一种石墨舟片及包含该石墨舟片的石墨舟的制作方法

1.本实用新型涉及太阳能电池片生产技术领域，具体涉及一种石墨舟片及包含该石墨舟片的石墨舟。


背景技术：

2.石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积管式炉内，对经过制绒及扩散等工艺处理后的多晶或单晶硅片的表面采用等离子体增强型化学气相沉积工艺进行薄膜沉积的承载工具。现有的石墨舟包括多片石墨舟片、多个石墨垫块、多个石墨舟脚、多根陶瓷棒、多根石墨杆、陶瓷套以及石墨螺母；由于相邻的两石墨舟片中，其中一片连接电源负极，另一片连接电源正极，因此相邻的两石墨舟片通过陶瓷棒和陶瓷套连接在一起，防止相邻的两石墨舟片导通。上述石墨舟中，沉积的薄膜是不导电的，而当需要沉积的薄膜是导电材料后，由于沉积的导电薄膜会附着在陶瓷棒和陶瓷套表面，导致相邻的两石墨舟片导通，不符合等离子体增强型化学气相沉积工艺的要求，因此现有的石墨舟片存在很大的缺陷，亟需改进。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种石墨舟片，该石墨舟片不仅能够适用于不导电的薄膜沉积，而且能够适用于导电的薄膜沉积。
4.本实用新型的另一个目的在于提供一种包含上述石墨舟片的石墨舟。
5.本实用新型解决上述技术问题的技术方案是：
6.一种石墨舟片，包括舟片本体以及用于连接电极的电极连接板，其中，所述舟片本体包括用于承载硅片的承载部以及用于与其它石墨舟片连接的连接部；所述连接部上设有用于容纳连接杆的连接孔，其特征在于，所述连接部上设有用于避开隔套的避空部，在石墨舟装配完成后，所述避空部与相反电极的石墨舟片上的连接孔位置相对应。
7.上述石墨舟片的工作原理是：
8.在装配石墨舟时，将连接杆穿过石墨舟片的连接孔，同时依次将正极石墨舟片与负极连接片交错排列，从而将多片石墨舟片连接起来；其中，在相同极性的石墨舟片之间设置了隔套，该隔套套设在连接杆上，并且一端抵紧其中一片石墨舟片，另一端抵紧另一片石墨舟片，从而将相同极性的石墨舟片按照隔套长度的间隔固定连接起来。在石墨舟中，正极石墨舟片与负极石墨舟片交错排列，这样隔套将相同极性的石墨舟片连接起来后，隔套会横跨相反极性的石墨舟片，由于石墨舟片的连接部上设有避空部，并且该避空部的位置与相反极性的石墨舟片上的连接孔位置向对应，因此在石墨舟装配完成后，隔套并不会与相反极性的石墨舟片相连。在薄膜沉积时，对于导电材料的沉积薄膜，在沉积镀膜的过程中，导电的薄膜同样会沉积在隔套上导致隔套导电，避空部的设置使得相反电极的石墨舟片避免与隔套接触，保证相邻的两片石墨舟片极性相反；对于不导电材料的沉积薄膜，在沉积过程中，薄膜的沉积不会导致隔套导电，避空部的设置与否均能够保证相邻的两片石墨舟片
极性相反，由此可见，在石墨舟片上设置避空部，对沉积导电材料的薄膜及非导电材料的薄膜均能适用，极大地提高了石墨舟的适用范围，提高石墨舟的使用率，降低生产成本。
9.本实用新型的一个优选方案，所述电极连接板有两块，两块所述电极连接板分别设置在舟片本体的两侧。
10.本实用新型的一个优选方案，所述连接部包括位于舟片本体上方的上连接部以及位于舟片本体下方的下连接部；其中，所述上连接部上设有多个连接孔及多个避空部；所述下连接部上亦设有多个连接孔及多个避空部。
11.本实用新型的一个优选方案，沿着舟片本体的长度方向，多个所述连接孔均匀排布在所述连接部上；多个所述避空部均匀排布在所述连接部上，且多个所述连接孔与避空部交错排列。
12.本实用新型的一个优选方案，所述避空部为破边孔。
13.本实用新型的一个优选方案，所述承载部包括多个承载位，多个所述承载位上设有用于安装石墨卡点的卡位孔。
14.优选地，所述承载位设置在舟片本体的中部位置，位于上连接部与下连接部之间；多个所述承载位沿着舟片本体的长度方向均匀排列。
15.本实用新型的一个优选方案，所述承载位上还设有矩形孔，所述卡位孔设置在所述矩形孔的周围。
16.本实用新型的一个优选方案，在每一个承载位上设置三个卡位孔，三个卡位孔中，包括设置在位于矩形孔下方的支撑卡位孔以及设置在矩形孔两侧的侧边卡位孔。
17.本实用新型的一个优选方案，所述石墨舟片包括用于与正电极连接的正极石墨舟片以及用于与负电极连接的负极石墨舟片；在正极石墨舟片中，所述电极连接板为正电极连接板，两块所述正电极连接板分别设置在舟片本体的两侧，且位于舟片本体的上部；在负极石墨舟片中，所述电极连接板为负电极连接板，两块所述负电极连接板设置在舟片本体的两侧，且位于舟片本体的下部。
