一种平面度检测机构的制作方法

1.本发明涉及检测设备技术领域，具体为一种平面度检测机构。


背景技术：

2.平面度是指基片具有的宏观凹凸高度相对理想平面的偏差，平面度测量是指被测实际表面对其理想平面的变动量，在工件的制备过程中，为了保证工件的良品率，需要对工件表面的平整性进行把控，工件表面的毛刺和凸起，若直接忽视，会直接影响工件的装配，因此，需要对工件平面度的检测尤为重要，如研点法测量；
3.但是，现有的平面度检测机构还存在诸多不足；
4.1、在研点测量的过程中，不能将显影剂的涂抹和后续的研点工序进行结合，缺乏一体化运行的方式，难以将显影剂方便均匀地涂抹到工件表面，研点完毕后，也无法直接对工件表面残留显影剂与毛刺进行去除，使工序较为繁琐且费力，十分影响大批量工件的集中检测速度，影响量产；
5.2、缺乏将工件的固定和移除相结合的措施，难以快速地将研点完毕的工件移动至下一工序，较为麻烦与耗费人力，影响后续工件快速投入检测。


技术实现要素：

6.(一)解决的技术问题
7.针对现有技术所存在的上述缺点，本发明提供了一种平面度检测机构，能够有效地解决现有技术的平面度检测机构不能将显影剂的涂抹和后续的研点工序进行结合，缺乏一体化运行的方式，难以将显影剂方便均匀地涂抹到工件表面，研点完毕后，也无法直接对工件表面残留显影剂与毛刺进行去除，使工序较为繁琐且费力，十分影响大批量工件的集中检测速度，影响量产，缺乏将工件的固定和移除相结合的措施，难以快速地将研点完毕的工件移动至下一工序，影响后续工件快速投入检测的问题。
8.(二)技术方案
9.为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现，
10.本发明公开了一种平面度检测机构，包括摆置台、支撑滑架和转磨添剂机构，所述支撑滑架安装在摆置台上，所述转磨添剂机构位于摆置台和支撑滑架之间，所述转磨添剂机构与支撑滑架活动连接，所述转磨添剂机构包括限位套筒，所述限位套筒与支撑滑架滑动连接，所述限位套筒的内部转动连接有转杆，所述转杆的底端固定连接有顶输管，所述顶输管的底端套设有加压筒，所述加压筒的内部活动连接有中输管，所述中输管的顶端插设在顶输管的底端，所述中输管的底端固定连接有第一弹簧，所述第一弹簧的底端插接有密封球，所述中输管的表面套接有推板，所述中输管的底端套设有活动挡板，所述中输管表面的底端均匀开设有四组入液口，所述加压筒的底端固定连接有集液筒，所述集液筒的底端固定连接有研磨盘，所述集液筒的内部设置有底输管，所述底输管与加压筒相连通，所述顶输管的左右两侧连通有弹性输管，所述弹性输管的底端连通有连接盒，所述连接盒固定在
研磨盘的顶端，所述连接盒的内部固定连接有海绵块，所述集液筒的表面开设有注液口；所述顶输管与加压筒通过拉升机构活动连接，所述拉升机构能够操控加压筒在顶输管中移动；所述研磨盘的表面设置有擦磨机构，所述擦磨机构能够在研磨盘表面切换调整；所述摆置台的顶端设置有夹顶机构，所述夹顶机构与摆置台滑动连接；所述摆置台的右侧设置有测距机构。
11.在上述技术方案的基础上，本发明还提供以下可选技术方案：
12.在一种可选方案中：所述活动挡板与加压筒滑动连接，所述活动挡板套设在入液口的表面。
13.在一种可选方案中：所述拉升机构包括滑轮，所述滑轮为两组，两组所述滑轮分别固定在顶输管的前后两侧，所述加压筒的前后两侧固定连接有固定杆，所述滑轮的表面套设有拉绳，所述拉绳的一端固定在加压筒的表面，所述拉绳的另一端固定连接有拉柄。
