一种可以防止抛光液吸入晶片背面的真空吸盘的制作方法

1.本发明涉及真空吸附领域，更具体地说是一种可以防止抛光液吸入晶片背面的真空吸盘。


背景技术：

2.随着晶圆晶片表端精度尺寸的要求持续提高时，所使晶片在进行加工过程中可直接利用真空吸盘来达到辅助效果，从而真空吸盘能够将晶片进行吸附在自身端面当中，使其能够达到定点加工的优点，并且能够防止晶片加工过程所产生的位移现象；
3.综上所述本发明人发现，现有的真空吸盘主要存在以下缺陷：基于抛光液还包括有磨料，由于真空吸盘具有真空小孔，则小孔将晶片吸附时，小孔也会吸入相应的抛光液，长期循环后，抛光液中的磨料会垫住晶片，使得晶片贴在真空吸盘后变得不平整；再者真空吸盘与固定座为卡合状态，从而两者之间存在相应的间隙情况，以至于在上述抛光液内含有磨料的基础下，从而磨料根据自身粒径容易挤入固定座与真空吸盘之间的间隙，进而产生间隙当中会堆积大量的磨料，随之影响整体吸盘的平衡性，至使其容易造成晶片在抽气时产生倾斜最终形成破损现象。


技术实现要素：

4.本发明实现技术目的所采用的技术方案是：一种可以防止抛光液吸入晶片背面的真空吸盘，其结构包括：固定座、固定孔、真空吸盘、抽气端、uv薄膜、吸附通路，所述固定座贯穿于固定孔中心，所述真空吸盘中心与固定孔为一体并与固定座进行固定连接，所述抽气端嵌入于真空吸盘上端，所述uv薄膜则覆盖于真空吸盘的上端并与抽气端相通，所述吸附通路设置于真空吸盘外圈并且与抽气端进行活动连接。
5.所述固定座设有块体、内层、覆盖结构、穿透杆，所述块体内侧与内层为一体，所述覆盖机构落入于内层表端，所述穿透杆固定于内层中心位置侧边与覆盖结构相通，所述穿透杆为直筒状态并且顶端为尖锐效果，进而覆盖结构在内层中形成环形形状。
6.作为本发明的进一步改进，所述覆盖结构设有卡合端、封闭体、支架、底座、贴合端，所述卡合端与封闭体进行固定连接，所述封闭体嵌入于支架两侧，所述底座设于支架下端并进行定位连接，所述贴合端安装于底座上方，所述贴合端具有磁吸贴合的功能，并且底座为实心状态，以至于封闭体中含有多个卡合端，卡合端均为圆形形状。
7.作为本发明的进一步改进，所述卡合端设有扳手、直杆、控制体、穿透层、衔接端，所述扳手上下端与直杆进行固定连接，所述直杆嵌入于控制体内侧，所述穿透层安装于控制体两侧，所述衔接端与穿透层为一体，所述扳手为迷你小块，并且直杆为实心状态，控制体在直杆上下端各设有一块形成对称状态。
8.作为本发明的进一步改进，所述控制体设有连接块、腔道、滑动块、稳定轴，所述连接块安装于腔道外侧下端，所述滑动块嵌入于腔道之中，所述稳定轴与滑动块进行活动连接，所述连接块内含有相应的凹槽，并且腔道内一共设有三个滑动块，并且滑动块侧边均设
有弧形稳定轴。
9.作为本发明的进一步改进，所述滑动块设有通孔、垫片、支撑轴、主轮、提升环，所述通孔嵌入于垫片两侧，所述支撑轴安装于主轮两侧，所述提升环与主轮为同一圆心，所述支撑轴设置在主轮的侧端，并且形成相互活动的效果，以至于提升环内含有多颗滚珠。
10.作为本发明的进一步改进，所述封闭体设有杆体、容纳腔、伸缩体，所述杆体内侧与容纳腔为一体，所述伸缩体嵌入于容纳腔当中并进行扩张活动，所述杆体与容纳腔具有极强的柔韧性，并且容纳腔内设有多个伸缩体，每个伸缩体之间具有一定的位置间隙效果。
