一种氧化铝陶瓷平面磨床的制作方法

文档序号:33033238发布日期:2023-01-20 21:39阅读:85来源:国知局
一种氧化铝陶瓷平面磨床的制作方法

1.本发明涉及氧化铝陶瓷加工技术领域,更具体地涉及一种氧化铝陶瓷平面磨床。


背景技术:

2.氧化铝陶瓷是一种以氧化铝(al2o3)为主体的陶瓷材料,用于厚膜集成电路。氧化铝陶瓷有较好的传导性、机械强度和耐高温性,因为其优越的性能,在现代社会的应用已经越来越广泛,满足于日用和特殊性能的需要。
3.作为衬底的电子氧化铝陶瓷基片,其厚度和表面质量均是十分重要的指标,因而需要对氧化铝陶瓷进行机械加工以获得所需厚度及表面粗糙度。
4.现有氧化铝陶瓷基片采用平面磨床进行磨削加工,在平面磨床的加工过程中,需要动静压主轴带动砂轮高速转动对氧化铝陶瓷进行打磨,具体的,动静压主轴指的是既能在流体静力润滑状态下,又能在流体动力润滑状态下工作的主轴。也即同时在流体静力润滑与流体动力润滑下工作的主轴。
5.目前,用于氧化铝陶瓷平面磨床中的动静压主轴还存在以下问题;
6.1、动静压主轴在长时间使用后可能存在损坏的情况,而现有平面磨床所采用的动静压主轴多为固定式安装或卡扣安装,固定式安装不利于拆卸进行维护或更换,卡扣安装其连接稳定性较差;
7.2、动静压主轴在工作时,为了避免动力损失,提高生产效率,通过在安装动静压主轴的轴套内填充润滑油,而更换动静压主轴时避免不了的需要将动静压主轴和轴套分离。此时润滑油会泄露而出,造成润滑油的浪费和工作环境的污染。
8.因此本发明提出一种氧化铝陶瓷平面磨床解决上述背景技术中提出的问题。


技术实现要素:

9.为解决上述背景技术中提出的问题,本发明的目的在于提供一种氧化铝陶瓷平面磨床及其快速组装方法,其优点在于便于安装和拆卸,安装后结构稳定,拆卸时润滑油不会造成浪费或污染工作环境。
10.为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:
11.一种氧化铝陶瓷平面磨床,包括磨床机体,所述磨床机体内装设有驱动机构、安装机构、动静压主轴和轴套;
12.所述轴套的两端均通过螺栓连接有法兰封盖,两个所述法兰封盖的轴心处均装设有油封,所述动静压主轴的两端设置为台阶状,所述动静压主轴安装于两个油封之间,所述动静压主轴的一端安装有砂轮,所述动静压主轴的另一端通过螺栓和安装机构可拆卸安装,所述动静压主轴通过安装机构和驱动机构相连,所述驱动机构用于驱动动静压主轴旋转进行磨削工作,所述轴套内填充有作用于动静压主轴的润滑油。
13.作为本发明再进一步的方案:所述安装机构包括有装设于磨床机体内部的u形座,所述u形座的内侧通过轴承转动连接有安装轴,所述安装轴的一端开设有容纳槽,所述容纳
槽的内壁中间位置开设有连接槽,所述容纳槽的内壁表面开设有呈环形阵列分布的限位槽,所述u形座的上方开设有两个贯穿u形座的锁紧螺孔。
14.作为本发明再进一步的方案:所述动静压主轴的一端插接于容纳槽内,所述动静压主轴位于容纳槽内部的一端一体成型有和连接槽插接的连接块,所述动静压主轴的一端一体成型有和限位槽插接的限位条,所述连接块的表面开设有和锁紧螺孔适配的螺纹通孔,所述安装轴和动静压主轴的一端通过螺栓贯穿锁紧螺孔和限位条并锁紧后完成安装。
15.作为本发明再进一步的方案:所述驱动机构包括有装设于磨床机体内部的驱动电机,所述驱动电机的输出端上套接有转盘一,所述安装轴的外侧套接有转盘二,所述安装轴和容纳槽之间传动连接有皮带。
