一种便于调节的blade总成结构的制作方法

1.本技术涉及半导体加工的技术领域，尤其是涉及一种便于调节的blade总成结构。


背景技术：

2.化学气相沉积（cvd，chmical vapor deposition）工艺中，cvd设备以射频电源作为反应源，反应源运动至衬底表面成核，核继续生长成为薄膜。通常cvd包含loadlock腔、转运腔、定位腔、工艺腔以及冷却腔。在工艺过程中，cvd设备转运腔中传片机器人（robot）的blade总成需要将晶圆分步骤在各功能腔之间进行转运完成工艺过程。
3.blade总成包括上面板、下面板以及夹设在两者之间的blade，通常情况下上面板与下面板之间通过螺钉等连接件进行连接。
4.各个腔体都是分别加工制成，由于制造、装配的过程中存在误差，容易造成装配好的blade总成与各个功能腔体的槽口不平行或者blade与槽口上下内壁的间隙不一致的问题，通常这种尺寸和形位误差相对于设备尺寸来说非常微小，但不进行调整又会影响传片的流畅性，并对装置内部结构产生磨损，影响装置的使用寿命。
5.针对上述中的相关技术，发明人认为目前广泛使用的blade总成中的blade被夹持固定在上面板和下面板之间，其高度在安装后无法进行调整，因此目前广泛采用方法是通过调整各个功能腔体的位置来与blade的高度以及方向进行适应。但各功能腔体尺寸和重量都较大，不便于进行这种微小尺寸的调整。


技术实现要素：

6.为了实现对blade位置的微调，本技术提供一种便于调节的blade总成结构。
7.本技术提供的一种便于调节的blade总成结构采用如下的技术方案：一种便于调节的blade总成结构，包括上面板、下面板以及设置于所述上面板与所述下面板之间的blade，所述blade的一端为放置部，另一端为连接部，所述下面板上端面的边缘处开设有用于容纳所述连接部的连接槽，所述连接部放置于所述连接槽中，还包括第一螺钉、第二螺钉、调平螺钉以及调平弹簧，所述上面板底面开设有第一螺纹孔与第二螺纹孔，所述第一螺钉贯穿所述下面板并通过所述第一螺纹孔与所述上面板连接，所述第二螺钉贯穿所述下面板并通过所述第二螺纹孔与所述上面板连接，所述上面板上开设有供所述调平螺钉穿过的第一通孔，所述blade上开设有与所述第一通孔对应的第二通孔，所述调平螺钉通过所述第一通孔与第二通孔贯穿所述上面板与所述blade，所述调平弹簧套设于所述调平螺栓上，所述调平弹簧的一端与所述上板面抵接，另一端与所述blade抵接，所述下面板与所述blade之间设置有用于对所述blade进行位置调整的调整组件。
8.通过采用上述技术方案，通过调整组件对blade的底面施加作用力，实现了blade在下面板与上面板之间的位置以及角度调整。blade的顶面与调平弹簧抵紧，调平螺钉对blade的微调具有限位导向的作用。通过上面板、下面板、blade、第一螺钉、第二螺钉、第一螺纹孔、第二螺纹孔、调平螺钉、调平弹簧以及调整组件的相互配合，实现了对blade的调
整，具有方便对blade的位置以及角度进行微调的效果。
9.可选的，所述下面板的上端面上开设有阶梯沉孔，所述调整组件包括连接螺母，所述连接螺母与所述调平螺钉螺纹连接，所述调平螺钉设置有若干个，所述连接螺母设置有若干个，若干所述调平螺钉与若干所述连接螺母一一对应设置，所述连接螺母的上端面与所述blade的下端面抵接，所述阶梯沉孔为腰形孔，所述连接螺母相对的两侧夹设于所述阶梯沉孔的两平行侧壁间。
10.通过采用上述技术方案，在对blade进行调整时，旋拧调平螺钉，连接螺母在调平螺钉的驱动作用以及阶梯沉孔相对两个内壁的限位作用下沿着调平螺钉的长度方向发生移动。调平弹簧将blade与连接螺母抵紧，通过对若干个调平螺钉进行不同程度的旋拧调整，实现了对blade在上面板与下面板之间的位置以及角度进行微调，从而使blade的位置与功能腔体对应。
11.可选的，所述下面板的上端面上设置有平键，所述blade的连接部上开设有与所述平键对应的第三通孔，所述平键通过所述第三通孔贯穿所述blade。
