一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法与流程

1.本技术实施例涉及掩模板技术领域，具体而言，涉及一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法。


背景技术：

2.oled显示器件与传统液晶显示器件相比具有低能耗、生产成本低、自发光、宽视角及响应速度快等优点，是当下显示器件研究热门领域之一，在手机，平板电脑领域应用越来越广泛，并且由于其特有的柔性，应用范围越来越广泛。oled显示器件的结构主要包括：衬底基板，制作在衬底基板上呈矩阵排列的像素。其中，各像素一般都是通过有机材料利用蒸镀成膜技术透过高精细金属掩膜板，在阵列基板上的相应的像素位置形成有机电致发光结构。
3.随着oled技术的发展以及产线世代的提升，蒸镀所使用的掩膜板尺寸也随之增大，掩膜板尺寸增大意味着掩模会产生更大的下垂，需要更大的磁场，而更大的磁场容易损坏基板上的胶层，降低良率。
4.垂直蒸镀优势在于，重力与掩模张网方向相同，不会产生上述下垂，不需要强磁场；但由于高世代线基板尺寸大，掩膜板尺寸大，重力引起的掩膜板框架上方的下垂过大，影响蒸镀质量。


技术实现要素：

5.本技术实施例提供一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法，旨在减小垂直蒸镀时掩模板框架的下垂，提高蒸镀质量。
6.本技术实施例第一方面提供一种掩模板框架，包括：
7.框架主体；包括第一边梁、第二边梁、第三边梁和第四边梁，所述第一边梁、第二边梁、第三边梁和第四边梁相连并围成安装区域；所述第一边梁和所述第三边梁在第一方向相对设置，所述第二边梁和所述第四边梁在第二方向相对设置；
8.其中，所述第一边梁的中间部位在所述第一方向上的尺寸大于所述第一边梁的两端部位在所述第一方向上的尺寸；
9.所述第三边梁的中间部位在所述第一方向上的尺寸大于所述第三边梁的两端部位在所述第一方向上的尺寸。
10.可选地，所述第一边梁和/或所述第三边梁远离所述安装区域的侧边为圆弧，所述圆弧的圆心角为5
°‑
60
°
。
11.可选地，所述第一边梁和/或所述第三边梁远离所述安装区域的侧边为凸多边形，所述凸多边形的顶角为120
°‑
170
°
。
12.可选地，所述第一边梁与所述第二边梁连接的位置、以及所述第一边梁与所述第四边梁连接的位置设置有加强部；
13.所述加强部在所述二方向上的尺寸大于所述第二边梁和第四边梁在所述第二方
向上的尺寸。
14.可选地，所述第一边梁的两端且靠近所述安装区域的位置设置有第一定位孔；
15.所述第三边梁的两端且靠近所述安装区域的位置设置有第二定位孔。
16.可选地，所述第一边梁和所述第三边梁上均设置有多个限位部；
17.多个所述限位部在所述第一边梁上位于两个所述第一定位孔之间；
18.多个所述限位部在所述第三边梁上位于两个所述第二定位孔之间；
19.且所述第一边梁上的多个所述限位部与所述第三边梁上的多个所述限位部一一对应。
20.可选地，所述框架主体包括支撑面和背面，所述支撑面为用于支撑掩模板的一面，所述背面为背离于所述支撑面的一面；
21.所述框架主体的背面上设置有多个气浮槽。
22.本技术实施例第二方面提供一种掩模板组件，包括至少一个掩模板以及如本技术实施例第一方面提供的掩模板框架，所述至少一个掩模板位于所述安装区域内，且与所述框架主体固定连接。
23.可选地，所述至少一个掩模板包括第一掩模板和第二掩模板；所述第二掩模板叠放于所述第一掩模板背离所述掩模板框架的一侧；
24.所述第一掩模板为全面掩模板，所述第二掩模板为高精度掩模板。
25.本技术实施例第三方面提供一种掩模板张网方法，所述掩模板张网方法包括：
26.提供掩模板以及如本技术实施例第一方面提供的掩模板框架；
27.将所述掩模板固定到所述掩模板框架上。
28.可选地，所述掩模板包括多个掩模条，将所述掩模板固定到所述掩模板框架上的步骤包括：
29.将各所述掩膜条固定到所述掩模板框架上；其中，多个所述掩膜条沿所述第二方向依次排布；各所述掩膜条在所述掩模板框架上的固定位置，沿所述第三边梁朝向所述第一边梁的方向偏移，且各所述掩膜条的偏移量，由所述第一边梁中间部位到所述第一边梁两端部位逐渐减小。