16.作为本发明再进一步的方案:所述轴套的上方固定连接有两个安装块,两个所述安装块之间通过轴承转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆两端的外侧设置有方向相反的外螺纹,所述法兰封盖的上方一体成型有移动块,所述移动块的内侧嵌设有和螺纹杆螺纹连接的螺母。
17.作为本发明再进一步的方案:所述轴套的表面固定安装有伺服电机,所述伺服电机的输出轴套接有齿轮一,所述螺纹杆的外侧套接有和齿轮一啮合的齿轮二。
18.作为本发明再进一步的方案:所述轴套的外侧装设有导向杆,所述法兰封盖的外侧一体成型有滑动连接于导向杆外侧的滑块。
19.作为本发明再进一步的方案:所述轴套的一侧固定连接有储油盒,所述储油盒的侧面和顶部分别安装有油泵一和油泵二,所述油泵一的输出端和输入端分别通过管道与储油盒和轴套连通,所述油泵二的输出端和输入端分别通过管道与轴套和储油盒连通。
20.本发明的有益效果:
21.1、通过将动静压主轴穿过轴套,且两个法兰封盖套设于动静压主轴的两端,将动静压主轴的一端插入容纳槽内侧,此时连接块对应插入连接槽的内部且使得螺纹通孔和锁紧螺孔位置对应,呈圆周阵列分分布限位条插入限位槽的内部,随后通过螺栓贯穿锁紧螺孔和限位条并锁紧,完成动静压主轴和安装轴之间的安装,这种安装方式提高动静压主轴和安装轴之间的安装稳定性,并且能够提高动静压主轴和安装轴连接结构的强度,使安装轴带动动静压主轴转动的稳定性得到提高。
22.2、在动静压主轴和安装轴安装完成后,将法兰封盖外侧的移动块和滑块分别对准螺纹杆和导向杆并插入,并按压法兰封盖,由于动静压主轴和轴套处于固定状态,启动伺服电机工作,伺服电机带动齿轮一旋转,由于齿轮二和齿轮一啮合,齿轮二可跟随齿轮一旋转并带动螺纹杆转动,由于螺纹杆和移动块内侧的螺母螺纹配合,可使得两个法兰封盖相互靠近且朝向轴套移动,在法兰封盖贴紧轴套的过程中将油封压入动静压主轴的外侧;需要拆卸动静压主轴时,伺服电机反转并带动螺纹杆反转,使法兰封盖带动油封和动静压主轴分离,完成动静压主轴和法兰封盖之间的拆卸,随后将用于连接安装轴和动静压主轴的螺栓取下即可完成动静压主轴的拆卸,便于安装和拆卸。
23.3、拆卸前关闭油泵二并开启油泵一,油泵一通过管道将轴套内的润滑油抽入储油盒内部进行存放,轴套内部的润滑油被抽出后可进行拆卸工作,避免了润滑油泄漏造成润滑油的浪费和工作环境的污染,法兰封盖安装后关闭油泵一并开启油泵二,油泵二通过管道将储油盒内的润滑油抽入轴套内,由于润滑油对动静压主轴进行润滑,有效避免了动力
损失,提升了生产效率。
附图说明
24.图1为本发明的结构示意图;
25.图2为本发明的轴套结构示意图;
26.图3为本发明的驱动机构和安装机构连接结构示意图;
27.图4为本发明的动静压主轴结构示意图;
28.图5为本发明的动静压主轴和轴套连接剖视结构示意图。
29.图中:1、磨床机体;2、驱动机构;21、驱动电机;22、转盘一;23、转盘二;24、皮带;3、安装机构;31、u形座;32、安装轴;33、容纳槽;34、连接槽;35、限位槽;36、锁紧螺孔;4、动静压主轴;41、连接块;42、限位条;43、螺纹通孔;5、轴套;6、法兰封盖;7、油封;8、砂轮;9、安装块;10、螺纹杆;11、移动块;12、伺服电机;13、齿轮一;14、齿轮二;15、导向杆;16、滑块;17、储油盒;18、油泵一;19、油泵二。
