一种工装基座、工装及其应用的制作方法

1.本发明涉及真空镀膜技术领域，特别是涉及一种工装基座、工装及其在真空镀膜设备的应用。


背景技术：

2.涂层刀具是在强度和韧性较好的硬质合金或高速钢基体表面上，利用气相沉积方法涂覆单层或多层复合的耐磨性好的难熔金属或非金属化合物。涂层作为一个化学屏障和热屏障，减少了刀具与工件之间的扩散和化学反应，从而减少了刀具基体的磨损。涂层刀具具有表面硬度高、化学性能稳定、耐热、耐磨、耐氧化、摩擦系数小和热导率低等特性，相比未涂层的刀具，其寿命提升3～5倍以上，切削速度提高20％～70％，加工精度提高0.5～1级。
3.pvd(物理气相沉积)法是在真空条件下，将化学反应容器内部加热至500℃左右，采用低电压、大电流的电弧放电技术，利用气体放电使靶材蒸发，使被蒸发物质与气体都发生电离，利用电场的加速作用，使被蒸发物质及其反应产物在被加热的刀具基体的表面沉积形成tic、tin、ticn、al2o3等单层或多层复合涂层的一种涂层方法。
4.pvd涂层工序中，刀具基体需借助工装完成真空镀膜。通常而言，不同的涂层刀具会采用不同的工装，而不同的工装又会采用不同的零件或配件装配而成。因此，刀具厂商针对不同的涂层刀具制造不同的工装时，需使用各种不同类型的零件或配件，而不同的工装之间的零件或配件不能通用或者通用性低，导致工装的材料成本较高。而且，不同的工装采用不同的装配方式，提高了装配的复杂性，又造成了生产成本的进一步提高。


技术实现要素：

5.基于此，提供一种工装基座，旨在提高不同工装之间的零件的通用性，简化不同工装的装配，而降低不同工装的生产成本。
6.一种工装基座，包括：
7.底盘结构；和
8.多个连接组件，所述多个连接组件沿周向间隔设于所述底盘结构上，每一所述连接组件的顶端设有连接部，所述连接部用于可拆卸连接供刀具基体安装的工件安装结构。
9.在其中一个实施例中，每一所述连接组件包括：
10.衬底件，所述衬底件设于所述底盘结构上；和
11.连接座，所述连接座的底端可旋转连接所述衬底件，所述连接座的顶端设有所述连接部，所述连接座的侧面设有传动部，所述传动部用于输入动力而使所述连接座旋转。
12.在其中一个实施例中，所述连接座包括：
13.齿轮，所述齿轮的轮齿形成所述传动部；和
14.轴座，所述轴座轴向贯穿所述齿轮、且与所述齿轮固定连接，所述轴座的底端可旋转连接所述衬底件，所述轴座的顶端设有所述连接部。
15.在其中一个实施例中，所述衬底件呈套筒状，所述轴座的底端插入所述衬底件中。
16.在其中一个实施例中，所述齿轮的底端设有凹槽，所述衬底件的顶端位于所述凹槽中。
17.在其中一个实施例中，所述连接部为阶梯孔。
18.在其中一个实施例中，所述底盘结构包括底盘，所述底盘上开设有沿周向分布的多个安装孔，每一所述连接组件的底端插入一所述安装孔中。
19.在其中一个实施例中，所述底盘的中心设有定位通孔，所述定位通孔的孔壁设有沿轴向延伸的定位部，所述定位部包括至少一定位凸起和至少一定位凹槽，所述定位凹槽与所述定位凸起沿周向交替连接。
20.一种工装，包括上述工装基座和多个工件安装结构，所述多个工件安装结构与所述多个连接组件的连接部一一对应设置、且可拆卸连接，每一所述工件安装结构用于安装所述刀具基体。
21.在其中一个实施例中，所述工件安装结构的顶端的端面上开设有至少两贯穿槽；所述至少两贯穿槽包括沿第一方向设置的至少一第一贯穿槽和沿第二方向设置的至少一第二贯穿槽，所述第一方向与所述第二方向相交而使所述第一贯穿槽与所述第二贯穿槽相交；其中，所述第一贯穿槽和所述第二贯穿槽用于交错堆叠刀具基体，并使所述刀具基体的两端伸出所述工件安装结构的侧面。
22.在其中一个实施例中，所述工件安装结构的顶端的端面上还开设有孔部，所述孔部与所有所述贯穿槽连通。
23.在其中一个实施例中，所述工件安装结构包括间隔设置的至少两安装件，每一所述安装件用于穿过所述刀具基体的通孔而堆叠所述刀具基体。
24.在其中一个实施例中，所述工件安装结构包括安装件，所述安装件包括：
25.底部，所述底部具有多个侧表面，所述底部用于承载所述刀具基体的底面或顶面；和
26.多个限位侧部，所述多个限位侧部连接所述底部，而与所述多个侧表面一一对应设置，每一所述限位侧部具有限位部分，所述限位部分位于对应的所述侧表面的外侧，所述限位部分用于限位所述刀具基体的侧面。