30.可选地，所述掩模板包括多个掩模条，将所述掩模板固定到所述掩模板框架上的步骤包括：
31.对所述框架主体的第一边梁和第三边梁施加目标作用力，以使所述框架主体的所述第一边梁和所述第三边梁变形至目标形状；
32.将多个所述掩模条固定至形变后的所述框架主体上，使所述掩模条的一端与第一边梁连接，另一端与第三边梁连接。
33.可选地，在所述对所述框架主体的第一边梁和第三边梁施加目标作用力的步骤之前，所述方法还包括：
34.获取所述框架主体在未施加作用力时，所述框架主体与所述掩模板连接后，所述框架主体的第一边梁和第三边梁的第一变形位移值；
35.基于所述第一变形位移值，获取所述目标作用力；
36.其中，基于所述第一变形位移值，获取所述目标作用力的步骤，包括：
37.获取所述第一边梁和所述第三边梁变形至所述第一变形位移值时所需的第一作
用力的大小，确定所述第一作用力为所述目标作用力；
38.或者，获取所述第一边梁和所述第三边梁变形至所述第一变形位移值时所需的第一作用力的大小；
39.获取所述框架主体在所述第一作用力下，所述框架主体的第一边梁和所述第三边梁的第二变形位移值；
40.若第二变形位移值与第一变形位移值的差值小于或等于预设阈值，则确定所述第一作用力为目标作用力；
41.若第二变形位移值与第一变形位移值的差值大于所述预设阈值，则将所述第二形变位移值作为所述第一变形位移值，并重复所述获取所述第一边梁和所述第三边梁变形至所述第一变形位移值时所需的第一作用力的大小，以及所述获取所述框架主体在所述第一作用力下，所述框架主体的第一边梁和所述第三边梁的第二变形位移值的步骤，直到更新后的第二变形位移值与第一变形位移值的差值小于或等于预设阈值。
42.有益效果：
43.本技术提供一种掩模板框架、掩模板组件及掩模板张网方法，通过使第一边梁中间部位在第一方向上的尺寸大于第一边梁两端部位在第一方向上的尺寸，使第三边梁中间部位在第一方向上的尺寸大于第三边梁两端部位在第一方向上的尺寸，这样能够减少掩模板框架在垂直放置时的自然下垂量，提高立式蒸镀的对位精度，保证蒸镀质量。
附图说明
44.为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对本技术实施例的描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
45.图1是本技术一实施例提出的一种掩模板框架的结构示意图；
46.图2是本技术一实施例提出的一种掩模板框架组件的结构示意图；
47.图3是本技术一实施例提出的一种掩模板张网方法的步骤流程图；
48.图4是本技术一实施例提出的一种掩模板张网方法中对掩模板框架进行张网模拟的变形图；
49.图5是本技术一实施例提出的一种掩模板张网方法中对掩模板框架施加目标作用力的示意图；
50.图6是本技术一实施例提出的一种掩模板张网方法中对掩模板框架施加目标作用力后，掩模板框架产生变形位移的示意图。
51.附图标记说明：10、框架主体；101、第一边梁；102、第二边梁；103、第三边梁；104、第四边梁；105、加强部；106、第一定位孔；107、第二定位孔；108、气浮槽；20、第二掩模板。
具体实施方式
52.下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施
例，都属于本技术保护的范围。
53.参照图1所示，为本技术实施例公开的一种掩模板框架，包括框架主体10，框架主体10又包括第一边梁101、第二边梁102、第三边梁103和第四边梁104。
54.具体地，框架主体10具有支撑面和背面(图1中，虚线左侧为框架主体10的支撑面，虚线右侧为框架主体10的背面)，支撑面为用于支撑掩模板的一面，背面为背离于支撑面的一面，背面紧贴于相关支撑结构以保证掩模板框架及掩模板框架上的掩模板平整；框架主体10的支撑面到背面的距离，即框架主体10的厚度为40mm-110mm，框架主体10的材质可以为因瓦合金，以减小蒸镀期间框架主体10的热膨胀变形。
