化学气相沉积装置的制作方法

1.本实用新型涉及显示面板技术领域，尤其涉及一种化学气相沉积装置。


背景技术：

2.在显示装置领域，镀膜工艺是一种利用化学反应方式，将反应物生成固态产物，并沉积在显示面板表面的技术，在显示面板镀膜过程中需要使用化学气相沉积装置进行气相沉积。目前，如图1所示，化学气相沉积装置包括壳体1＇、和设置壳体1＇开口处的门体2＇，门体2＇通过转轴3＇与壳体1＇转动连接，且门体2＇封堵在壳体1＇的开口处以使壳体1＇内形成密封的沉积腔。显示面板在沉积腔内镀膜时，沉积腔处于真空状态，当显示面板镀膜完成后，会打开门体2＇将显示面板移出沉积腔，当门体2＇打开后，沉积腔会进入释放真空的状态(即大气状态)；当新的显示面板进入沉积腔并关闭门体2＇后，沉积腔会重新进入真空状态。沉积腔在真空和大气两种状态切换过程中，气压也会随之改变。现有技术存在以下缺陷：在门体2＇上通常设置两根转轴3＇与壳体1＇连接，而两根转轴3＇之间通过轴套4＇套接，这种连接方式的稳定性不高，在气压作用下，两根转轴3＇之间很容易发生松动，以使转轴3＇与轴套4＇之间发生磨损而产生异物，异物在重力作用下会掉落在镀膜的显示面板上，影响镀膜的质量。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于：提供一种化学气相沉积装置，其结构简单，镀膜效果好。
4.为达上述目的，本实用新型采用以下技术方案：
5.提供一种化学气相沉积装置，包括壳体、门体和转动组件，所述壳体内设置有沉积腔，所述壳体具有与所述沉积腔连通的开口，所述门体转动设置在所述开口处，所述转动组件包括轴套和转轴，所述门体通过所述转轴与所述壳体连接，所述转轴包括第一轴和第二轴，所述第一轴和所述第二轴连接处套设有所述轴套，所述轴套具有沿其轴向贯穿设置的连接孔，所述第一轴具有位于所述连接孔内的第一连接端，所述第二轴具有位于所述连接孔内的第二连接端，所述第一连接端和所述第二连接端两者中的一个的端面凸出设置有至少两个第一限位部，另一凹陷设置有与所述第一限位部适配的第一限位槽，每个所述第一限位槽内均插设一个所述第一限位部。
6.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所有的所述第一限位部沿所述转轴的中心轴线环形均布。
7.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述连接孔的孔壁凸出设置有凸出部，所述凸出部抵接于所述第一轴和所述第二轴连接位置的外侧壁。
8.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述凸出部沿所述连接孔的中心轴线环形设置一圈。
9.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述凸出部的截面呈弧形。
10.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，还包括第一紧固件，所述第一限位部设
置在所述第一连接端，所述第一限位槽凹设在所述第二连接端，所述第一限位部沿其厚度方向贯穿设置有第一固定孔，所述第二轴对应每个所述第一限位槽设置有第二固定孔，所述第二固定孔与所述第一限位槽连通，所述轴套对应所述第一固定孔设置有第三固定孔，所述第一紧固件依次贯穿所述第三固定孔、所述第二固定孔和所述第一固定孔。
11.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述第一限位槽为弧形槽，所述第一限位槽的弧形中心位于所述转轴的中心轴线上。
12.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述连接孔的孔壁与所述第一轴的侧壁之间设置有铁氟龙涂层；和/或，