27.一种真空镀膜设备，包括镀膜腔室和上述工装，上述工装装配于所述镀膜腔室内。
28.上述工装，通过在底盘结构上设置多个周向上间隔分布的连接组件，并在连接组件的顶端设置连接部，借助连接部而在连接组件上可拆卸安装工件安装结构。由于不同类型的工件安装结构可以安装不同的刀具基体，而且工装基座上可以安装至少一种工件安装结构，进而工装基座适用于各种刀具基体的真空镀膜，即不同工装均可在工装基座的基础上装配不同的工件安装结构而制成，提高了不同工装之间的零件的通用性，降低了工装的材料成本。装配工装时，先完成工装基座的组装，然后在工装基座上安装不同的工件安装结构，简化了不同工装的装配，显著降低了不同工装的生产成本。
附图说明
29.图1为本发明一实施例中工装基座的结构示意图；
30.图2为图1中工装基座的另一视角的结构示意图；
31.图3为图1中工装基座的分解图；
32.图4为图1中工装基座的俯视图；
33.图5为图4中工装基座沿i-i线的剖视图；
34.图6为本发明第一实施例中工装的结构示意图；
35.图7为图6中工装的工件安装结构的结构示意图；
36.图8为图7中工件安装结构的俯视图；
37.图9为图8中工件安装结构安装有刀具基体时的状态图；
38.图10为本发明第二实施例中工装的结构示意图；
39.图11为图10中工装的工件安装结构的结构示意图；
40.图12为图11中工件安装结构的分解图；
41.图13为本发明第三实施例中工装的结构示意图；
42.图14为图13中工装的工件安装结构的结构示意图；
43.图15为图14中工件安装结构的分解图；
44.图16为图14中工件安装结构的俯视图；
45.图17为图16中工件安装结构安装有刀具基体时的状态图；
46.图18为本发明第四实施例中工装的结构示意图；
47.图19为图18中工装的工件安装结构的结构示意图；
48.图20为图19中工件安装结构的分解图；
49.图21为本发明一实施例中真空镀膜设备的原理图。
具体实施方式
50.为使本发明的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本发明。但是本发明能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本发明内涵的情况下做类似改进，因此本发明不受下面公开的具体实施例的限制。
51.在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。
52.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
53.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
54.在本发明中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
55.需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者也可以存在居中的元件。当一个元件被认为是“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或者可能同时存在居中元件。本文所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“上”、“下”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的，并不表示是唯一的实施方式。
56.请参阅图1至图3，图1示出了本发明一实施例中工装基座的结构示意图，图2示出了图1中工装基座的另一视角的结构示意图，图3示出了图1中工装基座的分解图，本发明一实施例提供了的工装基座100，包括底盘结构200和多个连接组件300。多个连接组件300沿周向间隔设于底盘结构200上，每一连接组件300的顶端设有连接部302。该连接部302用于可拆卸连接工件安装结构，工件安装结构可供刀具基体安装。通过在底盘结构200上设置多个周向上间隔分布的连接组件300，并在连接组件300的顶端设置连接部302，借助连接部302而在连接组件300上可拆卸安装工件安装结构。由于不同类型的工件安装结构可以安装不同的刀具基体，而且工装基座100上可以安装至少一种工件安装结构，进而工装基座100适用于各种刀具基体的真空镀膜，即不同工装均可在工装基座100的基础上装配不同的工件安装结构而制成，提高了不同工装之间的零件的通用性，降低了工装的材料成本。装配工装时，先完成工装基座100的组装，然后在工装基座100上安装不同的工件安装结构，简化了不同工装的装配，显著降低了不同工装的生产成本。