18.一种石墨舟，包括舟片组件以及用于将舟片组件连接起来的连接结构；所述舟片组件包括所述石墨舟片，所述石墨舟片包括若干片正极石墨舟片以及若干片负极石墨舟片，所述正极石墨舟片与负极石墨舟片交错排列；
19.所述连接结构包括石墨螺母、隔套以及陶瓷连接杆，所述陶瓷连接杆穿过相同极性的石墨舟片上的连接孔，所述隔套套设在所述陶瓷连接杆上且位于相邻的相同极性的石墨舟片之间，且该隔套位于相反极性的石墨舟片上的避空部处；所述石墨螺母锁紧在陶瓷连接杆的两端，将舟片组件连接固定。
20.本实用新型与现有技术相比具有以下的有益效果：
21.1、本实用新型的石墨舟片，通过在舟片本体上设置避空部，从而能够避开相反极性的石墨舟片之间的隔套，在沉积镀膜时，无论镀膜材料是导电的还是不导电的，石墨舟片能够均能够避免与相反极性的石墨舟片接触，从而能够保证相邻的石墨舟片之间极性相反，符合石墨舟沉积镀膜的原理要求。
22.2、本实用新型的石墨舟，在相同极性之间的石墨舟片之间设置了隔套代替传统的绝缘套，由于在石墨舟片上设置了避空部，石墨舟片与隔套错开，因此隔套在导电的情况下也不影响石墨舟的正常使用，隔套的选材更加多样化，可以选择导电材料也可以选择不导
电材料。
附图说明
23.图1-图5为本实用新型第一种实施例的示意图，其中图1为正极石墨舟片的主视图，图2为负极石墨舟片的主视图，图3为中间石墨舟片的主视图，图4为石墨外舟片的主视图；图5为石墨舟的立体图。
24.图6-图10为本实用新型第二种实施例的示意图，其中，图6为负极石墨舟片的主视图，图7为正极石墨舟片的主视图，图8为中间石墨舟片的主视图，图9为石墨外舟片的主视图，图10为石墨舟的立体图。
具体实施方式
25.下面结合实施例及附图对本实用新型作进一步详细的描述，但本实用新型的实施方式不限于此。
26.实施例1
27.参见图1-图5，一种石墨舟片，包括舟片本体1以及用于连接电极的电极连接板，其中，所述舟片本体1包括用于承载硅片的承载部2以及用于与其它石墨舟片连接的连接部3；所述连接部3上设有用于容纳连接杆的连接孔5，所述连接部3上设有用于避开隔套14的避空部6，在石墨舟装配完成后，所述避空部6与相反电极的石墨舟片上的连接孔5位置相对应。
28.参见图1-图5，所述电极连接板有两块，两块所述电极连接板分别设置在舟片本体1的两侧。
29.参见图1-图5，所述连接部3包括位于舟片本体1上方的上连接部3-1以及位于舟片本体1下方的下连接部3-2；其中，所述上连接部3-1上设有多个连接孔5及多个避空部6；所述下连接部3-2上亦设有多个连接孔5及多个避空部6。设置上述连接部3，在石墨舟片连接时，上连接部3-1及下连接部3-2上均设有连接孔5，这样石墨舟片的上部与下部均有连接杆穿过，即上部与下部均有连接，连接可靠，从而使得石墨舟的装配更加稳固。
30.参见图1-图5，沿着舟片本体1的长度方向，多个所述连接孔5均匀排布在所述连接部3上；多个所述避空部6均匀排布在所述连接部3上，且多个所述连接孔5与避空部6交错排列。这样，设置了多个连接孔5，那么在石墨舟片的长度方向能够穿设多根连接杆，提高石墨舟片连接的稳定性与可靠性；设置多个避空部6，刚好能够避开相反极性的石墨舟片上的连接杆，与相反极性的舟片本体1上的连接杆相对应，即该目的均是使得石墨舟片在装配成石墨舟时，在石墨舟的长度方向上有多根连接杆连接，提高石墨舟整体的稳定性与可靠性。
31.参见图1-图5，所述避空部6为破边孔。设置上述结构的破边孔，由于避空部6设置在舟片本体1的上部与下部，因此如果设置完整孔会导致孔的外边缘与舟片本体1的外边界的距离很小，导致该部分的强度脆弱，一方面，在加工该破边孔时，容易导致舟片本体1崩裂，另一方面，在搬运、装配石墨舟时也容易导致舟片本体1崩裂，增加制造成本。而将避空部6设置为破边孔，能够避免上述问题，从而降低生产成本；所述避空部6也可以是四周封闭的孔，其形状可以是圆形，也可以是方形或其它形状。
32.参见图1-图5，所述承载部2包括多个承载位，多个所述承载位上设有用于安装石
墨卡点10的卡位孔4。
33.参见图1-图5，所述承载位设置在舟片本体1的中部位置，位于上连接部3-1与下连接部3-2之间；多个所述承载位沿着舟片本体1的长度方向均匀排列。设置上述多个承载位，每个承载位上可以装载一枚硅片，这样在一个石墨舟片的长度方向上可以装载多个硅片，即一次，可以沉积镀膜多枚硅片，提高硅片沉积镀膜的效率。