14.在一种可选方案中：所述擦磨机构包括旋筒，所述旋筒套设在集液筒的表面，所述旋筒与集液筒转动连接，所述旋筒的表面通过螺纹转动连接有螺套，所述螺套的表面固定连接有两组衔接杆，所述研磨盘的表面套设有刷块，所述刷块的表面套设有打磨块，所述衔接杆固定在刷块的顶端。
15.在一种可选方案中：前侧所述衔接杆的表面通过螺纹转动连接有第一螺杆，所述第一螺杆的底端与打磨块地顶端转动连接，背侧所述衔接杆的表面滑动连接有限位杆，所述限位杆的底端固定在打磨块的顶端。
16.在一种可选方案中：所述夹顶机构包括固定筒，所述固定筒为两组，两组所述固定筒的底端与摆置台顶端的前后两侧转动连接，所述固定筒的表面转动连接有第二螺杆，所述第二螺杆的表面通过螺纹转动连接有夹板，所述固定筒底端的中心轴上套接有固定齿轮，所述固定齿轮的侧面设置有齿板，所述齿板与固定齿轮相啮合，所述齿板的表面套设有转轴，所述转轴的底端与摆置台的顶端固定连接，所述转轴的表面套设有第二弹簧。
17.在一种可选方案中：所述第二弹簧的一端与转轴的表面固定连接，所述第二弹簧的另一端与齿板的内壁固定连接。
18.在一种可选方案中：所述测距机构包括测距台，所述测距台的左侧滑动连接有滑轨，所述滑轨的左侧与摆置台的右侧固定连接，所述测距台底端的前后两侧安装有滚轮，所述测距台顶端的背侧转动连接有转板，所述转板的前侧滑动连接有测距框。
19.在一种可选方案中：所述测距台的左侧固定连接有与滑轨相适配的滑块，所述滑块插设在滑轨的内部。
20.在一种可选方案中：所述限位套筒的表面通过螺纹均匀插设有四组螺栓，所述支撑滑架的表面均匀开设有与螺栓相适配的固定孔。
21.(三)有益效果
22.采用本发明提供的技术方案，与已知的现有技术相比，具有如下有益效果，
23.1、本发明通过增加转磨添剂机构和拉升机构，使得用户能在研点测量的过程中，将显影剂的涂抹和后续的研点工序进行结合，使得整体测量呈现一体化运行的方式，研点过程可进行定位，使得显影剂可方便均匀地涂抹到工件表面，在上料与下料的过程中，完成显影剂的添加，并在研点完毕后，可直接对工件表面残留显影剂与毛刺进行去除，使工序得到优化，提升了大批量工件的集中检测速度，促进了量产；
24.2、本发明通过增加夹顶机构，从而使得该装置能够方便地将工件的固定和移除相结合，可快速地将研点完毕的工件移动至下一工序，较为方便与省力，操作较为简单，避免影响后续工件快速投入检测；
25.3、本发明通过增加测距机构，使得用户能够方便地通过测距框对工件表面的研点处进行定位，测量研点间距，调整测距框的过程较为方便，便于接收上一工序的工件，便于大规模的工件检测；
26.4、本发明通过增加便于调整研磨盘所处方位的措施，大大提升了该装置使用时的适用范围，降低了使用使得局限性，依托支撑滑架表面的十字滑槽，可完成研点过程中所需要的研点动作，提升了用户操作时的便利，对转杆移动轨迹的调整较为方便，只需要选择一组螺栓插入对应位置固定孔，便可完成对限位套筒的固定。
附图说明
27.为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
28.图1为本发明的正视立体结构图；
29.图2为本发明中转磨添剂机构的侧视立体结构图；
30.图3为本发明中转磨添剂机构的局部侧视立体剖面结构图；
31.图4为本发明中转磨添剂机构的局部爆炸状态的立体结构图；
32.图5为本发明中擦磨机构的正视立体结构图；