57.每一连接组件300包括衬底件310和连接座320。其中，衬底件310设于底盘结构200上。连接座320的底端可旋转连接衬底件310，连接座320的顶端设有连接部302，即连接部302设于连接座320的顶端，连接座320的侧面设有传动部322，传动部322用于输入动力而使连接座320作为从动结构而发生旋转。连接座320可通过其传动部322而输入外部的动力，进而可相对衬底件310发生旋转，带动其上的工件安装结构旋转，以转动工件安装结构上的刀具基体，有利于提高刀具的涂层质量。
58.进一步地，该连接座320包括齿轮324和轴座326。其中，齿轮324的轮齿形成传动部322。轴座326轴向贯穿齿轮324、且与齿轮324固定连接，轴座326的底端可旋转连接衬底件310，轴座326的顶端设有连接部302，即连接部302设于轴座326的顶端。由于齿轮324与轴座326固定连接，可利用工装基座100的旋转(自转)，并借助外置的拨片拨动齿轮324的轮齿(传动部322)，而输入动力，使连接座320相对衬底件310发生转动。可以理解的是，在其他实施例中，该连接座320可以为一体结构，即一体成型而成，无需组装齿轮324和轴座326；传动部322可以是连接座320的侧面上开设的多个凹陷部，多个凹陷部沿周向间隔分布，其同样可以在拨片的拨动下，使连接座320旋转。
59.本实施例中，齿轮324上开设有中心通孔(未标号)，轴座326穿过齿轮324的中心通孔，且齿轮324的底端与轴座326焊接连接。在其他实施例中，轴座326的外表面与齿轮324的中心通孔的孔壁紧配合，而实现轴座326与齿轮324之间的固定连接。
60.本实施例中，衬底件310呈套筒状，轴座326(连接座320)的底端插入衬底件310中，而嵌套在衬底件310中，进而连接座320可以具有良好的旋转稳定性。可以理解的是，在其他实施例中，衬底件310呈轴体状，该轴座326(连接座320)的底端设有轴孔，而与衬底件310可旋转套接，同样可以实现连接座320的旋转。
61.请参阅图4和图5，图4示出了本实施例中工装基座的俯视图，图5示出了图4中工装基座沿i-i线的剖视图，齿轮324的底端设有凹槽328，衬底件310的顶端位于凹槽328中，而增加衬底件310围套轴座326的长度，提高了连接座320的旋转稳定性。进一步地，衬底件310的顶端的端面与凹槽328的槽底接触，而使连接座320支撑在衬底件310上，有利于进一步提高连接座320的稳定性，防止其安装工件安装结构后发生晃动。
62.本实施例中，连接部302为连接孔，而方便工件安装结构的拆卸和安装。在其他实施例中，连接部302可以设置成轴体，而插入工件安装结构相应的轴孔中，实现两者的可拆卸连接。
63.为了进一步提高工件安装结构的连接便利性，连接部302可以为但不限于阶梯孔，由于阶梯孔外大内小，而方便工件安装结构插入其中。
64.本实施例中，齿轮324的材质可以为但不限于不锈钢，其轮齿的数量可以为但不限于六个。轴座326包括一个直径较大的圆台部和一个直径较小的圆柱部，圆台部上设有阶梯孔的大孔，圆柱部上设有阶梯孔的小孔。圆柱部与齿轮324的中心通孔适配，圆台部无法通过齿轮324的中心通孔而同时起到定位作用。轴座326的材质可以为但不限于不锈钢。衬底件310为衬套，其材质可以为但不限于不锈钢。
65.结合图3至图5，本实施例中，底盘结构200包括底盘210、垫圈220以及多个螺栓230，底盘210设于垫圈220上，多个螺栓230沿周向分布、且自下而上依次连接垫圈220和底盘210，而将垫圈220与底盘210固定连接。需要说明的是，在其他实施例中，底盘结构200可以仅包括底盘210，而无需设置垫圈220，连接组件300同样可以安装于其上。