11.作为本发明的进一步改进，所述伸缩体设有定位框、活动块、伸缩杆、实心块、粘贴层，所述定位框内部与活动块进行间隙配合，所述伸缩杆嵌入于活动块当中，所述实心块与伸缩杆顶端进行活动连接，所述粘贴层与实心块为一体，所述定位框为长方空心状态与内部活动块具有相应的间隙。
12.与现有技术相比，本发明具有如下有益效果：
13.1.本发明由真空吸盘外增加一个新的一圈真空吸附通路，在晶片和真空吸盘之间设置一个uv膜，新的通路可以吸住uv膜，uv膜一面被真空吸住，另一面具有粘结力，使其能够粘接住晶片，并且新增加的通路具有相对较大的宽度，使得uv膜发生了弯曲，这个弯曲可以阻止抛光液进入小孔，同时uv膜通过uv照射后就不具有粘结力，从而实现晶片与 uv膜的脱离，提高晶片与真空吸盘贴合时整体的平整度；以至于固定座所进一步改进后，从而根据自身新增的覆盖结构可在通过自身底座与贴合端将封闭体定位在固定座与真空吸盘两者中心的间隙当中，使封闭体能够将两者之间的间隙进行填充，并且封闭体的卡合端能够利用中心把手来对整体进行控制，从而形成易拆装的效果，以至于能有效的防止磨料持续进入到两者之间的间隙而产生的真空吸盘形成倾斜现象。
14.2.本发明由封闭体所进一步改进后，其可通过自身容纳腔内部所新增的伸缩体加持下，能够在真空吸盘或工件尺寸更换后进行快速调节，所使其在相应的真空吸盘进入固定时，伸缩体则根据自身伸缩杆来推动杆体，使其进行快速调节，从而适应各类尺寸的吸盘，进行将间隙消除的效果，以至于能有效的防止吸盘更换后，而现有尺寸的封闭体无法适应其尺寸进而形成更大间隙或产生无法装配的现象。
附图说明
15.图1属于一种可以防止抛光液吸入晶片背面的真空吸盘的结构示意图。
16.图2属于一种固定座改进后俯视整体的结构示意图。
17.图3属于一种覆盖结构侧视整体的结构示意图。
18.图4属于一种卡合端剖视的结构示意图。
19.图5属于一种控制体内部正视的结构示意图。
20.图6属于一种滑动块整体正视的结构示意图。
21.图7属于一种封闭体改进后内部正视的结构示意图。
22.图8属于一种伸缩体活动正视的结构示意图。
23.图中：固定座-1、固定孔-2、真空吸盘-3、抽气端-4、uv薄膜-5、吸附通路-6、块体-11、内层-12、覆盖结构-13、穿透杆-14、卡合端-131、封闭体-132、支架-133、底座-134、贴合端-135、扳手-a1、直杆-a2、控制体-a3、穿透层-a4、衔接端-a5、连接块-a31、腔道-a32、滑动
块-a33、稳定轴
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a34、通孔-b1、垫片-b2、支撑轴-b3、主轮-b4、提升环-b5、杆体-c1、容纳腔-c2、伸缩体-c3、定位框-c31、活动块-c32、伸缩杆-c33、实心块-c34、粘贴层-c35。
具体实施方式
24.以下结合附图对本发明做进一步描述：
25.实施例1：
26.图1至图6所示：
27.本发明提供一种可以防止抛光液吸入晶片背面的真空吸盘，
28.其结构包括，固定座1、固定孔2、真空吸盘3、抽气端 4、uv薄膜5、吸附通路6，所述固定座1贯穿于固定孔2中心，所述真空吸盘3中心与固定孔2为一体并与固定座1进行固定连接，所述抽气端4嵌入于真空吸盘3上端，所述uv 薄膜5则覆盖于真空吸盘3的上端并与抽气端4相通，所述吸附通路6设置于真空吸盘3外圈并且与抽气端4进行活动连接。