33.图6为本发明中夹顶机构的局部侧视立体结构图；
34.图7为本发明中夹顶机构的正视立体结构图；
35.图8为本发明中齿板、转轴和第二弹簧的侧视立体结构图；
36.图9为本发明的侧视立体结构图；
37.图10为本发明中测距机构的侧视立体机构图。
38.图中的标号分别代表，1、摆置台；2、支撑滑架；3、转杆；4、限位套筒；5、螺栓；6、顶输管；7、弹性输管；8、加压筒；9、中输管；10、活动挡板；11、第一弹簧；12、密封球；13、集液筒；14、底输管；15、注液口；16、推板；17、入液口；18、连接盒；19、海绵块；20、滑轮；21、拉绳；22、拉柄；23、固定杆；24、研磨盘；25、刷块；26、打磨块；27、旋筒；28、螺套；29、衔接杆；30、第一螺杆；31、限位杆；32、夹板；33、固定筒；34、第二螺杆；35、齿板；36、转轴；37、第二弹簧；38、固定齿轮；39、测距台；40、滚轮；41、转板；42、测距框；43、固定孔；44、滑轨。
具体实施方式
39.为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
40.下面结合实施例对本发明作进一步的描述。
41.实施例1
42.本实施例的一种平面度检测机构，如图1、图2、图3和图4所示，包括摆置台1、支撑滑架2和转磨添剂机构，支撑滑架2安装在摆置台1上，转磨添剂机构位于摆置台1和支撑滑架2之间，转磨添剂机构与支撑滑架2活动连接，转磨添剂机构包括限位套筒4，限位套筒4与支撑滑架2滑动连接，限位套筒4的内部转动连接有转杆3，转杆3的底端固定连接有顶输管6，顶输管6的底端套设有加压筒8，加压筒8的内部活动连接有中输管9，中输管9的顶端插设在顶输管6的底端，中输管9的底端固定连接有第一弹簧11，第一弹簧11的底端插接有密封球12，中输管9的表面套接有推板16，中输管9的底端套设有活动挡板10，中输管9表面的底端均匀开设有四组入液口17，加压筒8的底端固定连接有集液筒13，集液筒13的底端固定连接有研磨盘24，集液筒13的内部设置有底输管14，底输管14与加压筒8相连通，顶输管6的左右两侧连通有弹性输管7，弹性输管7的底端连通有连接盒18，连接盒18固定在研磨盘24的顶端，连接盒18的内部固定连接有海绵块19，集液筒13的表面开设有注液口15；顶输管6与加压筒8通过拉升机构活动连接，拉升机构能够操控加压筒8在顶输管6中移动。
43.如图3所示，活动挡板10与加压筒8滑动连接，活动挡板10套设在入液口17的表面。
44.如图1所示，限位套筒4的表面通过螺纹均匀插设有四组螺栓5，支撑滑架2的表面均匀开设有与螺栓5相适配的固定孔43。
45.如图2所示，拉升机构包括滑轮20，滑轮20为两组，两组滑轮20分别固定在顶输管6的前后两侧，加压筒8的前后两侧固定连接有固定杆23，滑轮20的表面套设有拉绳21，拉绳21的一端固定在加压筒8的表面，拉绳21的另一端固定连接有拉柄22。
46.本实施例在具体实施时，用户通过注液口15为集液筒13中注入显影剂，然后拉动拉柄22，使得拉柄22带动拉绳21在滑轮20上滑动，并带动加压筒8在顶输管6表面移动，此过程中，密封球12将底输管14与加压筒8的连通处密封，并且第一弹簧11被挤压，活动挡板10在中输管9上滑动，使得入液口17从活动挡板10的密封中露出，随之加压筒8的不断移动，使得推板16与活动挡板10接触，并推动活动挡板10重新将入液口17密封，用户可将拉柄22套设在固定杆23上固定；