具体实施方式
30.以下结合附图对本发明作进一步详细说明
31.请参阅图1~5,一种氧化铝陶瓷平面磨床,包括磨床机体1,磨床机体1内装设有驱动机构2、安装机构3、动静压主轴4和轴套5;
32.轴套5的两端均通过螺栓连接有法兰封盖6,两个法兰封盖6的轴心处均装设有油封7,动静压主轴4的两端设置为台阶状,动静压主轴4安装于两个油封7之间,动静压主轴4的一端安装有砂轮8,动静压主轴4的另一端通过螺栓和安装机构3可拆卸安装,动静压主轴4通过安装机构3和驱动机构2相连,驱动机构2用于驱动动静压主轴4旋转进行磨削工作,轴套5内填充有作用于动静压主轴4的润滑油。
33.在图2、图3和图4中,安装机构3包括有装设于磨床机体1内部的u形座31,u形座31的内侧通过轴承转动连接有安装轴32,安装轴32的一端开设有容纳槽33,容纳槽33的内壁中间位置开设有连接槽34,容纳槽33的内壁表面开设有呈环形阵列分布的限位槽35,u形座31的上方开设有两个贯穿u形座31的锁紧螺孔36,动静压主轴4的一端插接于容纳槽33内,动静压主轴4位于容纳槽33内部的一端一体成型有和连接槽34插接的连接块41,动静压主轴4的一端一体成型有和限位槽35插接的限位条42,连接块41的表面开设有和锁紧螺孔36适配的螺纹通孔43,安装轴32和动静压主轴4的一端通过螺栓贯穿锁紧螺孔36和限位条42并锁紧后完成安装;
34.在使用时,将动静压主轴4的一端插入容纳槽33内侧,此时连接块41对应插入连接槽34的内部且使得螺纹通孔43和锁紧螺孔36位置对应,同时,呈圆周阵列分分布限位条42插入限位槽35的内部,随后通过螺栓贯穿锁紧螺孔36和限位条42并锁紧,完成动静压主轴4和安装轴32之间的安装,通过拆除螺栓即可将动静压主轴4和安装轴32分离,这种安装方式提高动静压主轴4和安装轴32之间的安装稳定性,并且能够提高动静压主轴4和安装轴32连接结构的强度,在安装轴32带动动静压主轴4转动的稳定性得到提高。
35.在图2和图3中,驱动机构2包括有装设于磨床机体1内部的驱动电机21,驱动电机21的输出端上套接有转盘一22,安装轴32的外侧套接有转盘二23,安装轴32和容纳槽33之
间传动连接有皮带24;
36.在使用时,通过开启驱动电机21工作,由驱动电机21带动转盘一22旋转,在皮带24的传动下,可带动转盘二23使得安装轴32旋转,为动静压主轴4带动砂轮8进行磨削提供动力。
37.在图2中,轴套5的上方固定连接有两个安装块9,两个安装块9之间通过轴承转动连接有螺纹杆10,螺纹杆10两端的外侧设置有方向相反的外螺纹,法兰封盖6的上方一体成型有移动块11,移动块11的内侧嵌设有和螺纹杆10螺纹连接的螺母;
38.在对动静压主轴4进行安装时,将动静压主轴4穿过轴套5,且两个法兰封盖6套设于动静压主轴4的两端,动静压主轴4和安装轴32安装完成后,将法兰封盖6上方的移动块11对准螺纹杆10,通过移动块11旋转使得移动块11内侧的螺母与其螺纹配合,可实现法兰封盖6的移动,将法兰封盖6安装于轴套5的两端。
39.在图2中,轴套5的表面固定安装有伺服电机12,伺服电机12的输出轴套接有齿轮一13,螺纹杆10的外侧套接有和齿轮一13啮合的齿轮二14;
40.在使用时,通过启动伺服电机12工作,伺服电机12带动齿轮一13旋转,由于齿轮二14和齿轮一13啮合,齿轮二14可跟随齿轮一13旋转并带动螺纹杆10转动,提供螺纹杆10旋转所需动力。