29.所述固定座1设有块体11、内层12、覆盖结构13、穿透杆14，所述块体11内侧与内层12为一体，所述覆盖机构 13落入于内层12表端，所述穿透杆14固定于内层12中心位置侧边与覆盖结构13相通，所述穿透杆14为直筒状态并且顶端为尖锐效果，进而覆盖结构13在内层12中形成环形形状，所述穿透杆14通过自身的形状以及顶端尖锐效果能够保证自身与各部件的孔直径形成相互贴合的状态，以至于顶端尖锐能辅助整体插入的便捷性，进而覆盖结构13根据自身所组成的环形形状能够根据自身形状与部件形状相匹配进而达到消除间隙的效果。
30.其中，所述覆盖结构13设有卡合端131、封闭体132、支架133、底座134、贴合端135，所述卡合端131与封闭体 132进行固定连接，所述封闭体132嵌入于支架133两侧，所述底座134设于支架133下端并进行定位连接，所述贴合端135安装于底座134上方，所述贴合端135具有磁吸贴合的功能，并且底座134为实心状态，以至于封闭体132中含有多个卡合端131，卡合端131均为圆形形状，所述贴合端 135通过自身的功能能保证自身与部件下端进行密闭固定连接，进而底座134则能够根据实心状态来将部件进行定位在特定原点当中，同时封闭体132的多个卡合端131能够将环形形状的封闭体132进行相连接，达到卡合效果，并且后续可逐一拆卸进行简易养护，断绝封闭体132过大形成不易拆卸与养护的问题。
31.其中，所述卡合端131设有扳手a1、直杆a2、控制体 a3、穿透层a4、衔接端a5，所述扳手a1上下端与直杆a2 进行固定连接，所述直杆a2嵌入于控制体a3内侧，所述穿透层a4安装于控制体a3两侧，所述衔接端a5与穿透层a4 为一体，所述扳手a1为迷你小块，并且直杆a2为实心状态，控制体a3在直杆a2上下端各设有一块形成对称状态，所述扳手a1通过自身大小，其可利用相应的工具来进行扳动，达到锁紧效果，并且直杆a2则受扳手a1控制下进行调控衔接端a5的开合，并且控制体a3根据自身对称状态则能够有效的辅助直杆a2的运动与控制。
32.其中，所述控制体a3设有连接块a31、腔道a32、滑动块a33、稳定轴a34，所述连接块a31安装于腔道a32外侧下端，所述滑动块a33嵌入于腔道a32之中，所述稳定轴a34 与滑动块a33进行活动连接，所述连接块a31内含有相应的凹槽，并且腔道a32内一共设有三个滑动块a33，并且滑动块a33侧边均设有弧形稳定轴a34，所述连接块a31内的凹槽其可与部件顶端进行配合，并且腔道a32内部的三个滑动块a33则有效的提升部件的活动性，防止活动过
程产生的卡死现象，进而滑动块a33侧边的弧形稳定轴a34则能够提升滑动块a33的定位性，并且自身形状能与腔道a32形成配合效果。
33.其中，所述滑动块a33设有通孔b1、垫片b2、支撑轴 b3、主轮b4、提升环b5，所述通孔b1嵌入于垫片b2两侧，所述支撑轴b3安装于主轮b4两侧，所述提升环b5与主轮 b4为同一圆心，所述支撑轴b3设置在主轮b4的侧端，并且形成相互活动的效果，以至于提升环b5内含有多颗滚珠，所述支撑轴b3根据自身设置的位置效果能够有效的提升主轮b4的原点性，并且提升环b5的众多滚珠则能提升主轮b4 的转动流畅性。
34.本实施例的具体功能与操作流程：