55.参照图1所示，第一边梁101、第二边梁102、第三边梁103和第四边梁104相连并围成安装区域，在安装掩模板到掩模板框架上时，掩模板位于安装区域内。第一边梁101和第三边梁103在第一方向相对设置，第二边梁102和第四边梁104在第二方向相对设置；需要说明的是，在本实施例中，第一方向与第二边梁102和第四边梁104的长度方向平行，第二方向与第一边梁101和第三边梁103的长度方向平行。并且，在垂直放置掩模板框架时，第二边梁102和第四边梁104平行于竖直方向，第一边梁101和第三边梁103则垂直于竖直方向，且第一边梁101的高度高于第三边梁103的高度。
56.参照图1所示，第一边梁101的中间部位在第一方向上的尺寸大于第一边梁101的两端部位在第一方向上的尺寸，在定义第一边梁101在第一方向上的尺寸为第一边梁101的宽度时，即可以是第一边梁101中间部位的宽度大于第一边梁101两端部位的宽度，且第一边梁101的宽度由中间部位到两端部位逐渐减小。
57.同时，第三边梁103的中间部位在第三方向上的尺寸大于第三边梁103的两端部位在第三方向上的尺寸，同样地，在定义第三边梁103在第三方向上的尺寸为第三边梁103的宽度时，即可以是第三边梁103中间部位的宽度大于第三边梁103两端部位的宽度，且第三边梁103的宽度由中间部位到两端部位逐渐减小。第一边梁101和第三边梁103的宽度为120mm-160mm。
58.通过设置第一边梁101和第三边梁103为中间部位宽度较大，两端部位宽度较小的形状，可以使第一边梁101和第三边梁103中间部位的强度得到提升，因此在垂直放置掩模板框架时，第一边梁101和第三边梁103在竖直方向上的变形可以减少，进而减少了掩模板框架在垂直放置时的自然下垂量，从而提高了立式蒸镀的对位精度，保证了蒸镀质量。
59.在一种实施例中，第一边梁101和/或第三边梁103远离安装区域的侧边设置为圆弧，圆弧的圆心角大于或等于5
°
，且小于或等于60
°
。
60.在一种实施例中，第一边梁101和/或第三边梁103远离安装区域的侧边设置为凸多边形，所述凸多边形的顶角大于或等于120
°
，且小于或等于170
°
。
61.在一种实施例中，参照图1所示，第一边梁101与第二边梁102连接的位置、以及第一边梁101与第四边梁104连接的位置设置有加强部105，加强部105在第二方向上的尺寸大于第二边梁102和第四边梁104在第二方向上的尺寸。
62.具体地，加强部105为圆弧状，加强部105可以将第二边梁102和第四边梁104所受到的外力更好地传递到第一边梁101中，加强部105在第二方向上的尺寸大于第二边梁102和第四边梁104在第二方向上的尺寸5mm-20mm。
63.在一种实施例中，参照图1所示，第一边梁101的两端且靠近安装区域的位置设置
有第一定位孔106，第三边梁103的两端且靠近安装区域的位置设置有第二定位孔107。
64.具体地，第一定位孔106和第二定位孔107位于靠近安装区域10mm-100mm的位置。第一定位孔106和第二定位孔107的设置可以使第二边梁102和第四边梁104所受的外力更多地转换为对第一边梁101和第三边梁103的张紧力，进而减少第一边梁101和第三边梁103的下垂。
65.在一种实施例中，参照图1所示，框架主体10的背面上设置有多个气浮槽109，气浮槽109的形状可以为不规则形状，也可以为规则形状；气浮槽109分布于第一边梁101、第二边梁102、第三边梁103和第四边梁104上，气浮槽109的外壁设置为加强筋形式，从而进一步减小掩模板框架的整体下垂。
66.同时，在一种实施例中，还可以通过添加多个限位部108的方式来减小垂直放置时掩模板框架的变形。
67.具体地，多个限位部108位于第一边梁101和第三边梁103上，且第一边梁101上的多个限位部108位于第一边梁101上两个第一定位孔106之间，第三边梁103上的多个限位部108位于第三边梁103上的两个第二定位孔107之间，且第一边梁101上的多个限位部108是与第三边梁103上的多个限位部108一一对应的。限位部108可以采用限位孔的形式，也可以采用限位辊的形式。
68.参照图2所示，本技术实施例还公开一种掩模板组件，该掩模板组件包括至少一个掩模板以及如本技术实施例提供的上述的掩模板框架。
