一种蒸镀源的制作方法

文档序号:31903645发布日期:2022-10-22 07:06阅读:42来源:国知局
一种蒸镀源的制作方法

1.本实用新型涉及一种蒸镀装备技术领域,更具体地说,涉及一种蒸镀源。


背景技术:

2.蒸镀一般指真空蒸镀,是指在真空条件下,采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料并使之气化,粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术,具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
3.蒸镀的物理过程包括:沉积材料蒸发或升华为气态粒子

气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送

气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜

薄膜原子重构或产生化学键合。
4.传统的蒸镀源包括蒸镀容器和设置在蒸镀容器内的蒸镀材料,但是在使用过程中发现蒸镀容器内的蒸镀材料容易脱落,如果蒸镀材料脱落则会导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料或蒸镀材料较少,从而容易造成蒸镀容器损坏,同时也造成能源的浪费,不利于环保,需要进行蒸镀的产品则没有被镀上蒸镀材料或没有镀上足够的蒸镀材料,从而大幅降低了蒸镀源的蒸镀效率,同时也降低了所需蒸镀产品的良品概率,提高了蒸镀源的使用成本,降低了蒸镀源的产品竞争力,无法满足生产企业日益增长的竞争力要求。


技术实现要素:

5.本实用新型所要解决的技术问题是如何防止蒸镀材料脱落,由于侧壁的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部,多个凹陷部环绕侧壁的中部设置,即向内凹陷的凹陷部可以形成卡住蒸镀材料的卡点,通过凹陷部形成的卡点可以使得蒸镀材料可以轻易地固定在底构件的上方位置,进而避免在使用过程中蒸镀材料出现脱落的异常情况的发生,从而避免导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料或蒸镀材料较少的这种异常情况的发生,以此避免造成蒸镀容器损伤或损坏的异常情况的发生,同时也可以避免造成能源的浪费,其非常有利于环保,需要进行蒸镀的产品可以被镀上蒸镀材料且可以被镀上足够的蒸镀材料,从而大幅提高了蒸镀源的蒸镀效率,同时也进一步提高了所需蒸镀产品的良品概率,进一步降低了蒸镀源的使用成本,从而进一步提高了蒸镀源的产品竞争力,以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
6.本实用新型所要解决的技术问题通过以下技术方案予以实现:
7.为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种蒸镀源,其包括蒸镀容器和设置在所述蒸镀容器内的蒸镀材料,所述蒸镀容器包括底构件和侧壁,所述侧壁由所述底构件边缘向上拉伸形成,所述侧壁的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部,多个所述凹陷部环绕所述侧壁的中部设置,所述凹陷部的高度高于所述蒸镀材料的高度,所述蒸镀材料通过所述凹陷部固定于所述底构件的上方。
8.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述凹陷部有四个。
9.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述蒸镀材料为耐高温
纤维丝。
10.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述侧壁的直径由下到上依次缩小。
11.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述侧壁的顶部设置有向内延伸的延伸部,所述延伸部与所述底构件平行。
12.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,多个所述凹陷部形成环绕所述侧壁一周的凹陷圈。
13.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述凹陷圈有多个,多个所述凹陷圈由上到下依次顺序设置。
14.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,位于所述侧壁的内壁上的所述凹陷部上焊有焊点。
15.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述底构件的上表面设置有粗糙处理层。
16.作为本实用新型提供的所述蒸镀源的一种优选实施方式,所述粗糙处理层为磨砂表面处理层或菱形滚花处理层。
17.本实用新型具有如下有益效果:
18.由于侧壁的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部,多个凹陷部环绕侧壁的中部设置,即向内凹陷的凹陷部可以形成卡住蒸镀材料的卡点,通过凹陷部形成的卡点可以使得蒸镀材料可以轻易地固定在底构件的上方位置,进而避免在使用过程中蒸镀材料出现脱落的异常情况的发生,从而避免导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料或蒸镀材料较少的这种异常情况的发生,以此避免造成蒸镀容器损伤或损坏的异常情况的发生,同时也可以避免造成能源的浪费,其非常有利于环保,需要进行蒸镀的产品可以被镀上蒸镀材料且可以被镀上足够的蒸镀材料,从而大幅提高了蒸镀源的蒸镀效率,同时也进一步提高了所需蒸镀产品的良品概率,进一步降低了蒸镀源的使用成本,从而进一步提高了蒸镀源的产品竞争力,以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
附图说明
19.为了更清楚地说明本技术中的方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作一个简单介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本技术的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
20.图1为本实用新型提供的一种蒸镀源的剖视结构示意图。
21.图2为图1的仰视结构示意图。
22.图3为实施例2的结构示意图。
23.图4为实施例3的结构示意图。
具体实施方式
24.为了使本技术领域的人员更好地理解本实用新型方案,下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分的实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实
施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都应当属于本实用新型保护的范围。
25.本实用新型提供了一种蒸镀源,其包括蒸镀容器和设置在所述蒸镀容器内的蒸镀材料1,所述蒸镀容器包括底构件2和侧壁3,所述侧壁3由所述底构件2边缘向上拉伸形成,所述侧壁3的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部4,多个所述凹陷部4环绕所述侧壁3的中部设置,所述凹陷部4的高度高于所述蒸镀材料1的高度,所述蒸镀材料1通过所述凹陷部4固定于所述底构件2的上方。
26.由于侧壁3的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部4,多个凹陷部4环绕侧壁3的中部设置,即向内凹陷的凹陷部4可以形成卡住蒸镀材料1的卡点,通过凹陷部4形成的卡点可以使得蒸镀材料1可以轻易地固定在底构件2的上方位置,进而避免在使用过程中蒸镀材料1出现脱落的异常情况的发生,从而避免导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料1或蒸镀材料1较少的这种异常情况的发生,以此避免造成蒸镀容器损伤或损坏的异常情况的发生,同时也可以避免造成能源的浪费,其非常有利于环保,需要进行蒸镀的产品可以被镀上蒸镀材料且可以被镀上足够的蒸镀材料,从而大幅提高了蒸镀源的蒸镀效率,同时也进一步提高了所需蒸镀产品的良品概率,进一步降低了蒸镀源的使用成本,从而进一步提高了蒸镀源的产品竞争力,以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
27.为了使本技术领域的人员更好地理解本技术方案,下面将结合附图,对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。下面结合附图和实施例对本实用新型进行详细的说明,所述实施例的示例在附图中示出,其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的,旨在用于解释本实用新型,而不能理解为对本实用新型的限制。
28.实施例1
29.请参阅图1和图2,为本实用新型提供的一种蒸镀源,其包括蒸镀容器和设置在所述蒸镀容器内的蒸镀材料1,所述蒸镀容器包括底构件2和侧壁3,所述侧壁3由所述底构件2边缘向上拉伸形成,在本实施例中,所述侧壁3与所述底构件2垂直,所述侧壁3的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部4,多个所述凹陷部4环绕所述侧壁3的中部设置,所述凹陷部4的高度高于所述蒸镀材料1的高度,所述蒸镀材料1通过所述凹陷部4固定于所述底构件2的上方。由于侧壁3的中部设置有多个向内凹陷的凹陷部4,多个凹陷部4环绕侧壁3的中部设置,即向内凹陷的凹陷部4可以形成卡住蒸镀材料1的卡点,通过凹陷部4形成的卡点可以使得蒸镀材料1可以轻易地固定在底构件2的上方位置,进而避免在使用过程中蒸镀材料1出现脱落的异常情况的发生,从而避免导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料1或蒸镀材料1较少的这种异常情况的发生,以此避免造成蒸镀容器损伤或损坏的异常情况的发生,同时也可以避免造成能源的浪费,其非常有利于环保,需要进行蒸镀的产品可以被镀上蒸镀材料且可以被镀上足够的蒸镀材料,从而大幅提高了蒸镀源的蒸镀效率,同时也进一步提高了所需蒸镀产品的良品概率,进一步降低了蒸镀源的使用成本,从而进一步提高了蒸镀源的产品竞争力,以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