66.底盘210上开设有沿周向分布的多个安装孔211。每一连接组件300的底端插入一安装孔211中，即每一连接组件300的衬底件310的底端插入一安装孔211中。其中，衬底件310的外周面与安装孔211的孔壁过盈配合，而将衬底件310固定于安装孔211中。
67.由于底盘210的安装孔211为通孔，垫圈220设置在底盘210的底端，而封闭了安装孔211的一端。衬底件310的底端经安装孔211接触垫圈220，垫圈220可以起到支撑衬底件310的作用。轴座326的底端与垫圈220间隔。
68.垫圈220上沿周向方向开设有多个均匀分布的连接通孔222，底盘210上沿周向方向开设有多个均匀分布的螺纹孔212，多个连接通孔222与多个螺纹孔212一一对应设置，且连接通孔222的孔径略大于螺纹孔212的孔径，螺栓230自下而上穿过连接通孔222和螺纹孔212，且与螺纹孔212螺纹连接。
69.底盘210的中心设有定位通孔213，定位通孔213的孔壁设有沿轴向延伸的定位部214，该定位部214用于与使用该工装基座100的设备配合而定位底盘210。具体而言，定位部214包括至少一定位凸起215和至少一定位凹槽216，定位凹槽216与定位凸起215沿周向交替连接。
70.进一步地，定位部214包括一个定位凸起215和两个定位凹槽216，一定位凸起215相连于两个定位凹槽216之间。真空镀膜设备的内部零件设有相应的配合部，该配合部包括
配合凸起和配合凹槽，一配合凹槽相连于两配合凸起之间。其中，定位凸起215与配合凹槽配合，定位凹槽216与配合凸起配合。需要说明的是，定位部214的定位凸起215和定位凹槽216的数量可根据实际需求进行设置，并不限于上述情况。
71.本实施例中，底盘210包括内环217、外环218以及多条横梁219，多条横梁219沿周向均匀间隔分布、且连接于内环217和外环218之间。定位通孔213设于内环217上，多个安装孔211和多个螺纹孔212设于外环218上。定位部214的定位凸起215呈半圆凸条状，定位凹槽216呈半圆槽状，而使定位部214整体上呈波浪形状，其定位效果更好。其中，底盘210、垫圈220以及螺栓230的材质均可以是不锈钢，但不限于此。
72.结合图3，本实施例工装基座100可以通过如下步骤进行装配，但不限于如下的装配方式：
73.首先，组装底盘结构200，即通过多个螺栓230依次连接垫圈220的连接通孔222和底盘210的螺纹孔212，而将垫圈220与底盘210固定连接；
74.其次，将衬底件310插入底盘210的安装孔211中，直至抵接垫圈220；
75.接着，将轴座326贯穿齿轮324的中心通孔，直至轴座326的圆台部被齿轮324限位，焊接连接齿轮324和轴座326，而组装成连接座320；
76.最后，将连接座320的底端插入衬底件310中，直至齿轮324的凹槽328抵接衬底件310的顶端，而完成连接组件300的组装；重复上述连接组件300的组装步骤，而在底盘结构200上完成所有连接组件300的安装，进而完成工装基座100的装配。
77.请参阅图6至图7，图6示出了本发明第一实施例中工装的结构示意图，图7示出了图6中工装的工件安装结构的结构示意图，本实施例提供了的工装400，包括工装基座100和多个工件安装结构500。该工装基座100的具体结构参照上述实施例，由于本实施例工装400采用了上述所有实施例的全部技术方案，因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。其中，多个工件安装结构500与工装基座100的多个连接组件300一一对应设置、且可拆卸连接，而不同类型的工件安装结构500上可安装不同的刀具基体。由于工件安装结构500可拆卸安装于工装基座100上，可减少工装基座100对工件安装结构500造成的震动，而减缓工件安装结构500上的刀具基体的晃动，防止刀具基体掉落。
78.本实施例中，工装基座100上安装的所有工件安装结构500完全相同，然而，在其他实施例中，该工装基座100上可以安装不同类型的工件安装结构500，具体视实际需求而定，进而可以在同一工装400上完成不同刀具基体的真空蒸镀。
