一种ALD镀膜设备及其物料移动装置的制作方法

一种ald镀膜设备及其物料移动装置
技术领域
1.本实用新型涉及原子层沉积设备技术领域，具体而言，涉及一种ald镀膜设备及其物料移动装置。


背景技术：

2.原子层沉积(atomic layer deposition)是一种可以将物质以单原子膜形式一层一层的镀在基底表面的方法。在原子层沉积过程中，新一层原子膜的化学反应是直接与之前一层相关联的，这种方式使每次反应只沉积一层原子。并且，沉积层具有极均匀的厚度和优异的一致性。
3.在先技术中的镀膜设备，对于基板的取放大多采用人工操作的方式，操作麻烦，而且存才操作失误的风险。部分采用机械手进行基板的取放作业，但是结构过于复杂，成本较高且容易损坏。
4.有鉴于此，申请人在研究了现有的技术后特提出本技术。


技术实现要素：

5.本实用新型提供了一种ald镀膜设备及其物料移动装置，旨在改善上述技术问题。
6.第一方面、
7.为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种ald镀膜设备的物料移动装置，其包含第一移动组件、驱动组件和第一棘爪组件。
8.第一移动组件用以配置于ald镀膜设备。第一移动组件构造为：能够沿着预定轨迹移动。驱动组件接合于第一移动组件。驱动组件构造为：能够驱动第一移动组件沿着预定轨迹正向移动或反向移动。第一棘爪组件配置于第一移动组件，且构造为：当第一移动组件反向移动时能够抵接于外部物体并进行避让，当第一移动组件正向移动时能够抵接于外部物体并带动外部物体正向移动。
9.在一个可选的实施例中，物料移动装置还包含配置于第一移动组件的第二棘爪组件。第一棘爪组件和第二棘爪组件分别配置于第一移动组件的两端。
10.第二棘爪组件构造为：当第一移动组件反向移动时能够受外部物体挤压而避让，当第一移动组件正向移动时能够抵接于外部物体并带动外部物体正向移动。
11.在一个可选的实施例中，第一棘爪组件和第二棘爪组件均包括可转动的配置于第一移动组件的推板，以及接合于推板和第一移动组件之间弹性件。推板设置有用以抵接于第一移动组件的抵接部。抵接部用以在第一移动组件正向移动时限位推板。弹性件用以在推板未抵接于外部物体时复位推板。
12.在一个可选的实施例中，物料移动装置还包含第二移动组件。第二移动组件接合于驱动组件，且用以配置于ald镀膜设备。第二移动组件构造为：能够受驱动组件的驱动以沿着预定轨迹正向移动或反向移动。
13.第一移动组件可滑动的配置于第二移动组件。第一移动组件构造为：能够在驱动
组件驱动第二移动组件移动时，沿着第二移动组件的移动方向进行移动。
14.在一个可选的实施例中，物料移动装置还包含底座组件。底座组件用以配置于ald镀膜设备。第二移动组件可滑动的配置于底座组件。第一移动组件可滑动的配置于第二移动组件。
15.在一个可选的实施例中，底座组件包括第一齿轮和第一齿条。第二移动组件包括接合于第一齿轮的第二齿条，以及接合于第一齿条的第二齿轮。第一移动组件包括接合于第二齿轮的第三齿条。
16.在一个可选的实施例中，驱动组件包括驱动电机，以及传动连接于驱动电机和第一齿轮的磁流体真空密封传动装置。
17.驱动组件还包括传动连接于第一齿轮和磁流体真空密封传动装置的至少两个传动齿轮。第一齿轮和至少两个传动齿轮沿着竖直方向依次排布。
18.在一个可选的实施例中，物料移动装置还包括配置于用以配置于ald镀膜设备的导轨组件，以及能够沿着导轨组件移动的载盘组件。载盘组件的顶部设置有用以放置基板的元件放置槽。载盘组件的底部设置有用以供第一棘爪组件嵌入的驱动槽。
19.在一个可选的实施例中，载盘组件设置有能够在导轨组件上滑动的载盘滚轮。导轨组件间隔设置有用以限位载盘滚轮的限位槽。
20.第二方面、
21.本实用新型提供一种ald镀膜设备,其包含第一方面任意一段所说的物料移动装置。
22.通过采用上述技术方案，本实用新型可以取得以下技术效果：
23.通过驱动组件驱动第一移动组件左右移动，通过第一棘爪组件使得第一移动组件在移动的时候能够始终带动载盘组件沿着预定方向活动，从而实现载盘组件带着待镀膜的产品沿着预定方向活动，大大简化了自动取放物料所需要的结构，避免了人工作业的不规范性。
附图说明