12.通过采用上述技术方案，当连接部位于连接槽中时，连接于下面板的平键通过第三通孔贯穿blade，实现了对blade的限位，避免了其在使用过程中，从上面板与下面板之间的间隙中脱出的可能性。
13.可选的，所述调平螺杆贯穿所述下面板并连接有限位板，所述调整组件包括设置于所述blade底面与所述下面板之间的楔形块，所述楔形块在所述blade长度方向的两侧各设置有若干个，所述blade宽度方向的两侧开设有与楔形块形状匹配的推进斜面，所述推进斜面与所述楔形块的上端面贴合，所述下面板上设置有驱动所述楔形块沿所述blade的宽度方向移动的第一驱动件。
14.通过采用上述技术方案，在需要对blade的位置以及角度进行调整时，使用第一驱动件驱动楔形块，楔形块在第一驱动件的驱动下沿着blade的宽度方向滑移，楔形块的顶面与推进斜面接触。当楔形块朝连接槽的中心位置移动时，楔形块与推进斜面发生滑移，blade在挤压作用下向上移动，调平弹簧缩短积攒弹性势能；当楔形块朝靠近连接槽竖直内壁的方向移动时，楔形块与推进斜面发生滑移，调平弹簧伸长，将blade向下挤压，blade向下移动。通过对楔形块的位置调整，实现了对blade的角度与位置进行微调。
15.可选的，所述第一驱动件包括螺杆，所述螺杆与所述下面板螺纹连接且深入所述连接槽中，所述螺杆位于所述连接槽中的一端与所述楔形块转动连接，所述螺杆远离所述楔形块的一端连接有第一齿轮，所述下面板的侧壁上设置有驱动所述第一齿轮转动的第二驱动件。
16.通过采用上述技术方案，在对blade进行调整时，使用第二驱动件转动第一齿轮，螺杆沿着blade的宽度方向移动，与螺杆转动连接的楔形块在螺杆的推动下沿着blade的宽度方向滑移。
17.可选的，所述第二驱动件包括转动连接于所述下面板上的第二齿轮，所述第二齿轮与所述第一齿轮啮合连接，所述第二齿轮的直径小于所述第一齿轮的直径，所述第二齿轮背离所述下面板的一侧连接有转动盘，所述转动盘上设置有手轮。
18.通过采用上述技术方案，操作人员转动手轮，第二齿轮在转动盘以及手轮的带动下发生转动。第一齿轮在第二齿轮的驱动下转动，由于第二齿轮的直径小于第一齿轮的直
径，因此便于操作人员对楔形块的位置进行微调。
19.可选的，所述楔形块的顶面上转动连接有转动辊，所述转动辊在所述楔形块上设置有若干个，若干个转动辊沿着楔形块的宽度方向平行设置。
20.通过采用上述技术方案，转动辊的设置将楔形块与blade之间的摩擦力变为滚动摩擦力，有助于楔形块在下面板与blade之间进行滑移。
21.可选的，所述下面板的上端面上设置有滑移槽，所述滑移槽设置有若干个，若干个所述滑移槽与若干个楔形块一一对应设置，所述滑移槽的设置方向与所述螺杆平行，所述楔形块的底面上连接有滑移块，所述滑移块滑动嵌设于所述滑移槽中。
22.通过采用上述技术方案，滑移槽与滑移块的设置为楔形块在下面板与blade之间的滑移起到了限位导向的作用，提高了滑移过程中楔形块的稳定性。
23.综上所述，本技术包括以下至少一种有益技术效果：1.通过上面板、下面板、blade、第一螺钉、第二螺钉、第一螺纹孔、第二螺纹孔、调平螺钉、调平弹簧以及调整组件的相互配合，实现了对blade的调整，具有方便对blade的位置以及角度进行微调的效果；2.第一齿轮与第二齿轮的设置方便了操作人员对楔形块的位置进行微调；3.转动辊的设置将楔形块与blade之间的摩擦力变为滚动摩擦力，有助于楔形块在下面板与blade之间进行滑移。
附图说明
24.图1是本技术实施例1用于体现一种便于调节的blade总成结构的结构示意图。
25.图2是本技术实施例2用于体现一种便于调节的blade总成结构的结构示意图。
26.图3是图2中a部的放大图。
27.图4是用于体现本技术实施例2一种便于调节的blade总成结构的爆炸图。
28.图5是图4中b部的放大图。
29.附图标记说明：1、上面板；101、第一通孔；2、下面板；21、连接槽；22、阶梯沉孔；23、第四通孔；24、滑移槽；3、blade；31、放置部；311、顶出孔；32、连接部；33、第二通孔；34、第三通孔；35、推进斜面；4、调平螺钉；5、调平弹簧；6、第一螺钉；7、第二螺钉；8、调整组件；801、连接螺母；802、楔形块；803、螺杆；804、连接块；805、第一齿轮；806、滑移块；807、第二齿轮；808、限位圆板；809、转动盘；810、手轮；9、平键；10、限位板；11、转动辊。