79.请参阅图8和图9，图8示出了本实施例中工装的工件安装结构的俯视图，图9示出了图8中工件安装结构安装有刀具基体时的状态图，每一工件安装结构500的顶端的端面上开设有至少两贯穿槽510。至少两贯穿槽510包括沿第一方向o1设置的至少一第一贯穿槽512和沿第二方向o2设置的至少一第二贯穿槽514，第一方向o1与第二方向o2相交而使第一贯穿槽512与第二贯穿槽514相交。其中，第一贯穿槽512和第二贯穿槽514用于交错堆叠刀具基体502，并使刀具基体502的两端伸出工件安装结构500的侧面。
80.通过在工件安装结构500的顶端的端面上设置相交的第一贯穿槽512和第二贯穿槽514，安装刀具基体502时，可先在第一贯穿槽512中放置一刀具基体502，然后在第二贯穿槽514中放置另一刀具基体502，而依次交错堆叠刀具基体502。相较于磁吸方式，该工装400在相近的空间大小下可以容纳更多的刀具基体502，增加了刀具基体502的安装数量，提高
了单次真空镀膜的刀具基体502的数量，降低了涂层刀具的生产成本。此外，由于切槽刀具的工作表面位于刀具基体502的两端，安装好的刀具基体502的两端可伸出贯穿槽510，即贯穿槽510不会接触刀具基体502的两端，而且相互交错堆叠的刀具基体502之间不会影响彼此工作表面上涂层的形成，保证了涂层刀具的工作表面的涂层的均匀性，提升了涂层刀具的使用性能。
81.本实施例中，至少两贯穿槽510包括一第一贯穿槽512和一第二贯穿槽514，即工件安装结构500的顶端的端面上开设有沿第一方向o1设置的一第一贯穿槽512和沿第二方向o2设置的一第二贯穿槽514。
82.进一步地，第一贯穿槽512和第二贯穿槽514相交于安装件530的顶端的端面的中心，即第一贯穿槽512和第二贯穿槽514均贯穿了工件安装结构500的顶端的端面的中心，而保证了第一方向o1上的第一贯穿槽512的长度和第二方向o2上的第二贯穿槽514的长度，安装刀具基体502时，刀具基体502的两端之外的其他部分可更多地收纳于贯穿槽510中，提高了刀具基体502在贯穿槽510中的稳固性。
83.本实施例中，第一贯穿槽512和第二贯穿槽514呈垂直设置，即第一方向o1和第二方向o2呈垂直设置，而使贯穿槽510整体上呈“十”字形设置。其中，“呈垂直设置”可以理解为基本上垂直或大体上垂直，其包括了完全垂直的情况。
84.本实施例中，工件安装结构500为一体结构，且整体上呈圆柱状或圆杆状，其包括同轴连接的第一圆柱516和第二圆柱518，第一圆柱516的直径大于第二圆柱518的直径。其中，贯穿槽510开设于第一圆柱516远离第二圆柱518的一端，且沿着轴向朝第一圆柱516的另一端延伸。显然，贯穿槽510的轴向深度越深，其可以放置的刀具基体502的数量也越多，但同时也要兼顾第一圆柱516的结构强度。贯穿槽510的宽度视切槽刀具的尺寸而定。其中，第一贯穿槽512和第二贯穿槽514均经过第一圆柱516的轴线且相交于该轴线。工件安装结构500的材质可以为但不限于不锈钢。
85.需要说明的是，在其他实施例中，至少两贯穿槽510还包括沿第三方向设置的至少一第三贯穿槽，一第三贯穿槽经过第一圆柱516的轴线，且与第一贯穿槽512、第二贯穿槽514相交于该轴线。工件安装结构500的形状并不限于圆柱状或圆杆状，其还可以为椭圆柱状、方柱状、五边柱状或者其他多边柱状，具体形状可视实际需求而定。
86.第一贯穿槽512和第二贯穿槽514的数量并不限于上述情况，然而，在其他实施例中，工件安装结构500的顶端的端面上开设有沿第一方向o1设置的两第一贯穿槽512和沿第二方向o2设置的一第二贯穿槽514；工件安装结构500的顶端的端面上开设有沿第一方向o1设置的一第一贯穿槽512和沿第二方向o2设置的两第二贯穿槽514；或者，工件安装结构500的顶端的端面上开设有沿第一方向o1设置的两第一贯穿槽512和沿第二方向o2设置的两第二贯穿槽514。
87.请参阅图10至图12，图10示出了本发明第二实施例中工装的结构示意图，图11示出了图10中工装的工件安装结构的结构示意图，图12示出了图11中工件安装结构的分解图，本实施例工装400与上述第一实施例工装400的主要区别如下：
88.本实施例工装400的工件安装结构500的顶端的端面上还开设有孔部520，孔部520与所有贯穿槽510连通。具体而言，该孔部520连通了第一贯穿槽512和第二贯穿槽514，而增大工件安装结构500的内部空间，方便刀具基体502的放置，且有利于减轻其重量。