47.将工件固定在摆置台1上后，用户松开拉柄22，再重新拉动几次加压筒8到达极限距离，当密封球12不再密封加压筒8与底输管14连通处时，在气压的作用下，使得底输管14将集液筒13中的显影剂吸入加压筒8，当密封球12重新密封时，显影剂再通过入液口17输送至中输管9，而后进入顶输管6，经由弹性输管7输送至连接盒18内，被海绵块19吸附，当第一弹簧11处于回弹状态时，研磨盘24对工件表面抵触，用户通过旋转转杆3，使得研磨盘24将海绵块19上的显影剂涂抹在工件表面，用户通过推动转杆3，使得限位套筒4在支撑滑架2上滑动，调整研磨盘24的位置，通过旋转螺栓5，使得螺栓5插入对应位置的固定孔43，对限位套筒4进行固定。
48.实施例2
49.在其他层面，本实施例还提供一种夹顶机构，如图6和图7所示，摆置台1的顶端设置有夹顶机构，夹顶机构与摆置台1滑动连接，夹顶机构包括固定筒33，固定筒33为两组，两组固定筒33的底端与摆置台1顶端的前后两侧转动连接，固定筒33的表面转动连接有第二螺杆34，第二螺杆34的表面通过螺纹转动连接有夹板32，固定筒33底端的中心轴上套接有固定齿轮38，固定齿轮38的侧面设置有齿板35，齿板35与固定齿轮38相啮合，齿板35的表面
套设有转轴36，转轴36的底端与摆置台1的顶端固定连接，转轴36的表面套设有第二弹簧37。
50.如图8所示，第二弹簧37的一端与转轴36的表面固定连接，第二弹簧37的另一端与齿板35的内壁固定连接。
51.本实施例在具体实施时，用户通过拉动齿板35，使得齿板35在转轴36表面移动，并带动第二弹簧37拉伸，当齿板35不再与固定齿轮38啮合后，用户可推动第二螺杆34，使得夹板32对工件进行夹持，然后松开齿板35，通过第二弹簧37回弹力使得齿板35重新与固定齿轮38啮合固定，用户可通过旋转第二螺杆34，使得夹板32在第二螺杆34表面移动，调整两组夹板32的间距，当需要移出研点完毕的工件时，用户可在前侧第二螺杆34不被固定时，顺时针推动第二螺杆34，使得夹板32将工件从研磨盘24下方移开。
52.实施例3
53.本实施例中，如图5和图9所示，研磨盘24的表面设置有擦磨机构，擦磨机构能够在研磨盘24表面切换调整，擦磨机构包括旋筒27，旋筒27套设在集液筒13的表面，旋筒27与集液筒13转动连接，旋筒27的表面通过螺纹转动连接有螺套28，螺套28的表面固定连接有两组衔接杆29，研磨盘24的表面套设有刷块25，刷块25的表面套设有打磨块26，衔接杆29固定在刷块25的顶端。
54.如图5所示，前侧衔接杆29的表面通过螺纹转动连接有第一螺杆30，第一螺杆30的底端与打磨块26的顶端转动连接，背侧衔接杆29的表面滑动连接有限位杆31，限位杆31的底端固定在打磨块26的顶端。
55.本实施例在具体实施时，用户通过旋转旋筒27，在螺纹的作用下，使得螺套28在旋筒27表面滑动，并通过衔接杆29带动刷块25下移，刷块25对工件接触后，用户再度旋转和移动转杆3时，刷块25对工件表面进行擦拭，通过旋转第一螺杆30，在螺纹和限位杆31对打磨块26移动轨迹的限定下，使得打磨块26在刷块25上移动，对工件接触，再度旋转和移动转杆3时，打磨块26对工件表面进行打磨。
56.实施例4
57.本实施例中，如图10所示，摆置台1的右侧设置有测距机构，测距机构包括测距台39，测距台39的左侧滑动连接有滑轨44，滑轨44的左侧与摆置台1的右侧固定连接，测距台39底端的前后两侧安装有滚轮40，测距台39顶端的背侧转动连接有转板41，转板41的前侧滑动连接有测距框42。