具体实施方式
30.以下结合附图1-5对本技术作进一步详细说明。本技术实施例提供一种便于调节的blade总成结构，其具有方便对blade的位置以及角度进行微调的效果。
31.实施例1参照图1，一种便于调节的blade总成结构包括上面板1、下面板2、blade3、调平螺钉4以及调平弹簧5。blade3的一端为放置部31，另一端为连接部32，blade3的放置部31呈下沉状设置，放置部31上开设有顶出孔311。连接部32被夹设于上面板1与下面板2之间，下面板2的上端面上开设有用于容纳连接部32的连接槽21，连接槽21的形状与连接部32对应，连接槽21的深度大于blade3的厚度。
32.参照图1，上面板1的底面开设有第一螺纹孔与第二螺纹孔（附图中未显示），下面板2上设置有第一螺钉6与第二螺钉7，第一螺钉6贯穿下面板2并通过第一螺纹孔与上面板1螺纹连接，第二螺钉7贯穿下面板2并通过第二螺纹孔与上面板1螺纹连接。
33.参照图1，上面板1上开设有第一通孔101，第一通孔101在上面板1上设置有四个，四个第一通孔101呈矩阵排列于上面板1上。blade3上开设有若干第二通孔33，若干第二通孔33与若干第一通孔101一一对应。
34.参照图1，调平螺钉4通过第一通孔101与第二通孔33依次穿过第一面板以及blade3。调平弹簧5套设于调平螺钉4上，调平弹簧5的一端与上面板1的底面抵接，调平弹簧5的另一端与blade3的顶面抵接。下面板2与blade3之间设置有用于对blade3在上面板1与下面板2之间的位置进行调整的调整组件8。
35.参照图1，调整组件8包括连接螺母801，连接螺母801设置有若干个，若干连接螺母801与若干调平螺钉4一一对应，连接螺母801螺纹连接于调平螺钉4的底端，连接螺母801设置于blade3的下方，blade3在调平弹簧5的作用下与连接螺母801抵紧。下面板2的上端面上开设有用于容纳连接螺母801的阶梯沉孔22，阶梯沉孔22为长圆腰形孔，连接螺母801相对的两侧夹设于阶梯沉孔22相对的两边之间。
36.参照图1，下面板2的上端面上固定连接有平键9，blade3上开设有与平键9位置以及形状对应的第三通孔34，当连接部32位于连接槽21中时，平键9通过第三通孔34穿过blade3。阶梯沉孔22的底壁上开设有供调平螺钉4的底端穿出的第四通孔23。
37.参照图1，在对blade3在上面板1与下面板2之间的位置进行调整时，旋拧调平螺钉4，与调平螺钉4螺纹连接的连接螺母801在调平螺钉4的驱动以及阶梯沉孔22的限位作用下沿着调平螺钉4的长度方向发生移动。调平弹簧5将blade3与连接螺母801抵紧，通过对多个调平螺钉4进行不同程度的旋拧调整，实现了对blade3在上面板1与下面板2之间的位置以及角度进行微调，有助于使blade3的位置与各个功能腔体对应。
38.参照图1，平键9与第三通孔34的设置降低了blade3在使用过程中从上面板1与下面板2之间脱出的可能性。第四通孔23的设置避免了在对blade3位置进行调整时调平螺钉4的底端与下面板2之间产生干涉。
39.实施例1的实施原理为：通过旋拧调平螺钉4，调整了连接螺母801在调平螺钉4上的位置，blade3不同位置在调平螺钉4的驱动下在上面板1与下面板2之间发生变化，调平弹簧5将blade3与连接螺母801抵紧，从而实现了对blade3位置与角度的微调。
40.实施例2参照图2~4，调平螺钉4通过第四通孔23穿出下面板2，调平螺钉4穿出下面板2的端部固定连接有限位板10，限位板10的顶面与下面板2的底面抵接。
41.参照图2、图4和图5，调整组件8包括设置于blade3与下面板2之间的楔形块802，楔形块802设置于连接槽21中，楔形块802的一侧斜面与连接槽21的底壁贴合设置，另一侧与blade3的底面接触。楔形块802在blade3长度方向的两侧各对称设置有两个，楔形块802的长度方向与blade3的长度方向垂直设置。
