一种晶圆测试探针用夹具的制作方法

文档序号:31085513发布日期:2022-08-09 22:57阅读:105来源:国知局
一种晶圆测试探针用夹具的制作方法

1.本实用新型涉及晶圆测试探针技术领域,具体而言,涉及一种晶圆测试探针用夹具。


背景技术:

2.晶圆测试探针,是应用于电子测试中测试pcba的一种测试连接电子元件,在对晶圆测试探针进行打磨时,需要采用夹具固定晶圆测试探针的一端,然后将晶圆测试探针远离夹具的一端对准打磨装置,在实际操作过程中,由于夹具所在的高度无法调节,当晶圆测试探针的高度与与打磨装置的高度不相同时,常常导致打磨操作效率低下、甚至打磨操作无法正常进行的问题。


技术实现要素:

3.为了弥补以上不足,本实用新型提供了一种晶圆测试探针用夹具旨在解决现有技术中的夹具无法调节晶圆测试探针所在的高度,当晶圆测试探针的高度与打磨装置的高度不相同时,常常导致打磨操作无法正常进行的问题。
4.为解决上述技术方案,本实用新型是这样实现的:
5.一种晶圆测试探针用夹具,包括适配座、安装座、驱动装置和固定夹具,所述适配座的表面设置有所述安装座,所述安装座的表面设置有所述驱动装置,所述驱动装置的输出轴与所述固定夹具的一侧连接,所述适配座包括底板和升降板,所述底板的表面设置有均匀分布的安装板,所述安装板的一侧均设置有齿轮,所述安装板的另一侧均设置有用于控制所述齿轮旋转的控制件,所述升降板的底部设置有与所述齿轮相互啮合的齿条,所述齿条和所述齿轮相互配合用于实现所述升降板的升降。
6.在本实用新型的一种实施例中,所述控制件包括旋钮开关,所述旋钮开关与所述安装板的一侧转动连接,所述旋钮开关与连接杆的一端连接,所述连接杆的另一端贯穿所述安装板与所述齿轮连接。
7.在本实用新型的一种实施例中,所述底板的表面设置有均匀分布的伸缩杆,所述伸缩杆的一端均与所述底板的表面固定连接,所述伸缩杆的另一端均与所述升降板的底部固定连接。
8.在本实用新型的一种实施例中,所述固定夹具包括连接板,所述连接板的一侧与所述驱动装置的输出轴固定连接,所述连接板的另一侧底部设置有第一夹板,所述第一夹板的正上方设置有第二夹板,所述第二夹板与所述连接板滑动连接。
9.在本实用新型的一种实施例中,所述第二夹板的表面开设有第一紧固孔,所述第一夹板的表面开设有与所述第一紧固孔相互配合的第二紧固孔,所述第一紧固孔和所述第二紧固孔的内壁均开设有螺纹。
10.在本实用新型的一种实施例中,所述第一夹板的表面设置有第一缓冲垫,所述第二夹板的底部设置有第二缓冲垫。
11.在本实用新型的一种实施例中,所述第一缓冲垫远离所述第一夹板的一侧设置有等距分布的第一齿条,所述第二缓冲垫远离所述第二夹板的一侧设置有等距分布的第二齿条,所述第一齿条和所述第二齿条相互啮合。
12.在本实用新型的一种实施例中,所述第一缓冲垫和所述第二缓冲垫均采用橡胶材料制成。
13.在本实用新型的一种实施例中,所述安装座包括座体,所述座体的表面设置有降噪板,所述座体的底部设置有减震板。
14.在本实用新型的一种实施例中,所述驱动装置为电机。
15.本实用新型的有益效果是:
16.1、本实用新型设计的适配座包括底板和升降板,底板的表面设置有齿轮,升降板的底部设置有齿条,齿条和齿轮相互啮合,旋转旋钮开关,旋钮开关带动连接杆旋转,连接杆带动齿轮旋转,齿轮带动齿条升降,齿条带动升降板进行升降,升降板带动固定夹具升降,固定夹具带动晶圆测试探针升降,使晶圆测试探针远离固定夹具的一端适应打磨装置所在的高度,提高本实用新型的适用范围和实用性,避免由于晶圆测试探针的高度与打磨装置的高度不相同,导致打磨操作无法正常进行的问题。
17.2、本实用新型设计的底板和升降板之间设置有均匀分布的伸缩杆,伸缩杆既可以适应升降板的升降,还可防止齿条和齿轮断开连接,提高装置整体的稳定性,保证装置的正常运行,避免由于装置运行异常造成的打磨效率低下的问题。