34.参见图1-图5，所述承载位上还设有矩形孔7，所述卡位孔4设置在所述矩形孔7的周围。设置上述结构的承载位，在沉积镀膜的过程中，矩形孔7有效减少石墨舟片与硅片的接触面积，降低镀膜过程中产生的异常，例如膜厚不一，色差等；另一方面，在承载位上设置矩形孔7，能够极大地降低石墨舟片的重量，同时石墨舟片的结构强度不会受到影响，一举多得。
35.参见图1-图5，在每一个承载位上设置三个卡位孔4，三个卡位孔4中，包括设置在位于矩形孔7下方的支撑卡位孔4以及设置在矩形孔7两侧的侧边卡位孔4。设置上述卡位孔4，在装配石墨舟时，将石墨卡点10分别安装在支撑卡位孔4和侧边卡位孔4上，这样，支撑卡位孔4上的石墨卡点10用于支撑起硅片的重量，侧边卡位孔4上的石墨卡点10用于限制硅片的左右方向，在硅片装载到承载位上之后，相当于有三个支撑点对硅片进行支撑，硅片的装载安全可靠。
36.参见图1-图5，所述石墨舟片包括用于与正电极连接的正极石墨舟片17以及用于与负电极连接的负极石墨舟片18；在正极石墨舟片17中，所述电极连接板为正电极连接板8，两块所述正电极连接板8分别设置在舟片本体1的两侧，且位于舟片本体1的上部；在负极石墨舟片18中，所述电极连接板为负电极连接板9，两块所述负电极连接板9设置在舟片本体1的两侧，且位于舟片本体1的下部。设置上述结构的石墨舟片，在石墨舟装配完成时，正极石墨舟片17与负极石墨舟片18依次交错排列，这样，正电极连接板8位于石墨舟的上部，负电极连接板9位于石墨舟的下部，从而方便石墨舟分别与正电极、负电极连接。
37.参见图1-图5，一种石墨舟，包括舟片组件以及用于将舟片组件连接起来的连接结构；所述舟片组件包括所述石墨舟片，所述石墨舟片包括若干片正极石墨舟片17以及若干片负极石墨舟片18，所述正极石墨舟片17与负极石墨舟片18交错排列；
38.所述连接结构包括石墨螺母13、隔套14以及陶瓷连接杆16，所述陶瓷连接杆16穿过相同极性的石墨舟片上的连接孔5，所述隔套14套设在所述陶瓷连接杆16上且位于相邻的相同极性的石墨舟片之间，且该隔套14位于相反极性的石墨舟片上的避空部6处；所述石墨螺母13锁紧在陶瓷连接杆16的两端，将舟片组件连接固定。
39.参见图1-图5，上述石墨舟片的工作原理是：
40.在装配石墨舟时，将连接杆穿过石墨舟片的连接孔5，同时依次将正极石墨舟片17与负极连接片交错排列，从而将多片石墨舟片连接起来；其中，在相同极性的石墨舟片之间设置了隔套14，该隔套14套设在连接杆上，并且一端抵紧其中一片石墨舟片，另一端抵紧另一片石墨舟片，从而将相同极性的石墨舟片按照隔套14长度的间隔固定连接起来。在石墨舟中，正极石墨舟片17与负极石墨舟片18交错排列，这样隔套14将相同极性的石墨舟片连接起来后，隔套14会横跨相反极性的石墨舟片，由于石墨舟片的连接部3上设有避空部6，并且该避空部6的位置与相反极性的石墨舟片上的连接孔5位置向对应，因此在石墨舟装配完成后，隔套14并不会与相反极性的石墨舟片相连。在薄膜沉积时，对于导电材料的沉积薄
膜，在沉积镀膜的过程中，导电的薄膜同样会沉积在隔套14上导致隔套14导电，避空部6的设置使得相反电极的石墨舟片避免与隔套14接触，保证相邻的两片石墨舟片极性相反；对于不导电材料的沉积薄膜，在沉积过程中，薄膜的沉积不会导致隔套14导电，避空部6的设置与否均能够保证相邻的两片石墨舟片极性相反，由此可见，在石墨舟片上设置避空部6，对沉积导电材料的薄膜及非导电材料的薄膜均能适用，极大地提高了石墨舟的适用范围，提高石墨舟的使用率，降低生产成本。
41.实施例2
42.参见图6-图10，本实施例与实施例1的不同之处在于，在正极石墨舟片18中，所述电极连接板为正电极连接板8，两块所述正电极连接板8分别设置在舟片本体1的两侧，且位于舟片本体1的下部；在负极石墨舟片17中，所述电极连接板为负电极连接板9，两块所述负电极连接板9设置在舟片本体1的两侧，且位于舟片本体1的上部。
43.上述为本实用新型较佳的实施方式，但本实用新型的实施方式并不受上述内容的限制，其他的任何未背离本实用新型的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本实用新型的保护范围之内。