本。

2、当前太阳能电池制造过程中，使用石墨舟进行相关工艺只能实现单面镀膜工艺，当新工艺要求实现双面镀膜时，传统方式需要进行两次工艺，一方面工艺总时长为两次单面镀膜时间的累积，一方面增加了外部自动化制程片翻片的工序，该工序不仅耗时，同时增加制程时间，产能低。

技术实现思路

1、基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法。

2、本发明提出的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，包括如下步骤：

3、s1将硅片粗抛、制绒，制绒后绒面尺寸≤5μm；

4、s2清洗后烘干或甩干，接着进行硼扩发射极的制备，并进行刻蚀；

5、s3沉积氧化硅、本征多晶硅（或沉积氧化硅、掺杂多晶硅）；

6、s4对硅片进行高温处理，并进行磷掺杂（或对硅片进行高温处理）；

7、s5然后对处理后的硅片进行绕镀清洗；

8、s6将石墨舟舟片上设置底座卡点，底座卡点的高度为1-8毫米，将硅片放置在石墨舟舟片上的底座卡点上；

9、s7通过沉积ald氧化铝等其他相关钝化介质层的方式在所述的硅片表面形成薄膜；

10、s8通过pecvd镀膜方式对硅片进行双面沉积sinx等其他相关钝化介质层；

11、s9采用丝网印刷制备电极；

12、s10然后进行光注入或电注入，进行测试分选。

13、优选的，所述硅片为单多晶硅片。

14、优选的，所述步骤s2方阻为90-200ohm/sqr。

15、优选的，所述光注入由紫外光、可见光或红外光源提供，辐照光强＞1sun，光辐照的时间＜300s，所述电注入由恒流源提供，工艺时间＜100min。

16、优选的，所述步骤s2刻蚀采用干法刻蚀或湿法刻蚀。

17、优选的，所述步骤s7的辅助气体和环境为：温度150-350摄氏度，三甲基铝和反应气体1000-10000sccm，原子沉积层数20-100层。

18、优选的，所述步骤s8的辅助气体和环境为：温度400-650摄氏度，硅烷和氨气反应气体1000-10000sccm，沉积工艺时间600-1800s，射频功率15-45kw，沉积时间根据膜厚要求变化。

19、本发明中，所述一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，采用双面沉积ald氧化铝，较传统方式转化效率明显提升，pecvd镀膜方式双面沉积sinx较传统方式产能大幅提升。

技术特征：

1.一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，包括如下步骤：

2.根据权利要求1所述的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，所述硅片为单多晶硅片。

3.根据权利要求1所述的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，所述步骤s2方阻为90-200ohm/sqr。

4.根据权利要求1所述的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，所述光注入由紫外光、可见光或红外光源提供，辐照光强＞1sun，光辐照的时间＜300s，所述电注入由恒流源提供，工艺时间＜100min。

5.根据权利要求1所述的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，所述步骤s2刻蚀采用干法刻蚀或湿法刻蚀。

6.根据权利要求1所述的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，所述步骤s7的辅助气体和环境为：温度150-350摄氏度，三甲基铝和反应气体1000-10000sccm，原子沉积层数20-100层。

7.根据权利要求1所述的一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，其特征在于，所述步骤s8的辅助气体和环境为：温度400-650摄氏度，硅烷和氨气反应气体1000-10000sccm，沉积工艺时间600-1800s，射频功率15-45kw，沉积时间根据膜厚要求变化。

技术总结
本发明公开了一种双面镀膜结构石墨舟的镀膜方法，包括如下步骤：将硅片粗抛、制绒，制绒后绒面尺寸≤5μm；清洗后烘干或甩干，接着进行硼扩发射极的制备，并进行刻蚀；沉积氧化硅、本征多晶硅；对硅片进行高温处理，并进行磷掺杂；然后对处理后的硅片进行绕镀清洗；将石墨舟舟片上设置底座卡点，底座卡点的高度为1‑8毫米，将硅片放置在石墨舟舟片上的底座卡点上；通过沉积ALD氧化铝等其他相关钝化介质层的方式在所述的硅片表面形成薄膜；通过PECVD镀膜方式对硅片进行双面沉积SiNx等其他相关钝化介质层。本发明采用双面沉积ALD氧化铝，较传统方式转化效率明显提升，PECVD镀膜方式双面沉积SiNx较传统方式产能大幅提升。

技术研发人员：周鹏宇
受保护的技术使用者：赛勒斯新能源科技（苏州）有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14