89.本实施例中，该工件安装结构500包括安装件530和连接件540，连接件540的一端与安装件530的底端固定连接，连接件540的另一端可拆卸安装于工装基座100上。贯穿槽510及孔部520均开设于安装件530的顶端。其中，连接件540的一端焊接连接于安装件530的底端的固定通孔之中。在其他实施例中，连接件540的一端可螺纹连接于安装件530的固定通孔之中，而实现固定连接。
90.本实施例中，安装件530整体上呈方形，然不限于此形状。而孔部520可以为但不限于圆孔，其中心与安装件530的中心重合，其孔径大小可根据实际需求设置。可以理解的是，在其他实施例中，孔部520还可以是方孔、棱形孔、椭圆孔或其他多边孔。
91.需要说明的是，虽然本实施例工装400的工件安装结构500与上述第一实施例工装400的工件安装结构500明显不同，但是本实施例工装400和上述第一实施例工装400属于同种类型的工装，即均用于放置长条状的切槽刀具。
92.至于本实施例工装400的其他方面与上述第一实施例工装400的其他方面基本相同，其具体内容可参照上述第一实施例的描述，在此不做赘述。
93.请参阅图13至图15，图13示出了本发明第三实施例中工装的结构示意图，图14示出了图13中工装的工件安装结构的结构示意图，图15示出了图14中工件安装结构的分解图，本实施例工装400与上述第一实施例工装400的主要区别如下：
94.本实施例工装400的工件安装结构500包括间隔设置的至少两安装件530，每一安装件530用于穿过刀具基体的通孔而堆叠刀具基体。因此，每一工装安装结构500可成倍地增加刀具基体的安装数量，大大提高了单次真空镀膜的刀具基体的数量，显著降低了涂层刀具的生产成本。需要说明的是，安装件530之间的间隔距离足以避免其上的刀具基体相互干涉，而且，堆叠的刀具基体可以错开设置，而使上下相邻的刀具基体不会影响彼此工作表面上涂层的形成。
95.为了更好地间隔上下相邻的刀具基体，安装件530上还穿设有间隔件(未图示)，间隔件位于上下相邻的刀具基体之间。
96.本实施例中，工件安装结构500还包括连接件540和承载盘550，连接件540的顶端与承载盘550固定连接，连接件540的底端可拆卸安装于工装基座100上。至少两安装件530设置于承载盘550上。
97.本实施例中，安装件530为轴体结构，具体可以为但不限于杆状、柱状或者条状。承载盘550可以为但不限于圆盘，其上设有沿周向分布的四个固定通孔(未标号)，四个安装件530一一对应焊接连接于四个固定通孔之中，连接件540的顶端焊接连接于承载盘550的中心通孔(未标号)之中。需要说明的是，在其他实施例中，工件安装结构500的安装件530的数量并不限于四个，可以是两个、六个、八个或者更多，具体视实际需求而定；安装件530与承载盘550之间可以通过螺纹连接方式固定连接，连接件540也可以通过螺纹连接方式固定连接承载盘550。
98.请参阅图16和图17，图16示出了本实施例中工装的工件安装结构的俯视图，图17示出了图16中工件安装结构安装有刀具基体时的状态图，相邻的两个安装件530相互配合而穿插同一种的刀具基体502的两个通孔。该刀具基体502包括方形部分和三角部分，方形部分的长边连接三角部分的底边，其中，方形部分上开设有两个通孔。
99.具体而言，该工件安装结构500的四个安装件530以相邻的两个为一组而穿插该刀
具基体502的两个通孔，进而安装两串刀具基体502，该两串刀具基体502背靠背设置。同一串刀具基体502上的所有刀具基体502的摆放位置相同并通过间隔件上下间隔设置。可以理解的是，在其他实施例中，该刀具基体502可以通过其一个通孔与一安装件530配合，而安装在工件安装结构500上；或者，该刀具基体502仅设有一个通孔，且呈三角形、方形、棱形或者其他多边形状。
100.至于本实施例工装400的其他方面与上述第一实施例工装400的其他方面基本相同，其具体内容可参照上述第一实施例的描述，在此不做赘述。
101.请参阅图18至图20，图18示出了本发明第四实施例中工装的结构示意图，图19示出了图18中工装的工件安装结构的结构示意图，图20示出了图19中工件安装结构的分解图，本实施例工装400与上述第一实施例工装400的主要区别如下：