41.在图2中,轴套5的外侧装设有导向杆15,法兰封盖6的外侧一体成型有滑动连接于导向杆15外侧的滑块16;
42.在安装法兰封盖6时,通过滑块16滑动于导向杆15的外侧,对法兰封盖6进行限位,在螺纹杆10的作用下使法兰封盖6直线移动。
43.在图1和图2中,轴套5的一侧固定连接有储油盒17,储油盒17的侧面和顶部分别安装有油泵一18和油泵二19,油泵一18的输出端和输入端分别通过管道与储油盒17和轴套5连通,油泵二19的输出端和输入端分别通过管道与轴套5和储油盒17连通;
44.当需要进行拆卸时,关闭油泵二19并开启油泵一18,油泵一18通过管道将轴套5内的润滑油抽入储油盒17内部进行存放,轴套5内部的润滑油被抽出后可进行拆卸工作,拆卸后更换动静压主轴4并安装完毕后,关闭油泵一18并开启油泵二19,油泵二19通过管道将储油盒17内的润滑油抽入轴套5内,由于润滑油对动静压主轴4进行润滑,有效避免了动力损失,提升了生产效率。
45.本发明的有益效果:
46.通过将动静压主轴4穿过轴套5,且两个法兰封盖6套设于动静压主轴4的两端,将动静压主轴4的一端插入容纳槽33内侧,此时连接块41对应插入连接槽34的内部且使得螺纹通孔43和锁紧螺孔36位置对应,呈圆周阵列分分布限位条42插入限位槽35的内部,随后通过螺栓贯穿锁紧螺孔36和限位条42并锁紧,完成动静压主轴4和安装轴32之间的安装,这种安装方式提高动静压主轴4和安装轴32之间的安装稳定性,并且能够提高动静压主轴4和安装轴32连接结构的强度,使安装轴32带动动静压主轴4转动的稳定性得到提高;
47.在动静压主轴4和安装轴32安装完成后,将法兰封盖6外侧的移动块11和滑块16分别对准螺纹杆10和导向杆15并插入,并按压法兰封盖6,由于动静压主轴4和轴套5处于固定状态,启动伺服电机12工作,伺服电机12带动齿轮一13旋转,由于齿轮二14和齿轮一13啮合,齿轮二14可跟随齿轮一13旋转并带动螺纹杆10转动,由于螺纹杆10和移动块11内侧的
螺母螺纹配合,可使得两个法兰封盖6相互靠近且朝向轴套5移动,在法兰封盖6贴紧轴套5的过程中将油封7压入动静压主轴4的外侧利用了轴承拆卸的原理,安装完成后,可由驱动电机21工作带动转盘一22旋转,在皮带24的传动下,可带动转盘二23使得安装轴32旋转,使动静压主轴4带动砂轮8旋转进行磨削;
48.需要拆卸动静压主轴4时,关闭油泵二19并开启油泵一18,油泵一18通过管道将轴套5内的润滑油抽入储油盒17内部进行存放,伺服电机12反转并带动螺纹杆10反转,使法兰封盖6带动油封7和动静压主轴4分离,完成动静压主轴4和法兰封盖6之间的拆卸,随后将用于连接安装轴32和动静压主轴4的螺栓取下即可完成动静压主轴4的拆卸,拆卸前预先将润滑油从轴套5内抽出,避免了润滑油泄漏造成润滑油的浪费和工作环境的污染。
49.以上的,仅为本发明较佳的具体实施方式,但本发明的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术人员在本发明揭露的技术范围内,根据本发明的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本发明的保护范围之内。
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