35.本发明中，真空吸盘3通过自身的固定孔2可与下端的固定座1的穿透杆14进行相互贯穿连接从而达到定位效果，并且根据自身表端的抽气端4则可将相应尺寸的晶片进行抽气，同时uv薄膜5与吸附通路6两者的相互配合下，uv薄膜5则能够被吸附通路6进行吸住，时uv薄膜5一端被真空吸附，则另一端具有相应的粘接力，使得能够将晶片进行粘接，进而吸附通路6具有相对较大的宽度，能够使uv薄膜5发生了弯曲，以至于uv薄膜5可阻止抛光液进入小孔，并且在后续uv薄膜5通过uv照射后就不具有粘结力，从而实现晶片与uv薄膜5的脱离；至使固定座1与真空吸盘3 之间存在一定的间隙问题，从而根据固定座1改进后，固定座1内层12当中设有的覆盖结构13进行解决，以至于覆盖结构13通过自身底座134可将上端支架133定位在原点，进而两侧封闭体132则能够将现有的间隙进行填充，达到解决间隙内堆积大量抛光液的磨料，同时封闭体132中设有的卡合端131可将组成环形形状的封闭体132进行相互连接，形成连接效果，并且上端贴合端135则能够与真空吸盘3的底端进行连接，所使卡合端131可通过中心扳手a1来控制直杆a2在控制体a3中进行滑动，进而达到开关衔接端a5 的效果，同时控制体a3的三个滑动块a33可在扳手a1进行驱动时进行旋转，并且滑道块a33侧边稳定轴a34则起到定位效果，放置扳手a1控制直杆a2进行开关而产生的卡死现象，并且滑动块a33根据自身垫片b2可提升整体的中心定位性，同时根据提升环b5可提升自身主轮b4的转动流畅性能；综上所述通过各个部件的相互配合下能够有效的防止磨料持续进入到固定座1与真空吸盘3两者之间的间隙而产生的真空吸盘3形成倾斜现象。
36.实施例2：
37.图7至图8所示：
38.本发明提供一种可以防止抛光液吸入晶片背面的真空吸盘，
39.其结构包括，所述封闭体132设有杆体c1、容纳腔c2、伸缩体c3，所述杆体c1内侧与容纳腔c2为一体，所述伸缩体c3嵌入于容纳腔c2当中并进行扩张活动，所述杆体c1 与容纳腔c2具有极强的柔韧性，并且容纳腔c2内设有多个伸缩体c3，每个伸缩体c3之间具有一定的位置间隙效果，所述杆体c1与容纳腔c2的柔韧性能够有效的被伸缩体c3 进行推动，进而达到调控容纳腔c2的直径效果，并且内部的多个伸缩体c3相互配合则可保证整体直径的平衡。
40.其中，所述伸缩体c3设有定位框c31、活动块c32、伸缩杆c33、实心块c34、粘贴层c35，所述定位框c31内部与活动块c32进行间隙配合，所述伸缩杆c33嵌入于活动块c32 当中，所述实心块c34与伸缩杆c33顶端进行活动连接，所述粘贴层c35与实心块c34为一体，所述定位框c31为长方空心状态与内部活动块c32具有相应的间隙，所述定位框c31 根据自身长方空心效果能够将活动块c32进行限位，同时两者之间的间隙起到防止活动块c32运动过
程中形成的卡死现象。
41.本实施例的具体功能与操作流程：
42.本发明中，通过实施例1的基础作用下，所使封闭体132 进一步改进后，可通过自身容纳腔c2内部所新增的伸缩体 c2效果，能够在真空吸盘3或工件尺寸更换后进行快速调节，使其能够调控杆体c1与容纳腔c2的直径，从而伸缩体c3在相应的真空吸盘3进入固定时，伸缩体c3则根据工件尺寸与相应的真空吸盘3来进行判定，从而利用自身伸缩杆c33来推动杆体c1，使其进行快速调节，从而适应各类尺寸的吸盘，进行将各类尺寸的工件、真空吸盘3与固定座1间隙消除的效果，以至于能有效的防止真空吸盘 3更换后，而现有尺寸的封闭体132无法适应其尺寸进而形成更大间隙或产生无法装配的现象。
43.利用本发明所述技术方案，或本领域的技术人员在本发明技术方案的启发下，设计出类似的技术方案，而达到上述技术效果的，均是落入本发明的保护范围。