102.本实施例工装400的工件安装结构500包括安装件530，安装件530包括底部532和多个限位侧部534。底部532具有多个侧表面536，底部532用于承载刀具基体的底面或顶面。多个限位侧部534连接底部532，而与多个侧表面536一一对应设置。每一限位侧部534具有限位部分538，限位部分538位于对应的侧表面536的外侧，限位部分538用于限位刀具基体502的侧面。
103.由于每一限位侧部534的限位部分538位于对应的侧表面536的外侧，放置在安装件530上的刀具基体的工作表面(角部)可以伸出底部532，而不影响刀具基体的工作表面上涂层的形成，保证了涂层刀具的工作表面的涂层的均匀性。该安装件530适合于无孔的多边形刀具基体的真空蒸镀，包括且不限于三角形刀具、棱形刀具、方形刀具或其他多边形刀具。
104.本实施例中，该工件安装结构500还包括连接件540，连接件540的顶端与安装件530固定连接，连接件540的底端可拆卸安装于工装基座100上。
105.本实施例中，每一限位侧部534与对应的侧表面536连接，而使其限位部分538位于底部532的外侧，以提供刀具基体伸出底部532的空间。可以理解的是，在其他实施例中，每一限位侧部534均连接在底部532的底面，而与底部532的侧表面536间隔设置。
106.本实施例中，该底部532呈三角状，而具有三个侧表面536。三个限位侧部534与底部532的三个侧表面536一一对应设置，而放置三角形状的刀具基体。每个限位侧部534的限位部分538为限位平面，且与相应的侧表面536平行，其中，刀具基体的侧面可以与限位平面适配或留有间隙。需要说明的是，在其他实施例中，该底部532还可以呈四边形、棱形或者其他多边形，安装件530的多个限位侧部534对应设置。其中，每一限位侧部534的限位部分538可以限位曲面、限位点或限位线。
107.本实施例中，连接件540的顶端焊接连接于安装件530的底部532的固定通孔之中，而实现固定连接。在其他实施例中，连接件540的顶端可以通过螺纹连接方式固定连接安装件530的底部532。
108.至于本实施例工装400的其他方面与上述第一实施例工装400的其他方面基本相同，其具体内容可参照上述第一实施例的描述，在此不做赘述。
109.请参阅图21，图21示出了本发明一实施例中真空镀膜设备的原理图，本实施例提供了的真空镀膜设备600，包括镀膜腔室610和工装400，工装400装配于镀膜腔室610内。该工装400的具体结构参照上述实施例，由于本实施例真空镀膜设备600采用了上述所有实施
例的全部技术方案，因此同样具有上述实施例的技术方案所带来的所有有益效果，在此不再一一赘述。
110.该镀膜腔室610内设有第一转盘620，该第一转盘620上设有沿周向间隔分布的多个第二转盘630，每一第二转盘630上设有一安装柱640，每一安装柱640上可间隔套接多个工装400。该真空镀膜设备600工作时，第一转盘620转动，而带动其上的第二转盘630、安装柱640以及工装400转动；同时第二转盘630相对于第一转盘620发生自转，而带动其上的安装柱640和工装400转动。因此，该安装柱640上的工装400在公转的同时自转，而使其上的工件在不同方向上充分接触反应物质，以在工件上形成良好、均匀的镀层。
111.进一步地，安装柱640设有上述配合部(未图示)，安装柱640与工装400的底盘210上的定位通孔213配合，而使安装柱640的配合部与定位通孔213的孔壁上的定位部214配合，进而在安装柱640上定位、安装好该工装400。
112.本实施例中，该真空镀膜设备600为pvd设备，至于该pvd设备的其他结构均可参照现有技术，在此不做赘述。
113.以上所述实施例的各技术特征可以进行任意的组合，为使描述简洁，未对上述实施例中的各个技术特征所有可能的组合都进行描述，然而，只要这些技术特征的组合不存在矛盾，都应当认为是本说明书记载的范围。
114.以上所述实施例仅表达了本发明的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对发明专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本发明构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本发明的保护范围。因此，本发明专利的保护范围应以所附权利要求为准。