30.进一步地,在本实施例中,所述凹陷部4的数量为四个,其均匀分布在侧壁3的中部位置的四个点上,即凹陷部4以底构件2的中点为圆心呈90
°
阵列分布,以使得蒸镀材料1可以被四个凹陷部4卡住,从而避免蒸镀材料1脱落。在其他实施例中,所述凹陷部4的数量可
以是六个或者是八个以及其他任意数量,其可以根据现实情况所需而设定,其均应落入本实用新型的保护范围之内。凹陷部4的数量越多,蒸镀材料1则被卡得越紧,越不容易脱落,从而避免导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料1或蒸镀材料1较少的这种异常情况的发生,以此避免造成蒸镀容器损伤或损坏的异常情况的发生,同时也可以避免造成能源的浪费,其非常有利于环保,需要进行蒸镀的产品可以被镀上蒸镀材料且可以被镀上足够的蒸镀材料,从而大幅提高了蒸镀源的蒸镀效率,同时也进一步提高了所需蒸镀产品的良品概率,进一步降低了蒸镀源的使用成本,从而进一步提高了蒸镀源的产品竞争力,以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
31.进一步地,所述蒸镀材料1为耐高温纤维丝,以使得蒸镀材料1满足使用要求。
32.实施例2
33.请参阅图3,作为实施例1的进一步优化方案,本实施例中,所述侧壁3的直径由下到上依次缩小,以使得侧壁3的底部宽而头部小,从而使得蒸镀材料1被侧壁3紧紧卡在内部,不易脱落,从而避免导致在进行蒸镀时没有蒸镀材料1或蒸镀材料1较少的这种异常情况的发生,以此避免造成蒸镀容器损伤或损坏的异常情况的发生,同时也可以避免造成能源的浪费,其非常有利于环保,需要进行蒸镀的产品可以被镀上蒸镀材料且可以被镀上足够的蒸镀材料,从而大幅提高了蒸镀源的蒸镀效率,同时也进一步提高了所需蒸镀产品的良品概率,进一步降低了蒸镀源的使用成本,从而进一步提高了蒸镀源的产品竞争力,以此满足生产企业日益增长的竞争力要求。
34.实施例3
35.请参阅图4,作为实施例2的进一步优化方案,本实施例中,所述侧壁3的顶部设置有向内延伸的延伸部5,所述延伸部5与所述底构件2平行,延伸部5可以进一步将蒸镀材料1卡在蒸镀容器内部,避免蒸镀材料1脱落,从而保证蒸镀材料1的稳定性。
36.进一步地,多个所述凹陷部4形成环绕所述侧壁3一周的凹陷圈,以进一步提高蒸镀材料1脱落的难度,避免蒸镀材料1脱落,从而保证蒸镀材料1的稳定性。
37.进一步地,所述凹陷圈有多个,多个所述凹陷圈由上到下依次顺序设置,以进一步提高蒸镀材料1脱落的难度,避免蒸镀材料1脱落,从而保证蒸镀材料1的稳定性。
38.进一步地,位于所述侧壁3的内壁上的所述凹陷部4上焊有焊点,以进一步提高蒸镀材料1脱落的难度,避免蒸镀材料1脱落,从而保证蒸镀材料1的稳定性。
39.进一步地,所述底构件2的上表面设置有粗糙处理层,以提高蒸镀材料1与底构件2之间的摩擦力,进而使得蒸镀材料1在底构件2的上表面不易滑动,防止蒸镀材料1移位,也进一步提高蒸镀材料1脱落的难度,避免蒸镀材料1脱落,从而保证蒸镀材料1的稳定性。
40.进一步地,所述粗糙处理层为磨砂表面处理层或菱形滚花处理层。
41.在本实用新型中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是机械连接,也可以是电连接或彼此可通讯;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系,除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
42.显然,以上所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例,而不是全部的实施例,附图中给出了本技术的较佳实施例,但并不限制本技术的专利范围。本技术可以以许多不同
的形式来实现,相反地,提供这些实施例的目的是使对本技术的公开内容的理解更加透彻全面。尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来而言,其依然可以对前述各具体实施方式所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等效替换。凡是利用本技术说明书及附图内容所做的等效结构,直接或间接运用在其他相关的技术领域,均同理在本技术专利保护范围之内。
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