18.3、本实用新型设计的固定夹具用于固定晶圆测试探针的位置,将若干个晶圆测试探针放置于第一缓冲垫表面,滑动第二夹板,使第二缓冲垫与第一缓冲垫相互啮合,通过螺栓通过第一紧固孔和第二紧固孔固定第一夹板和第二夹板,使第二缓冲垫压紧第一缓冲垫,进而固定若干个晶圆测试探针的位置,由于第一缓冲垫和第二缓冲垫均采用高弹性的橡胶材料制成,在第一缓冲垫和第二缓冲垫恢复形变的作用力下,晶圆测试探针的位置被紧紧固定住,同时不会将晶圆测试探针挤压变形,采用本实用新型同时打磨若干个晶圆测试探针,提高打磨效率。
附图说明
19.为了更清楚地说明本实用新型实施方式的技术方案,下面将对实施方式中所需要使用的附图作简单地介绍,应当理解,以下附图仅示出了本实用新型的某些实施例,因此不应被看作是对范围的限定,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
20.图1为本实用新型实施方式提供的一种晶圆测试探针用夹具的结构示意图;
21.图2为本实用新型实施方式提供的图1中局部a的放大图;
22.图3为本实用新型实施方式提供的一种晶圆测试探针用夹具的剖视图。
23.图中:1-适配座;101-底板;102-升降板;103-安装板;104-齿轮;105-控制件;106-齿板;107-伸缩杆;2-安装座;201-座体;202-降噪板;203-减震板;3-驱动装置;4-固定夹具;401-连接板;402-第一夹板;403-第二夹板;404-第一紧固孔;405-第一缓冲垫;406-第一齿条;407-第二缓冲垫;408-第二齿条。
具体实施方式
24.以下对在附图中提供的本实用新型的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本实用新型的范围,而是仅仅表示本实用新型的选定实施方式。基于本实用新型中的实施方式,本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式,都属于本实用新型保护的范围。
25.实施例
26.请参阅图1-3,本实用新型提供一种技术方案:
27.一种晶圆测试探针用夹具,包括适配座1、安装座2、驱动装置3和固定夹具4,适配座1的表面设置有安装座2,安装座2的表面设置有驱动装置3,驱动装置3的输出轴与固定夹具4的一侧连接,适配座1包括底板101和升降板102,底板101的表面设置有均匀分布的安装板103,安装板103的一侧均设置有齿轮104,安装板103的另一侧均设置有用于控制齿轮104旋转的控制件105,升降板102的底部设置有与齿轮104相互啮合的齿板106,齿板106和齿轮104相互配合用于实现升降板102的升降。
28.具体的,如图1、图3所示,旋转的齿轮104带动齿板106升降,齿板106带动升降板102升降,升降板102带动固定夹具4升降,固定夹具4带动晶圆测试探针升降,使晶圆测试探针远离固定夹具4的一端适应打磨装置所在的高度,完成后续的打磨操作。
29.在本实施例中,控制件105包括旋钮开关,旋钮开关与安装板103的一侧转动连接,旋钮开关与连接杆的一端连接,连接杆的另一端贯穿安装板103与齿轮104连接。
30.具体的,如图3所示,旋转旋钮开关,旋钮开关带动连接杆旋转,连接杆带动齿轮104旋转,齿轮104带动齿板106升降。
31.进一步的,本实用新型设置有四个齿轮104、四个齿板106和四个控制件105,四个齿轮104、四个齿板106和四个控制件105分别位于底板101的转角处,由四个控制件105分别控制四个齿轮104,使得升降板102的平面可呈一定角度的倾斜,进一步提高本实用新型的适用范围和实用性。
32.在本实施例中,底板101的表面设置有均匀分布的伸缩杆107,伸缩杆107的一端均与底板101的表面固定连接,伸缩杆107的另一端均与升降板102的底部固定连接。
33.具体的,如图3所示,伸缩杆107既可以适应升降板102的升降,还可防止齿板106和齿轮104断开连接,提高装置整体的稳定性,保证装置的正常运行,避免由于装置运行异常造成的打磨效率低下的问题。
34.在本实施例中,固定夹具4包括连接板401,连接板401的一侧与驱动装置3的输出轴固定连接,连接板401的另一侧底部设置有第一夹板402,第一夹板402的正上方设置有第二夹板403,第二夹板403与连接板401滑动连接。
