一种切割的方法、装置及存储介质与流程

本申请涉及产品加工领域，特别涉及一种切割的方法、装置及存储介质。

背景技术：

1、划片机是晶圆加工时使用的重要切割设备，其中刀片是切割的执行元件。在划片机对待切割物体进行切割的过程中，需要通过刀片检测结构对刀片的状态情况进行实时检测。在现有技术中，当刀片检测结构检测到刀片的状态为破损状态等状态时，会立即驱动刀片停止切割，人工判断刀片破损情况，然后再确定是换刀还是重新切割。

2、但是，划片机的工作环境中会存在水雾等干扰因素，导致刀片检测结构输出的检测结果存在误检的情况，如果在误检测的情况下使得刀片停止切割则会影响切割效率，影响晶圆切割的质量，也会造成晶圆材料的浪费。因此，减少误检测对于切割的影响，以顺利完成切割过程成为亟待解决的技术问题。

技术实现思路

1、有鉴于此，本申请实施例提供了一种切割的方法、装置及存储介质，旨在满足减少误检测对于切割的影响，以顺利完成切割过程。

2、第一方面，本申请实施例提供了一种切割的方法，所述方法包括：

3、实时获取所述刀具的状态；

4、当所述刀具的状态为破损状态时，控制所述刀具继续对所述待切割物体进行切割，直至对所述待切割物体的当前一次的切割操作完毕；

5、再次获取所述刀具的状态，判断再次获取的结果是否为所述刀具的状态为破损状态，在判断结果为是的情况下，停止所述刀具对所述待切割物体进行下一次切割操作；否则控制所述刀具继续对所述待切割物体进行下一次切割操作。

6、可选的，所述刀具检测装置包括激光检测机构和光电转换机构，所述激光检测机构包括激光发射单元和激光接收单元，所述光电转换机构用于将所述激光接收单元接收到光信号转化为电信号，所述实时获取所述刀具的状态，具体包括：

7、接收来自所述刀具检测装置的刀具检测信号，所述刀具检测信号的电压值波形用于表示所述刀具的状态；

8、根据所述刀具检测信号的电压值波形确定所述刀具的状态，所述电压值波形取决于被所述激光接收单元接收到的光通量。

9、可选的，根据刀具检测信号的电压值波形与预设电压阈值确定所述刀具的状态，具体包括：

10、在所述刀具检测信号的波峰超出第一电压阈值、且波峰呈周期性出现的情况下，确定所述刀具的状态为破损状态；

11、在所述刀具检测信号的电压值持续超出第二电压阈值的情况，确定所述刀具的状态为崩刀状态；

12、其中，所述第二电压阈值大于或等于所述第一电压阈值。

13、可选的，所述方法还包括：当所述刀具的状态为崩刀状态时，停止对所述待切割物体切割。

14、可选的，若再次检测的结果为所述刀具的状态为破损状态后，所述方法还包括：

15、进行告警操作、和/或在所述刀具的检测装置的控制端显示引导界面，所述引导界面包括可选择的操作方式；

16、其中，所述告警操作包括以下中的至少一种：语音播报、响铃、在界面显示报警信息、闪灯。

17、可选的，所述可选择的操作方式，包括：

18、对当前的切割道进行重新切割、暂停切割和显示刀片信息。

19、可选的，所述方法还包括：

20、执行所述可选择的操作方式。

21、第二方面，本申请实施例提供了一种切割的装置，所述装置包括：

22、刀具、刀具检测装置及控制装置；

23、所述刀具，用于对待切割物体进行切割操作；

24、所述刀具检测装置，用于实时检测所述刀具的状态，所述刀具检测装置包括激光检测机构和光电转换机构，所述激光检测机构包括激光发射单元和激光接收单元，所述光电转换机构用于将所述激光接收单元接收到光信号转化为电信号；

25、所述控制装置，用于实时获取所述刀具检测装置实时检测到的所述刀具的状态，当所述刀具的状态为破损状态时，控制所述刀具继续对所述待切割物体进行切割，直至对所述待切割物体的当前一次的切割操作完毕；以及，再次获取所述刀具的状态，判断再次获取的结果是否为所述刀具的状态为破损状态，在判断结果为是的情况下，停止所述刀具对所述待切割物体进行下一次切割操作；否则控制所述刀具继续对所述待切割物体进行下一次切割操作。