69.具体地，至少一个掩模板位于安装区域内，且与框架主体10固定连接。
70.在一种实施例中，至少一个掩模板可以包括第一掩模板和第二掩模板，且第二掩模板叠放于第一掩模板背离掩模板框架的一侧。第一掩模板为全面掩模板(full mask)，第二掩模板为高精度掩模板(fmm)，其中，第一掩模板主要为第二掩模板提供支撑作用。
71.在固定掩模板到掩模板框架上时，对第一掩模板张网后使第一掩模板与框架主体10焊接，然后对第二掩模板进行张网，并将第二掩模板焊接到框架主体10上。
72.参照图3所示，本技术实施例还公开一种掩模板张网方法，所述掩模板张网方法包括：
73.步骤s101：提供掩模板以及如本技术实施例上述的掩模板框架；
74.步骤s102：将所述掩模板固定到所述掩模板框架上。
75.具体地，掩模板可以为上述的第一掩模板和第二掩模板；同时，掩模板包括多个掩模条，并且为了提高掩模板的张网精度，将所述掩模板固定到所述掩模板框架上的步骤包括：将各掩膜条固定到掩模板框架上；其中，多个掩膜条沿第二方向依次排布；各掩膜条在掩模板框架上的固定位置，沿第三边梁朝向第一边梁的方向偏移，且各掩膜条的偏移量，由第一边梁中间部位到第一边梁两端部位逐渐减小。掩模条的偏移量是根据第一边梁和第三边梁的变形量决定的。
76.例如，参照图4所示，对掩模板框架进行张网模拟后，得到框架主体的第一边梁和第三边梁的变形量为10微米，因此，通过在张网时将位于第一边梁中间部位的掩模条朝向第一边梁偏移10微米，其他掩模条的张网偏移量均匀减小，这样就可以达到补偿目的，减小掩模条的变形，从而提高掩模板组件的张网精度。
77.具体地，将所述掩模板固定到所述掩模板框架上的步骤还包括：
78.步骤201：对框架主体10的第一边梁101和第三边梁103施加目标作用力，以使框架主体10的第一边梁101和第三边梁103变形至目标形状。
79.将多个掩模条固定至形变后的框架主体10上，使掩模条的一端与第一边梁101连接，另一端与第三边梁103连接。
80.由于在将掩模板故到框架主体10上前，掩模板已经进行过张网，因此在掩模板固定到框架主体10上后，掩模板由于自身弹力会给第一边梁101和第三边梁103施加拉力，使第一边梁101和第三边梁103朝向安装区域的方向变形。
81.而为了减少第一边梁101和第三边梁103的变形，在本实施例中，先对框架主体10的第一边梁101和第三边梁103施加目标作用力，使框架主体10的第一边梁101和第三边梁103变形至目标形状，参照图6所示，图6中a-a’虚线指在模拟张网中，第一边梁101在受到目标作用力后发生的形变，b-b’虚线指第三边梁103受到目标作用力后发生的形变。
82.再将掩模板固定到框架主体10上，此时，由于第一边梁101和第三边梁103已经发生过形变，因此，掩模板即使对框架主体10产生拉力，也不会再导致第一边梁101和第三边梁103发生过大的变形，同时，由于第一边梁101和第三边梁103已经发生了变形，第一边梁101和第三边梁103本身会产生一个弹力，这个弹力与掩模板给第一边梁101和第三边梁103施加的力会相互抵消，从而进一步减小掩模板框架的变形。
83.需要说明的是，上述张网方法并不限于本技术实施例所公开的掩模板框架组件，其他类型的掩模板框架组件在进行垂直蒸镀使也可以采用上述张网方法进行张网。
84.参照图5所示，在施加目标作用力时，目标作用力的施加点位于框架主体10上气浮槽109的加强筋处，这样更有利于力的传递。
85.但在对框架主体10的第一边梁101和第三边梁103施加目标作用力的步骤之前，需要先得到目标作用力的大小，因此，所述掩模板张网方法还包括：
86.步骤301：获取框架主体10在未施加目标作用力时，框架主体10与掩模板连接后，框架主体10的第一边梁101和第三边梁103的第一变形位移值。
87.具体地，可以采用张网模拟程序对掩模板框架组件进行模拟张网，并进行计算，从而来获取框架主体10在未施加目标作用力，即框架主体10仅受到掩模板对框架主体10产生的力时，框架主体10的第一边梁101和第三边梁103的第一变形位移值，第一变形位移值也是上述的目标形状下，第一边梁101和第三边梁103的变形位移值。参照图6所示，基于第一边梁101和第三边梁103的变形，可以得到第一边梁101和第三边梁103的变形位移值。