58.如图9所示，测距台39的左侧固定连接有与滑轨44相适配的滑块，滑块插设在滑轨44的内部。
59.本实施例在具体实施时，当工件被夹板32推动时，用户可推动测距台39，使得测距台39依靠滚轮40的旋转而移动，并在滑轨44上滑动，进而接取被夹板32推来的工件，而后用户可转动转板41或者调整测距框42在转板41内的活动范围，对测距框42所处方位进行调整，通过测距框42对工件表面的研点处进行定位，测量研点间距。
60.综上，用户通过注液口15为集液筒13中注入显影剂，然后拉动拉柄22，使得拉柄22带动拉绳21在滑轮20上滑动，并带动加压筒8在顶输管6表面移动，此过程中，密封球12将底输管14与加压筒8的连通处密封，并且第一弹簧11被挤压，活动挡板10在中输管9上滑动，使得入液口17从活动挡板10的密封中露出，随之加压筒8的不断移动，使得推板16与活动挡板
10接触，并推动活动挡板10重新将入液口17密封，用户可将拉柄22套设在固定杆23上固定；
61.将工件固定在摆置台1上后，用户松开拉柄22，再重新拉动几次加压筒8到达极限距离，当密封球12不再密封加压筒8与底输管14连通处时，在气压的作用下，使得底输管14将集液筒13中的显影剂吸入加压筒8，当密封球12重新密封时，显影剂再通过入液口17输送至中输管9，而后进入顶输管6，经由弹性输管7输送至连接盒18内，被海绵块19吸附，当第一弹簧11处于回弹状态时，研磨盘24对工件表面抵触，用户通过旋转转杆3，使得研磨盘24将海绵块19上的显影剂涂抹在工件表面，用户通过推动转杆3，使得限位套筒4在支撑滑架2上滑动，调整研磨盘24的位置，通过旋转螺栓5，使得螺栓5插入对应位置的固定孔43，对限位套筒4进行固定；
62.用户通过旋转旋筒27，在螺纹的作用下，使得螺套28在旋筒27表面滑动，并通过衔接杆29带动刷块25下移，刷块25对工件接触后，用户再度旋转和移动转杆3时，刷块25对工件表面进行擦拭，通过旋转第一螺杆30，在螺纹和限位杆31对打磨块26移动轨迹的限定下，使得打磨块26在刷块25上移动，对工件接触，再度旋转和移动转杆3时，打磨块26对工件表面进行打磨；
63.用户通过拉动齿板35，使得齿板35在转轴36表面移动，并带动第二弹簧37拉伸，当齿板35不再与固定齿轮38啮合后，用户可推动第二螺杆34，使得夹板32对工件进行夹持，然后松开齿板35，通过第二弹簧37回弹力使得齿板35重新与固定齿轮38啮合固定，用户可通过旋转第二螺杆34，使得夹板32在第二螺杆34表面移动，调整两组夹板32的间距，当需要移出研点完毕的工件时，用户可在前侧第二螺杆34不被固定时，顺时针推动第二螺杆34，使得夹板32将工件从研磨盘24下方移开；
64.当工件被夹板32推动时，用户可推动测距台39，使得测距台39依靠滚轮40的旋转而移动，并在滑轨44上滑动，进而接取被夹板32推来的工件，而后用户可转动转板41或者调整测距框42在转板41内的活动范围，对测距框42所处方位进行调整，通过测距框42对工件表面的研点处进行定位，测量研点间距。
65.以上实施例仅用以说明本发明的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不会使相应技术方案的本质脱离本发明各实施例技术方案的精神和范围。