35.具体的,如图2所示,第二夹板403与连接板401滑动连接,便于调节第二夹板403与第一夹板402之间的间距,进而取放晶圆测试探针,驱动装置3用于提供动力带动固定夹具4旋转,进而带动晶圆测试探针旋转,从而完成打磨晶圆测试探针的操作。
36.在本实施例中,第二夹板403的表面开设有第一紧固孔404,第一夹板402的表面开设有与第一紧固孔404相互配合的第二紧固孔,第一紧固孔404和第二紧固孔的内壁均开设有螺纹。
37.具体的,如图2所示,采用螺栓依次通过第一紧固孔404和第二紧固孔,从而固定第
一夹板402和第二夹板403的位置,进而固定晶圆测试探针的位置,避免在旋转固定夹具4时,晶圆测试探针从第一夹板402和第二夹板403之间甩出。
38.在本实施例中,第一夹板402的表面设置有第一缓冲垫405,第二夹板403的底部设置有第二缓冲垫407,第一缓冲垫405和第二缓冲垫407均采用橡胶材料制成。
39.具体的,如图2所示,第一缓冲垫405和第二缓冲垫407均采用橡胶材料制成,将若干个晶圆测试探针放置于第一缓冲垫405表面,滑动第二夹板403,使第二缓冲垫407与第一缓冲垫405相互啮合,通过螺栓固定第一夹板402和第二夹板403,使第二缓冲垫407压紧第一缓冲垫405,进而固定若干个晶圆测试探针的位置,由于第一缓冲垫405和第二缓冲垫407均采用高弹性的橡胶材料制成,在第一缓冲垫405和第二缓冲垫407恢复形变的作用力下,晶圆测试探针的位置被紧紧固定住,同时不会将晶圆测试探针挤压变形。
40.在本实施例中,第一缓冲垫405远离第一夹板402的一侧设置有等距分布的第一齿条406,第二缓冲垫407远离第二夹板403的一侧设置有等距分布的第二齿条408,第一齿条406和第二齿条408相互啮合。
41.具体的,如图2所示,相邻两个第一齿条406之间形成一个第一齿槽,将若干个晶圆测试探针放置于第一齿条406的表面或第一齿槽的内部,使得若干个晶圆测试探针可以交错分布,便于后期打磨操作的进行,同时可使得第一缓冲垫405可同时固定更多数量的晶圆测试探针。
42.在本实施例中,安装座2包括座体201,座体201的表面设置有降噪板202,座体201的底部设置有减震板203。
43.具体的,如图1所示,座体201用于安装驱动装置3,驱动装置3与座体201固定连接,降噪板202用于驱动装置3的降噪,减震板203用于为工作中的驱动装置3减震,进而保持装置整体的平稳,减少抖动。
44.在本实施例中,驱动装置3为电机。
45.具体的,如图1所示,由电机提供动力,带动固定夹具4旋转,进而带动若干个晶圆测试探针旋转。
46.具体的,该一种晶圆测试探针用夹具的工作原理:在使用本实用新型时,将若干个晶圆测试探针放置于第一缓冲垫405表面,滑动第二夹板403,使第二缓冲垫407与第一缓冲垫405相互啮合,通过螺栓固定第一夹板402和第二夹板403,使第二缓冲垫407压紧第一缓冲垫405,进而固定若干个晶圆测试探针的位置,根据打磨装置的高度,旋转旋钮开关,旋钮开关带动连接杆旋转,连接杆带动齿轮104旋转,齿轮104带动齿板106升降,齿板106带动升降板102进行升降,升降板102带动固定夹具4升降,固定夹具4带动晶圆测试探针升降,使晶圆测试探针远离固定夹具4的一端适应打磨装置所在的高度,伸缩杆107既可以适应升降板102的升降,还可防止齿板106和齿轮104断开连接,保证装置的正常运行,启动由电机提供动力,带动固定夹具4旋转,进而带动若干个晶圆测试探针旋转,旋转的晶圆测试探针摩擦打磨装置从而实现打磨操作的正常进行。
47.电机具体的型号规格需根据该装置的实际规格等进行选型确定,具体选型计算方法采用本领域现有技术,故不再详细赘述。
48.电机的供电及其原理对本领域技术人员来说是清楚的,在此不予详细说明。
49.以上所述仅为本实用新型的优选实施方式而已,并不用于限制本实用新型,对于
本领域的技术人员来说,本实用新型可以有各种更改和变化。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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