24.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案，下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍，应当理解，以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
25.图1是物料移动装置安装在ald镀膜设备中的轴测图。
26.图2是物料移动装置的第一视角的爆炸图。
27.图3是物料移动装置的第二视角的爆炸图(隐藏部分零部件)。
28.图4是第一棘爪组件、第二棘爪组件和第一底板的爆炸图。
29.图5是载盘组件的轴测图。
30.图中标记：1-第一棘爪组件、2-导轨组件、3-限位槽、4-第一移动组件、5-磁流体真空密封传动装置、6-驱动电机、7-第一底板、8-第一滚轮、9-滚轮安装座、10-第二底板、11-底座滚轮、12-底座支撑板、13-第一齿轮、14
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第一齿条、15-第三齿条、16-第二齿轮、17-第二齿条、18-推板、19-抵接部、 20-弹性件、21-载盘滚轮、22-驱动槽。
具体实施方式
31.为使本实用新型实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施方式中的附图，对本实用新型实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本实用新型一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围，而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本实用新型保护的范围。
32.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
33.此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
34.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
35.在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
36.下面结合附图与具体实施方式对本实用新型作进一步详细描述：
37.实施例一、
38.由图1至图5所示，本实用新型实施例提供了一种ald镀膜设备的物料移动装置，其包含第一移动组件4、驱动组件和第一棘爪组件1。
39.第一移动组件4用以配置于ald镀膜设备。第一移动组件4构造为：能够沿着预定轨迹移动。驱动组件接合于第一移动组件4。驱动组件构造为：能够驱动第一移动组件4沿着预定轨迹正向移动或反向移动。第一棘爪组件 1配置于第一移动组件4，且构造为：当第一移动组件4反向移动时能够抵接于外部物体并进行避让，当第一移动组件4正向移动时能够抵接于外部物体并带动外部物体正向移动。
40.具体的，通过驱动组件驱动第一移动组件4左右移动，通过第一棘爪组件1使得第
一移动组件4在移动的时候能够始终带动载盘组件沿着预定方向活动，从而实现载盘组件带着待镀膜的产品沿着预定方向活动，大大简化了自动取放物料所需要的结构，避免了人工作业的不规范性。
41.如图5所示，在上述实施例的基础上，本实用新型一可选的实施例中，物料移动装置还包含第二移动组件。第二移动组件接合于驱动组件，且用以配置于ald镀膜设备。第二移动组件构造为：能够受驱动组件的驱动以沿着预定轨迹正向移动或反向移动。第一移动组件4可滑动的配置于第二移动组件。第一移动组件4构造为：能够在驱动组件驱动第二移动组件移动时，沿着第二移动组件的移动方向进行移动。物料移动装置还包含底座组件。底座组件用以配置于ald镀膜设备。第二移动组件可滑动的配置于底座组件。第一移动组件4可滑动的配置于第二移动组件。具体的，底座组件包括第一齿轮13和第一齿条14。第二移动组件包括接合于第一齿轮13的第二齿条17，以及接合于第一齿条14的第二齿轮16。第一移动组件4包括接合于第二齿轮16的第三齿条15。驱动组件包括驱动电机6，以及传动连接于驱动电机6 和第一齿轮13的磁流体真空密封传动装置5。驱动组件还包括传动连接于第一齿轮13和磁流体真空密封传动装置5的至少两个传动齿轮。第一齿轮13 和至少两个传动齿轮沿着竖直方向依次排布。
