一种晶圆切割面用的背面抛光装置的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆技术领域，具体为一种晶圆切割面用的背面抛光装置。


背景技术：

2.晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆。随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点。同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，其中晶圆在生产的过程中需要对其背面进行抛光。
3.目前，传统的抛光方式中，逐个晶圆进行颊齿固定，然后进行抛光，降低其工作效率，人工劳动强度大，花费大量时间，不能实现批量化抛光，给晶圆的生产带来一定的困扰。


技术实现要素：

4.针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆切割面用的背面抛光装置，具备便于批量抛光等优点，解决了一般晶圆切割面用的背面抛光装置不便于批量抛光的问题。
5.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台，所述加工台的顶端固定连接有放置块，所述放置块的顶端开设有放置槽，所述放置块的顶端开设有拿取槽，所述加工台的顶端固定连接有支撑板，所述支撑板的一侧固定连接有防护罩，所述防护罩的内底壁固定连接有第一电机，所述第一电机的输出端通过联轴器固定连接有第一旋转轴，所述第一旋转轴的顶端固定连接有第一锥形齿轮，所述第一锥形齿轮的一侧活动连接有第二锥形齿轮，所述第二锥形齿轮的一侧固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的一端固定连接有轴承，所述螺纹杆的外壁活动连接有连接块，所述连接块的顶端固定连接有连接杆，所述连接杆的顶端固定连接有限位环，所述限位环的内部活动连接有限位杆。
6.所述连接块的底端固定连接有液压推杆，所述液压推杆的输出端固定连接有防护箱，所述防护箱的内顶壁固定连接有第二电机，所述第二电机的输出端通过联轴器固定连接有第二旋转轴，所述第二旋转轴的底端固定连接有抛光块，所述支撑板的一侧固定连接有集尘箱，所述集尘箱的一侧固定连接有抽风机，所述集尘箱的一侧固定连接有吸尘罩，所述抽风机的外壁活动连接有限位罩，所述限位罩的内壁固定连接有防滑垫，所述限位罩的内部固定连接有防尘网。
7.进一步，所述放置块的数量为三个，且三个放置块等距离设置在加工台的顶端。
8.进一步，所述支撑板的数量为两个，且两个支撑板以限位杆的中垂线为对称轴对称设置。
9.进一步，所述支撑板的一侧开设有轴承槽，且轴承槽的形状大小与轴承的形状大小均相互匹配。
10.进一步，所述螺纹杆贯穿连接块的内部并延伸至连接块的两侧，且螺纹杆与连接块活动连接。
11.进一步，所述限位环的形状大小与限位杆的形状大小均相互匹配，且连接块通过限位环与限位杆活动连接。
12.进一步，所述第二旋转轴贯穿防护箱并延伸至防护箱的底端，且第二旋转轴与防护箱活动连接。
13.与现有技术相比，本技术的技术方案具备以下有益效果：
14.1、该晶圆切割面用的背面抛光装置，通过设置有放置块、第一电机、第一锥形齿轮、第二锥形齿轮、螺纹杆、连接块、液压推杆和抛光块，以实现该抛光装置具有批量抛光的目的，将晶圆分别放置在放置块顶端的放置槽内部，启动第一电机，带动第一旋转轴和第一锥形齿轮的转动，通过第一锥形齿轮和第二锥形齿轮的相互啮合，带动螺纹杆的旋转，继而通过螺纹杆与连接块的相互啮合，带动抛光块水平移动至放置槽顶端，启动液压推杆和第二电机，带动抛光块的位置下降和旋转，达到对晶圆背面的抛光，同时改善晶圆边缘的光滑度，并且实现对晶圆背面批量化抛光，省时省力，减少劳动者的劳动强度，并且提高晶圆的生产效率，从而使人们使用起来更加的便捷。
15.2、该晶圆切割面用的背面抛光装置，通过设置有集尘箱、抽风机、吸尘罩、限位罩、防滑垫和防尘网，以实现该抛光装置具有更好防护效果的目的，将限位罩套进抽风机口外壁，在晶圆抛光的过程中，启动抽风机，将灰尘等通过吸尘罩导入集尘箱内部，且在抽风机口安装有防尘网，以防不明过大物体进入抽风机内，使得抽风机损坏，减少不必要的损坏，同时避免操作人员吸入过多灰尘，导致身体不适，并且保护空气环境，从而使人们使用起来更加的省心。
附图说明
16.图1为本实用新型结构示意图；
17.图2为本实用新型正视结构示意图；
18.图3为本实用新型限位罩与防滑垫连接结构立体图；
19.图4为本实用新型图1中a处放大结构示意图；
20.图5为本实用新型图1中b处放大结构示意图。