42.参照图2和图5，调整组件8还包括驱动楔形块802沿blade3的宽度方向移动的第一驱动件。第一驱动件包括螺杆803以及连接块804，连接块804与楔形块802长度方向的竖直侧边固定连接。螺杆803沿blade3的宽度方向螺纹连接于下面板2上螺杆803的一端贯穿下
面板2伸入连接槽21中，并与连接块804球接。螺杆803远离连接块804的一端固定套设有第一齿轮805。下面板2上设置有驱动第一齿轮805转动的第二驱动件。
43.参照图2、图4和图5，连接槽21的底壁上开设有滑移槽24，滑移槽24的设置方向与螺杆803的长度方向平行。楔形块802的底面上固定连接有滑移块806，滑移块806嵌设于滑移槽24中并与其滑动配合。blade3底面宽度方向两侧的边缘开设有推进斜面35，推进斜面35的角度与楔形块802的顶面倾斜度一致，blade3在调平弹簧5的作用下与楔形块802抵紧。
44.参照图2、图4和图5，在需要对blade3在上面板1与下面板2之间的位置以及角度进行调整时，使用第二驱动件转动第一齿轮805，螺杆803沿着blade3的宽度方向移动，与螺杆803连接的连接块804以及楔形块802在螺杆803的驱动以及滑移块806与滑移槽24的限位作用下沿着blade3的宽度方向移动。当楔形块802朝连接槽21的中心位置移动时，楔形块802的顶面与blade3的推进斜面35产生相对滑移，blade3在楔形块802的挤压下向上移动，调平弹簧5受压缩短；当楔形块802朝连接槽21竖直内壁方向移动时，楔形块802的顶面与blade3的推进斜面35产生相对滑移，调平弹簧5释放弹性势能伸长，将blade3向下挤压，blade3在上面板1与下面板2之间向下移动。通过对设置于blade3宽度方向两侧四个楔形块802的位置调整，实现了对blade3的角度以及位置进行微调。滑移槽24与滑移块806的设置为楔形块802在下面板2与blade3之间的滑移起到了限位与导向的作用，增强了楔形块802滑移过程中的稳定性。
45.参照图5，第二驱动件包括固定连接于下面板2上的第二齿轮807，第二齿轮807与第一齿轮805啮合连接，第二齿轮807的直径小于第一齿轮805的直径，第一齿轮805的厚度小于第二齿轮807的厚度。第二齿轮807的两端均固定同轴连接有限位圆板808，第二齿轮807远离下面板2的一端固定连接有转动盘809，转动盘809关于限位圆板808平行设置，转动盘809背离限位圆板808的一侧连接有手轮810。
46.参照图5，在需要对楔形块802的位置进行调整时，转动手轮810，第二齿轮807在转动盘809以及手轮810的带动下发生转动。第一齿轮805在第二齿轮807的驱动下发生转动，由于第二齿轮807的直径小于第一齿轮805的直径，因此便于对楔形块802进行微调。第一齿轮805在转动过程中沿着第二齿轮807的厚度方向来回滑移，限位圆板808的设置避免了第一齿轮805在滑移过程中与第二齿轮807脱离。
47.参照图5，楔形块802的顶面转动连接有若干转动辊11，转动辊11的设置方向与楔形块802的宽度方向平行，若干个转动辊11沿着楔形块802的长度方向等间距排列。
48.参照图4和图5，在对楔形块802的位置进行调整时，转动辊11与blade3的推进斜面35抵接，两者之间的摩擦力为滚动摩擦力，有助于楔形块802在下面板2与blade3之间的滑移。
49.实施例2的实施原理为：在对blade3在上面板1与下面板2之间的位置以及角度进行调整时，转动手轮810，手轮810a带动转动盘809以及第二齿轮807发生转动，第一齿轮805在第二齿轮807的驱动下发生转动，螺杆803在第一齿轮805的带动下发生转动，连接块804与楔形块802在螺杆803的推动以及滑移块806与滑移槽24的限位导向作用下沿着blade3的宽度方向发生移动，blade3在楔形块802与调平弹簧5的挤压作用下在上面板1与下面板2之间发生移动，实现了对blade3的位置以及角度调整。
50.以上均为本技术的较佳实施例，并非依此限制本技术的保护范围，故：凡依本技术
的结构、形状、原理所做的等效变化，均应涵盖于本技术的保护范围之内。