42.在本实施例中，底座组件包括用以安装在ald镀膜设备的底座支撑板12，以及安装在底座支撑板12上的多个底座滚轮11。第二移动组件包括第二底板10，以及安装在第二底板10上的两侧设置有导槽的滚轮安装座9。第一移动组件4包括第一底板7，以及安装在第一底板7的第一滚轮8。第一滚轮8 和底座滚轮11能够分别嵌入滚轮安装座9的两侧，从而让第一移动组件4可移动的安装在第二移动组件上，以及让第二移动组件可移动的安装在底座组件上。
43.底座组件还包括可传动安装在底座支撑板12的第一齿轮13，第二移动组件包括安装在第二底板10的第二齿条17；其中，第二齿条17接合于第一齿轮13。驱动组件通过驱动第一齿轮13转动，驱动第二移动组件沿着预定方向移动。底座组件还包括配置于底座支撑板12的第一齿条14；第二移动组件还包括可转动设置的第二齿轮16；第一移动组件4还包括配置于第一底板7的第三齿条15；其中，第二齿轮16分别传动连接于第一齿条14和第三齿条15。在第二移动组件移动的时候，第二齿轮16相对第一齿条14发生位移从而进行转动，在转动的同时驱动第三齿条15带动第一移动组件4移动。
44.通过第二移动组件和第一移动组件4实现两级的移动，大大增加了物料移动装置向外延伸时的长度。即在自身长度较短的结构下能够实现在预定方向上较长的移动距离，且通过齿轮和齿条结构即可实现，结构简单，具有很好的实际意义。
45.如图5所示，在上述实施例的基础上，本实用新型一可选的实施例中，物料移动装置还包含配置于第一移动组件4的第二棘爪组件。第一棘爪组件 1和第二棘爪组件分别配置于第一移动组件4的两端。第二棘爪组件构造为：当第一移动组件4反向移动时能够受外部物体挤压而避让，当第一移动组件 4正向移动时能够抵接于外部物体并带动外部物体正向移动。优选的，第一棘爪组件1和第二棘爪组件均包括可转动的配置于第一移动组件4的推板18，以及接合于推板18和第一移动组件4之间弹性件20。推板18设置有用以抵接于第一移动组件4的抵接部19。抵接部19用以在第一移动组件4正向移动时限位推板18。弹性件20用以在推板18未抵接于外部物体时复位推板18。
46.在本实施例中，推板18可转动的设置在第一底板7上，并且构造为只能朝向一个方向转动，从而在第一移动组件4向右移动(相对于图4而言)时，抵接在载盘组件上，从而进行旋转以实现必然会，而在向左移动时，能够勾住载盘组件上从而带动载盘组件移动。结构简单，不易损坏。在其它实施例中可以采用类似门锁的设置有导向面的弹簧销结构来实现避让和驱动，本实用新型对第一棘爪组件1和第二棘爪组件的具体结构不做限定。
47.通过第一棘爪组件1和第二棘爪组件，能够将载盘组件从物料移动装置的一侧移动到物料移动组件的上方，然后在移动到物料移动组件的另一侧，从而实现载盘组件的移动，结构简单，具有很好的实际意义。
48.如图1和图5所示，在本实施例中，物料移动装置还包括配置于用以配置于ald镀膜设备的导轨组件2，以及能够沿着导轨组件2移动的载盘组件。载盘组件的顶部设置有用以放置基板的元件放置槽。载盘组件的底部设置有用以供第一棘爪组件1嵌入的驱动槽22。优选的，载盘组件设置有能够在导轨组件2上滑动的载盘滚轮21。导轨组件2间隔设置有用以限位载盘滚轮21 的限位槽3。
49.具体的，采用滚轮的行驶能够大大降低载盘组件在移动过程中的摩擦力，大大降低了物料移动装置所需要的动力。在其它实施例中，可以采用滑槽的形式，配合活动。本实用新型对此不作限定。可以理解的滚轮的摩擦力较小，为了避免载盘组件在移动装置上乱滑动，因此在导轨上设置有较浅的限位槽 3，用以在载盘组件移动到预定位置时避免载盘组件乱滑动。
50.实施例二、
51.如图1所示，本实用新型实施例提供一种ald镀膜设备,其包含实施例一任意一段所说的物料移动装置。
52.本实用新型的ald镀膜设备通过驱动组件驱动第一移动组件4左右移动，通过第一棘爪组件1使得第一移动组件4在移动的时候能够始终带动载盘组件沿着预定方向活动，从而实现载盘组件带着待镀膜的产品沿着预定方向活动，大大简化了自动取放物料所需要的结构，避免了人工作业的不规范性。
53.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已，并不用于限制本实用新型，对于本领域的技术人员来说，本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。