21.图中：1、加工台；2、放置块；3、放置槽；4、拿取槽；5、支撑板；6、防护罩；7、第一电机；8、第一旋转轴；9、第一锥形齿轮；10、第二锥形齿轮；11、螺纹杆；12、轴承；13、连接块；14、连接杆；15、限位环；16、限位杆；17、液压推杆；18、防护箱；19、第二电机；20、第二旋转轴；21、抛光块；22、集尘箱；23、抽风机；24、吸尘罩；25、限位罩；26、防滑垫；27、防尘网。
具体实施方式
22.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
23.请参阅图1-5，本实施例中的一种晶圆切割面用的背面抛光装置，包括加工台1，加工台1的顶端固定连接有放置块2，放置块2的顶端开设有放置槽3，放置块2的顶端开设有拿取槽4，加工台1的顶端固定连接有支撑板5，支撑板5的一侧固定连接有防护罩6，防护罩6的内底壁固定连接有第一电机7，第一电机7的输出端通过联轴器固定连接有第一旋转轴8，第一旋转轴8的顶端固定连接有第一锥形齿轮9，第一锥形齿轮9的一侧活动连接有第二锥形齿轮10，第二锥形齿轮10的一侧固定连接有螺纹杆11，螺纹杆11的一端固定连接有轴承12，螺纹杆11的外壁活动连接有连接块13，连接块13的顶端固定连接有连接杆14，连接杆14的顶端固定连接有限位环15，限位环15的内部活动连接有限位杆16。
24.连接块13的底端固定连接有液压推杆17，液压推杆17的输出端固定连接有防护箱18，防护箱18的内顶壁固定连接有第二电机19，第二电机19的输出端通过联轴器固定连接有第二旋转轴20，第二旋转轴20的底端固定连接有抛光块21，支撑板5的一侧固定连接有集尘箱22，集尘箱22的一侧固定连接有抽风机23，集尘箱22的一侧固定连接有吸尘罩24，抽风机23的外壁活动连接有限位罩25，限位罩25的内壁固定连接有防滑垫26，限位罩25的内部固定连接有防尘网27。
25.请参阅图1-2，本实施例中的，放置块2的数量为三个，且三个放置块2等距离设置在加工台1的顶端。
26.需要说明的是，可根据需求放置多个晶圆进行抛光。
27.请参阅图1-2，本实施例中的，支撑板5的数量为两个，且两个支撑板5以限位杆16的中垂线为对称轴对称设置。
28.需要说明的是，提高螺纹杆11和限位杆16的稳定性。
29.请参阅图1，本实施例中的，支撑板5的一侧开设有轴承槽，且轴承槽的形状大小与轴承12的形状大小均相互匹配。
30.需要说明的是，提高螺纹杆11转动的稳定性和顺畅性。
31.请参阅图1，本实施例中的，螺纹杆11贯穿连接块13的内部并延伸至连接块13的两侧，且螺纹杆11与连接块13活动连接。
32.需要说明的是，便于带动抛光块21水平移动。
33.请参阅图1，本实施例中的，限位环15的形状大小与限位杆16的形状大小均相互匹配，且连接块13通过限位环15与限位杆16活动连接。
34.需要说明的是，防止抛光块21在移动的过程中随着螺纹杆11的转动而转动。
35.请参阅图1，本实施例中的，第二旋转轴20贯穿防护箱18并延伸至防护箱18的底端，且第二旋转轴20与防护箱18活动连接。
36.需要说明的是，便于带动抛光块21的转动。
37.可以理解的是，该晶圆切割面用的背面抛光装置，将晶圆分别放置在放置块2顶端的放置槽3内部，启动第一电机7，带动第一旋转轴8和第一锥形齿轮9的转动，通过第一锥形齿轮9和第二锥形齿轮10的相互啮合，带动螺纹杆11的旋转，继而通过螺纹杆11与连接块13的相互啮合，带动抛光块21水平移动至放置槽3顶端，启动液压推杆17和第二电机19，带动抛光块21的位置下降和旋转，达到对晶圆背面的抛光，同时改善晶圆边缘的光滑度，并且实现对晶圆背面批量化抛光，省时省力，减少劳动者的劳动强度，并且提高晶圆的生产效率，
从而使人们使用起来更加的便捷。
38.上述实施例的工作原理为：
39.工作时，先将限位罩25套进抽风机23口外壁，将晶圆分别放置在放置块2顶端的放置槽3内部，启动第一电机7，带动第一旋转轴8和第一锥形齿轮9的转动，通过第一锥形齿轮9和第二锥形齿轮10的相互啮合，带动螺纹杆11的旋转，继而通过螺纹杆11与连接块13的相互啮合，带动抛光块21水平移动至放置槽3顶端，启动液压推杆17和第二电机19，带动抛光块21的位置下降和旋转，达到对晶圆背面的批量抛光，在晶圆抛光的过程中，启动抽风机23，将灰尘等通过吸尘罩24导入集尘箱22内部，同时限位罩25内部的防尘网27阻挡灰尘进入抽风机23内部，抛光完成后，通过拿取槽4，将晶圆从放置槽3内部取出，定期对集尘箱22内部的灰尘等进行集中处理，从而工作完成。
40.需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下，由语句“包括一个
……”
限定的要素，并不排除在包括要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素。
41.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。