13.所述连接孔的孔壁与所述第二轴的侧壁之间设置有铁氟龙涂层。
14.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述第一轴的外侧壁设置有耐磨层；和/或，所述第二轴的外侧壁设置有耐磨层。
15.作为化学气相沉积装置的一种优选方案，所述连接孔的孔壁凹设有两组第二限位槽，两组所述第二限位槽分别与所述轴套的相对两端面连通；
16.所述第一轴的侧壁对应一组所述第二限位槽设置有第二限位部，所述第二限位部设置在所述第二限位槽内；和/或，
17.所述第二轴的侧壁对应另一组所述第二限位槽设置有第三限位部，所述第三限位部设置在所述第二限位槽内。
18.本实用新型的有益效果为：该化学气相沉积装置的第一轴和第二轴通过多个第一限位部和第一限位槽配合，从而提高第一轴和第二轴之间的连接稳定性，避免第一轴和第二轴受力而发生松动，以防止第一轴和第二轴与连接孔的孔壁之间发生磨损，从而减低因磨损而产生的研磨异物数量，进而提高该化学气相沉积装置对显示面板镀膜的质量。
附图说明
19.下面根据附图和实施例对本实用新型作进一步详细说明。
20.图1为现有的化学气相沉积装置的结构示意图。
21.图2为本实用新型实施例的化学气相沉积装置的结构示意图。
22.图3为本实用新型实施例的转轴和轴套的配合示意图。
23.图4为本实用新型实施例的第一轴的结构示意图。
24.图5为本实用新型实施例的第二轴的结构示意图。
25.图6为本实用新型一实施例的转轴和轴套的配合示意图(第一限位部和第一限位槽未示出)。
26.图7为本实用新型另一实施例的转轴和轴套的配合示意图(第一限位部和第一限位槽未示出)。
27.图8为本实用新型的实施例的转动组件的结构示意图。
28.图1中：
[0029]1′
、壳体；2
′
、门体；3
′
、转轴；4
′
、轴套。
[0030]
图2至图8中：
[0031]
1、壳体；11、限位板；2、门体；3、轴套；31、连接孔；32、凸出部；33、第三固定孔；34、第二限位槽；4、转轴；41、第一轴；411、第一限位部；4111、第一固定孔；412、第二限位部；42、
第二轴；421、第一限位槽；422、第二固定孔；423、第三限位部；5、第一紧固件；6、铁氟龙涂层；7、轴承座；71、底座；72、轴承盖；8、轴承；9、耐磨层。
具体实施方式
[0032]
参考下面结合附图详细描述的实施例，本实用新型的优点和特征以及实现它们的方法将变得显而易见。然而，本实用新型不限于以下公开的实施例，而是可以以各种不同的形式来实现，提供本实施例仅仅是为了完成本实用新型的公开并且使本领域技术人员充分地了解本实用新型的范围，并且本实用新型仅由权利要求的范围限定。相同的附图标记在整个说明书中表示相同的构成要素。
[0033]
以下，参照附图来详细描述本实用新型。
[0034]
如图2至图5所示，本实用新型公开的化学气相沉积装置包括壳体1、门体2和转动组件，壳体1内设置有沉积腔，壳体1具有与沉积腔连通的开口，门体2转动设置在开口处，以封堵该开口，以使沉积腔成为密封的反应室。门体2通过转动组件与壳体1连接，通过转动组件驱动门体2在开口处实现开合，沉积腔对显示面板镀膜时，门体2关闭开口，从而能让沉积腔能进入真空状态对显示面板进行镀膜，当镀膜完成后，转动组件驱动门体2转动以使开口处于打开状态，并将完成镀膜的显示面板移出沉积腔。
[0035]