88.步骤302：基于第一变形位移值，获取目标作用力。
89.具体地，通过张网模拟程序可以计算出，使第一边梁101和第三边梁103变形至第一变形位移值所需的不同的目标作用力的大小。
90.其中，由于目标作用力施加点位增加补偿位移与实际情况的框架主体10变形可能会有差异，因此，基于第一变形位移值，获取目标作用力的步骤还包括：
91.步骤3021：获取第一边梁101和第三边梁103变形至第一变形位移值时所需的第一作用力的大小，确定第一作用力为目标作用力；
92.或者，获取第一边梁101和第三边梁103变形至第一变形位移值时所需的第一作用力的大小；
93.获取框架主体10在第一作用力下，框架主体10的第一边梁101和第三边梁103的第
二变形位移值；
94.若第二变形位移值与第一变形位移值的差值小于或等于预设阈值，则确定第一作用力为目标作用力；
95.若第二变形位移值与第一变形位移值的差值大于预设阈值，则将第二形变位移值作为第一变形位移值，并重复获取第一边梁101和第三边梁103变形至第一变形位移值时所需的第一作用力的大小，以及获取框架主体10在第一作用力下，框架主体10的第一边梁101和第三边梁103的第二变形位移值的步骤，直到更新后的第二变形位移值与第一变形位移值的差值小于或等于预设阈值。
96.具体地，通过反复地计算第一边梁101和第二边梁102的变形位移值，可以得到更准确且精度更高的目标作用力，而考虑到掩模板框架组件存在制作误差，因此预设阈值一般定为5％-15％。
97.本技术实施例还公开一种张网精度测试方法，所述张网精度测试方法在掩模板组件进行垂直蒸镀时也可以使用，所述方法包括：
98.步骤401：获取水平状态下掩模板组件的第一张网模拟精度以及垂直状态下掩模板组件的第二张网模拟精度。
99.具体地，可以通过张网模拟程序对第一张网模拟精度和第二张网模拟精度进行计算。
100.步骤402：获取水平状态下掩模板组件的第一测试精度；
101.具体地，在水平状态下对掩模板组件进行张网蒸镀后，对掩模组件的张网精度进行检测，进而得到第一测试精度。
102.步骤403：获取垂直状态下掩模板组件的第二测试精度，其中，第二测试精度＝第一测试精度-(第一模拟精度-第二模拟精度)。
103.通过上述方法即可确定在垂直状态下掩模板组件的张网精度。
104.需要说明的是，本说明书中的各个实施例均采用递进的方式描述，每个实施例重点说明的都是与其他实施例的不同之处，各个实施例之间相同相似的部分互相参见即可。
105.还需要说明的是，在本文中，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，诸如“第一”和“第二”之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序，也不能理解为指示或暗示相对重要性。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者终端设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者终端设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者终端设备中还存在另外的相同要素。
106.以上对本技术所提供的技术方案进行了详细介绍，本文中应用了具体个例对本技术的原理及实施方式进行了阐述，以上实施例的说明只是用于帮助理解本技术，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。同时，对于本领域的一般技术人员，依据本技术，在具体
实施方式及应用范围上均会有不同形式的改变之处，这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举，而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本技术的保护范围之中。