一种MOCVD内置吸尘器的制作方法

文档序号:33354042发布日期:2023-03-07 18:19阅读:43来源:国知局
一种MOCVD内置吸尘器的制作方法
一种mocvd内置吸尘器
技术领域
1.本实用新型涉及mocvd技术领域,尤其涉及一种mocvd内置吸尘器。


背景技术:

2.mocvd是金属有机物化学气相淀积,采用将液态源送入汽化室得到气态源物质,再经过流量控制送入反应室,或者直接向反应室注入液态先体,在反应室内汽化和沉积,这种方式的优点是简化了源输送方式,对材料的要求降低,便于实现多种薄膜的交替沉积以获得超品格结构等
3.经过检索,申请号为“201320559697.7”,提供了mocvd内置吸尘器,mocvd内置吸尘器滤网不易堵塞,清洗效率较高,维护使用成本较低,使用寿命较长。但仍存在不足,集尘箱固定在手套箱内部,不容易拆卸掉集尘箱掉将灰尘取出,不便于后期维修人员对集尘箱进行检修。


技术实现要素:

4.本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点,而提出的一种mocvd内置吸尘器。
5.为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:一种mocvd内置吸尘器,包括底板,所述底板上侧的中部设置有安装机构,所述底板右端的上侧固定连接有支撑块,所述安装机构的上侧设置有吸尘器本体,所述吸尘器本体的右侧固定连接有吸入管,所述底板左端的上侧设置有稳固机构;
6.所述安装机构包括夹块,所述夹块固定连接在底板左右两端的上侧,所述底板的上侧且位于夹块的左右两侧均开设有安装槽,所述安装槽的内侧设置有安装块,左右两侧所述夹块之间设置有螺杆;
7.所述稳固机构包括固定板,所述固定板固定连接在底板左端的上侧,所述固定板的右侧开设有滑槽,所述滑槽的内侧滑动连接有滑板,所述滑板的右侧固定连接有升降板,所述升降板右端的下侧固定连接有压板二,是升降板下侧的中部固定连接有固定杆,所述固定杆的下侧固定连接有压板一。
8.作为上述技术方案的进一步描述:
9.所述安装块与安装槽相互适配设置。
10.作为上述技术方案的进一步描述:
11.所述夹块与吸尘器本体固定连接。
12.作为上述技术方案的进一步描述:
13.所述滑槽的内部转动连接有螺纹杆,所述螺纹杆与滑板螺纹连接。
14.作为上述技术方案的进一步描述:
15.所述螺纹杆的上端穿过固定板且固定连接有转盘。
16.作为上述技术方案的进一步描述:
17.所述固定杆的外侧套设有弹簧。
18.作为上述技术方案的进一步描述:
19.所述滑板与升降板之间固定连接有稳固板,且所述稳固板为三角结构设置。
20.作为上述技术方案的进一步描述:
21.所述压板二与支撑块的右侧均开设有弧形槽。
22.本实用新型具有如下有益效果:
23.1、本实用新型中,通过设置有安装槽、安装块、夹块、螺杆、螺纹杆、压板一与压板,使吸尘器本体的拆卸效率增加,便于工作人员后期进行维修,增加工作人员的维修效率,减少工作人员的工作量。
24.2、本实用新型中,通过设置有升降板、固定杆、弹簧、压板一、压板二与支撑块,使吸尘器本体与吸入管的稳定性,避免吸尘器本体运行使产生的振动对连接稳定性有影响。
附图说明
25.图1为本实用新型提出的一种mocvd内置吸尘器的整体立体结构图;
26.图2为本实用新型提出的一种mocvd内置吸尘器的正视图;
27.图3为本实用新型提出的一种mocvd内置吸尘器的侧视图;
28.图4为本实用新型提出的一种mocvd内置吸尘器的俯视图。
29.图例说明:
30.1、底板;2、支撑块;3、安装机构;301、安装槽;302、夹块;303、安装块;304、螺杆;4、吸尘器本体;5、吸入管;6、稳固机构;601、固定板;602、滑槽;603、滑板;604、升降板;605、螺纹杆;606、转盘;607、稳固板;608、固定杆;609、弹簧;610、压板一;611、压板二。
具体实施方式
31.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
32.参照图1-4,本实用新型提供的一种实施例:一种mocvd内置吸尘器,包括底板1,底板1上侧的中部设置有安装机构3,安装机构3便于快速拆卸到吸尘器本体4,底板1右端的上侧固定连接有支撑块2,安装机构3的上侧设置有吸尘器本体4,吸尘器本体4的右侧固定连接有吸入管5,吸入管5为吸尘器本体4的吸尘管,便于将mocvd设备中的灰尘吸入吸尘器本体4,底板1左端的上侧设置有稳固机构6,稳固机构6便于增加吸尘器本体4的稳定性,避免运行时振动影响到连接的稳定性。
33.安装机构3包括夹块302,夹块302固定连接在底板1左右两端的上侧,底板1的上侧且位于夹块302的左右两侧均开设有安装槽301,安装槽301的内侧设置有安装块303,左右两侧夹块302之间设置有螺杆304,安装块303与安装槽301相互适配设置,夹块302与吸尘器本体4固定连接,其中安装块303固定在安装槽301内侧,便于对夹块302进行限位,螺杆304贯穿夹块302与安装块303,螺杆304与夹块302、安装块303螺纹连接,便于将安装块303与夹块302连接在一起,在拆卸吸尘器本体4时,转动螺杆304,螺杆304与夹块302和安装块303分
离,然后通过稳固机构6,快速把吸尘器本体4拆卸下来。
34.稳固机构6包括固定板601,固定板601固定连接在底板1左端的上侧,固定板601的右侧开设有滑槽602,滑槽602的内侧滑动连接有滑板603,滑板603的右侧固定连接有升降板604,升降板604右端的下侧固定连接有压板二611,是升降板604下侧的中部固定连接有固定杆608,固定杆608的下侧固定连接有压板一610,滑槽602的内部转动连接有螺纹杆605,螺纹杆605与滑板603螺纹连接,螺纹杆605的上端穿过固定板601且固定连接有转盘606,固定杆608的外侧套设有弹簧609,滑板603与升降板604之间固定连接有稳固板607,且稳固板607为三角结构设置,压板二611与支撑块2的右侧均开设有弧形槽,弧形槽贴合吸入管5外侧,在使用时,工作人员转动转盘606,转盘606带动螺纹杆605转动,螺纹杆605带动滑板603移动,滑板603带动升降板604升降,升降板604带动固定杆608升降,固定杆608带动压板一610上升,升降板604带动压板二611上升,使压板一610与吸尘器本体4分离,压板二611与支撑块2分离,便于快速拆卸掉吸尘器本体4,通过压板一610与压板二611的压合,使吸尘器本体4与吸入管5的稳定性,固定杆608与弹簧609,减少振动对吸尘器本体4连接稳定性的影响减少。
35.工作原理:当需要拆卸掉吸尘器本体4时,工作人员转动转盘606,转盘606带动螺纹杆605转动,螺纹杆605带动滑板603移动,滑板603带动升降板604升降,升降板604带动压板一610与压板二611上侧,压板一610与吸尘器本体4分离,压板二611与支撑块2分离,然后工作人员转动螺杆304,使螺杆304与夹块302与安装块303分离,便于将吸尘器本体4从底板1上侧拆卸下来,只需要转动螺杆304与螺纹杆605,就可以把吸尘器本体4拆卸下来,增加拆卸效率,减少工作人员的工作量,且在压板一610与压板二611,使吸尘器本体4与吸入管5被限位,增加吸尘器本体4的稳定性。
36.最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
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