具体地，转动组件包括轴套3和转轴4，门体2通过转轴4与壳体1连接，转轴4包括第一轴41和第二轴42，第一轴41和第二轴42连接处套设有轴套3，轴套3具有沿其轴向贯穿设置的连接孔31，第一轴41具有位于连接孔31内的第一连接端，第二轴42具有位于连接孔31内的第二连接端，第一连接端和第二连接端两者中的一个的端面凸出设置有至少两个第一限位部411，另一个凹陷设置有与第一限位部411适配的第一限位槽421，每个第一限位槽421内均插设一个第一限位部411。第一轴41和第二轴42通过多个第一限位部411和第一限位槽421配合，从而提高第一轴41和第二轴42之间的连接稳定性，避免第一轴41和第二轴42受力而发生松动，以防止第一轴41和第二轴42与连接孔31的孔壁之间发生磨损，从而减少因磨损而产生的研磨异物数量，进而提高该化学气相沉积装置对显示面板镀膜的质量。可以理解的是，显示面板在沉积腔内镀膜时沉积腔处于真空状态，当显示面板镀膜完成后，需要打开门体2将显示面板移出沉积腔，当门体2打开后，沉积腔会进入释放真空的状态(即大气状态)；当新的显示面板进入沉积腔并关闭门体2后，沉积腔会重新进入真空状态。沉积腔在真空和大气两种状态切换过程中，气压也会随之改变，而第一轴41和第二轴42会受到气压的作用而发生松动，而由于该第一轴41和第二轴42之间通过多个第一限位部411和第一限位槽421配合，提高了第一轴41和第二轴42的连接稳定性，降低第一轴41和第二轴42与轴套3之间的磨损，进而减少因磨损而产生的研磨异物。本实施例中，第一限位部411凸出设置在第一连接端的端面，第一限位槽421凹设在第二连接端的端面。在其它实施例中，第一限位部411凸出设置在第二连接端的端面，第一限位槽421凹设在第一连接端的端面。
[0036]
具体地，如图2所示，转动组件包括电机，电机设置在壳体1上，并且电机的输出端与转轴4连接，以使电机可驱动转轴4转动，从而带动门体2实现开合。
[0037]
本实施例中，如图4和图5所示，所有的第一限位部411沿转轴4的中心轴线环形均布，该设计能让第一连接端和第二连接端的受力更加均匀，以进一步提高第一轴41和第二轴42之间的连接稳定性。具体地，第一限位部411设置四个，四个第一限位部411沿第一轴41
的中心轴线环形分布，同样的，第一限位槽421设置有四个，且四个第一限位槽421沿第二轴42的中心轴线环形均布，四个第一限位部411和四个第一限位槽421配合连接。一实施例中，第一限位部411和第一限位槽421均设置有两个，两个第一限位部411沿轴心相对设置，同样的，两个第一限位槽421沿轴心相对设置。当然，在其它实施例中，第一限位槽421还可以是一个圆环槽，而第一限位部411为一个连续的环状结构。
[0038]
为进一步提高第一轴41和第二轴42在轴套3内的稳定性，一实施例中，如图6所示，连接孔31的孔壁凸出设置有凸出部32，凸出部32抵接于第一轴41和第二轴42连接位置的外侧壁。凸出部32的位置相比连接孔31的其他部位的尺寸更小，因此轴套3在该位置对第一轴41和第二轴42的箍紧力更大，而且第一轴41和第二轴42与凸出部32之间在凸出部32位置可以为过盈配合，以使第一轴41和第二轴42与轴套3之间能传递更大扭矩。
[0039]
优选地，凸出部32沿连接孔31的中心轴线环形设置一圈，该设计能让凸出部32和第一轴41和第二轴42之间的接触面积更大，从而提高稳定性。在其他实施例中，凸出部32可以设置多个，多个凸出部32沿轴心环形均布。
[0040]
另外，为了便于第一轴41和第二轴42之间的装配，凸出部32的截面呈弧形，因此该凸出部32具有弧形面，第一轴41或第二轴42可以沿着弧形面往凸出部32的中部移动，在此过程中，轴套3对第一轴41和第二轴42的箍紧力也慢慢增大，以使第一轴41和第二轴42在轴套3内实现过盈配合。
[0041]
本实施例中，如图3所示，第一限位部411沿其厚度方向贯穿设置有第一固定孔4111，第二轴42对应每个第一限位槽421设置有第二固定孔422，第二固定孔422与第一限位槽421连通，轴套3对应第一固定孔4111设置有第三固定孔33，第一紧固件5依次贯穿第三固定孔33、第二固定孔422和第一固定孔4111。通过在第一轴41、第二轴42和轴套3上设置固定孔，在通过第一紧固件5对三者进行固定连接，从而提高转动组件的稳定性。
