本发明涉及机械制造领域,尤其涉及一种可防止表层保护膜剥落的零件镀膜方法。
背景技术:
1、机械领域中,轴承、齿轮、拉杆传动机构等零件被广泛使用。在工作中,这些零件都会在接触面上造成一定的磨损。传统的保护措施是在其表面镀上一层金属膜,越是磨损大的区域,镀的膜越厚。然而,由于零件的表面多是不锈钢材料制成,硬度很大,金属膜硬度也很大,当膜厚度增加时,反而造成膜的表面脱落。近年来,随着真空镀膜技术的发展,类金刚石碳(dlc)镀膜被广泛应用,dlc膜结合致密,硬度大,可以有效的防止磨损。然而,dlc膜直接形成在零件表面,仍然容易脱落。
2、因此,亟待提供一种改进的零件的镀膜方法以克服以上缺陷。
技术实现思路
1、本发明的目的在于提供一种零件的镀膜方法,在零件的表面形成多层结构,以防止表层作为保护层的dlc膜从零件表面剥落,提高耐磨损性能。
2、为实现上述目的,本发明的零件的镀膜方法,包括以下步骤:
3、在零件的表面形成金属过渡层;
4、在所述金属过渡层上形成应力释放层;以及
5、在所述应力释放层上形成类金刚石碳(dlc)膜。
6、与现有技术相比,本发明在零件的表面依次形成金属过渡层、应力释放层、dlc膜,各层体之间粘接力强,从而防止作为表层保护层的dlc膜从零件表面剥落,从而提高零件的耐磨损性能。
7、较佳地,在真空室里通过溅射形成所述金属过渡层。
8、较佳地,所述真空室的工作条件为:气压为5×10-3pa-7×10-3pa,工件偏压为120v-200v。
9、较佳地,所述溅射条件包括:调整金属靶功率磁控电源,溅射功率为500-800w,溅射时间为2-5分钟。
10、较佳地,所述金属靶为cr靶、ti靶或zr靶。
11、较佳地,通过溅射形成所述应力释放层。
12、较佳地,溅射形成所述应力释放层包括:降低所述真空室的气压,控制工件偏压为250v-300v,溅射功率为300-400w,溅射时间为10-15分钟。
13、更佳地,采用石墨靶或碳化硅靶进行所述溅射。
14、较佳的,在形成所述金属过渡层之前还对所述零件进行清洗以及烘干。
1.一种零件的镀膜方法,其特征在于,包括以下步骤:
2.如权利要求1所述的零件的镀膜方法,其特征在于:在真空室里通过溅射形成所述金属过渡层。
3.如权利要求2所述的零件的镀膜方法,其特征在于,所述真空室的工作条件为:气压为5×10-3pa-7×10-3pa,工件偏压为120v-200v。
4.如权利要求2所述的零件的镀膜方法,其特征在于:所述溅射条件包括:调整金属靶功率磁控电源,溅射功率为500-800w,溅射时间为2-5分钟。
5.如权利要求4所述的零件的镀膜方法,其特征在于:所述金属靶为cr靶、ti靶或zr靶。
6.如权利要求2所述的零件的镀膜方法,其特征在于:通过溅射形成所述应力释放层。
7.如权利要求7所述的零件的镀膜方法,其特征在于,溅射形成所述应力释放层包括:降低所述真空室的气压,控制工件偏压为250v-300v,溅射功率为300-400w,溅射时间为10-15分钟。
8.如权利要求7所述的零件的镀膜方法,其特征在于:采用石墨靶或碳化硅靶进行所述溅射。
9.如权利要求7所述的零件的镀膜方法,其特征在于:在形成所述金属过渡层之前还对所述零件进行清洗以及烘干。