26、可选的，所述控制装置还包括检测信号接收模块和刀具状态确定模块，具体包括：

27、检测信号接收模块，用于接收来自所述刀具检测装置的刀具检测信号，其中，所述刀具检测信号的电压值波形用于表示所述刀具的状态；

28、刀具状态确定模块，用于根据所述刀具检测信号的电压值波形确定所述刀具的状态，所述电压值波形取决于被所述激光接收单元接收到的光通量。

29、可选的，所述刀具检测装置，具体用于

30、在所述刀具检测信号的波峰超出第一电压阈值、且波峰呈周期性出现的情况下，确定所述刀具的状态为破损状态；

31、在所述刀具检测信号的电压值持续超出第二电压阈值的情况，确定所述刀具的状态为崩刀状态；

32、其中，所述第二电压阈值大于或等于所述第一电压阈值。

33、第三方面，本申请实施例提供了一种计算机存储介质，所述计算机存储介质中存储有代码，当所述代码被运行时，运行所述代码的设备实现前述第一方面任一项所述方法。

34、本申请提供了一种切割的方法、装置及存储介质，所述方法应用于需要刀具对于待切割物体进行多次切割的场景下，在执行所述方法时，首先实时检测获取所述刀具的状态，当获取到所述刀具的状态为破损状态时，控制所述刀具继续对所述待切割物体进行切割，直至对所述待切割物体的当前一次的切割操作完毕。然后再次对所述刀具进行检测，若再次检测的结果为所述刀具的状态为破损状态，则使所述刀具不再进行下一次切割操作。如此，通过对于刀具的实时检测，在切割过程中出现显示破损状态时，刀具不停止切割直至待切割物体切割完成，再次对刀具进行检测，若仍显示状态为破损状态，则发出提示消息由用户进行操作，降低了在刀具切割待切割物体的过程中，出现误检测对于切割过程的影响，避免影响晶圆切割的质量及导致晶圆的浪费，能够顺利完成切割过程。

技术特征：

1.一种切割的方法，其特征在于，所述刀具对待切割物体进行多次切割操作，所述方法包括：

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述刀具检测装置包括激光检测机构和光电转换机构，所述激光检测机构包括激光发射单元和激光接收单元，所述光电转换机构用于将所述激光接收单元接收到光信号转化为电信号，所述实时获取所述刀具的状态，具体包括：

3.根据权利要求2所述的方法，其特征在于，根据刀具检测信号的电压值波形与预设电压阈值确定所述刀具的状态，具体包括：

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：当所述刀具的状态为崩刀状态时，停止对所述待切割物体切割。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，若再次检测的结果为所述刀具的状态为破损状态后，所述方法还包括：

6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，所述可选择的操作方式，包括：

7.根据权利要求6所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

8.一种切割的装置，其特征在于，所述装置包括：刀具、刀具检测装置及控制装置；

9.根据权利要求8所述的装置，其特征在于，所述控制装置还包括检测信号接收模块和刀具状态确定模块，具体包括：

10.根据权利要求9所述的装置，其特征在于，所述刀具检测装置，具体用于：

11.一种计算机可读存储介质，其特征在于，所述计算机可读存储介质上存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现如权利要求1至7任一项所述的切割的方法。

技术总结
本申请公开了一种切割的方法、装置及存储介质。该方法应用于刀具对待切割物体进行多次切割操作的场景。首先切割过程中实时获取所述刀具的状态。然后当所述刀具的状态为破损状态时，控制所述刀具继续对所述待切割物体进行切割，直至对所述待切割物体的当前一次的切割操作完毕。最后再次获取所述刀具的状态，判断再次获取的结果是否为所述刀具的状态为破损状态，在判断结果为是的情况下，停止所述刀具对所述待切割物体进行下一次切割操作；否则控制所述刀具继续对所述待切割物体进行下一次切割操作。在本申请中还公开了一种切割的装置。在本申请实施例中，实现了减少对于刀具状态的误检测对于切割的影响，以顺利完成切割过程。

技术研发人员：丛亮平
受保护的技术使用者：苏州镁伽科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13