[0042]
优选地，第一紧固件5为螺丝，第一轴41、第二轴42和轴套3通过螺丝实现螺纹连接，螺纹连接的稳定性较高，便于拆装。
[0043]
具体地，第一限位槽421为弧形槽，第一限位槽421的弧形中心位于转轴4的中心轴线上，也就是弧形槽的弧形口朝向转轴4的中心轴线，该结构能第一限位槽421的槽壁对第一限位部411的限位方向与转轴4的转动方向相同，能减少第一轴41和第二轴42转动时的磨损。此外，当第一轴41和第二轴42受力时，棱角的位置会应力集中而受损，而弧形结构第一限位部411和第一限位槽421的棱角结构较少，从而有效降低第一限位部411和第一限位槽421的槽壁之间的磨损。在其他实施例中，弧形槽的弧口可以朝向背向转轴4的中心轴线的方向。
[0044]
本实施例中，连接孔31的孔壁与第一轴41的侧壁之间设置有铁氟龙涂层6连接孔31的孔壁与第二轴42的侧壁之间设置有铁氟龙涂层6。铁氟龙具有较好的耐磨性，通过设置铁氟龙涂层6能减少转轴4和轴套3之间的磨损。此外，铁氟龙由四氟乙烯经聚合而成的高分子化合物，其具有优良的化学稳定性、耐腐蚀性、密封性、高润滑不粘性和抗老化耐力，因此铁氟龙涂层6不会被沉积腔内的反应物腐蚀，其使用寿命较长。一实施例中，仅在第一轴41和连接孔31的孔壁之间设置铁氟龙涂层6，或仅在第二轴42和连接孔31的孔壁之间设置铁氟龙涂层6，实际结构可根据需求设计，不以本实施例为限。
[0045]
具体地，第一轴41的外侧壁设置有耐磨层9和第二轴42的外侧壁设置有耐磨层9，
以降低连接孔31的孔壁与第一轴41和第二轴42之间的磨损，从而减低因磨损而产生的研磨异物数量。在其他实施例中，也可以仅在第一轴41或第二轴42的外侧壁设置耐磨层9。
[0046]
优选地，耐磨层9为氮化硅层，碳化硅是一种超硬物质，本身具有润滑性，且耐磨损，大大提高了轴承8使用过程中的润滑性，减少零部件之间的摩擦损耗。
[0047]
可选地，耐磨层9为碳化硼涂层，碳化硅是一种超硬物质，本身具有润滑性，且耐磨损，大大提高了转轴4使用过程中的润滑性，减少零部件之间的摩擦损耗。
[0048]
当然，耐磨层9还可以是碳化硅层、硬质合金层或其他耐磨的涂层材料，不以本实施例为限。
[0049]
本实施例中，如图7所示，连接孔31的孔壁凹设有两组第二限位槽34，两组第二限位槽34分别与轴套3的相对两端面连通；第一轴41的侧壁对应一组第二限位槽34设置有第二限位部412，第二限位部412设置在第二限位槽34内；第二轴42的侧壁对应另一组第二限位槽34设置有第三限位部423，第三限位部423设置在第二限位槽34内。通过第二限位槽34对第二限位部412的进行限位，以防止第一轴41和轴套3发生相对转动，通过第二限位槽34对第二限位部412的限位，以防止第二轴42和轴套3之间发生相对转动。在其他实施例中，可以仅在第一轴41上设置第二限位部412，或在仅在第二轴42上设置第三限位部423，不以本实施例为限。具体地，每组第二限位槽34设置有多个，多个第二限位槽34间隔，通过多个第二限位槽34共同对第二限位部412和第三限位部423进行限位，从而进一步提高转轴4和轴套3之间的连接稳定性。
[0050]
具体地，如图2和图8所示，转动组件还包括轴承座7和轴承8，轴承座7与壳体1连接，轴承8设置在轴承座7内，转轴4插设在轴承8内，从而提高转轴4在转动过程中的稳定性。本实施例中，轴承座7间隔设置有多个，以通过多个轴承座7对转轴4进行固定，从而进一步提高转轴4的稳定性。
[0051]
本实施例中，如图4所示，轴承座7包括底座71和轴承盖72，底座71设置在壳体1上，底座71设置有第一安装槽，轴承盖72设置有第二安装槽，第一安装槽和第二安装槽共同形成用于安装轴承8的安装孔，轴承8设置在安装孔内，底座71和轴承盖72可拆卸连接。可拆卸连接的轴承盖72和底座71有利于对轴承8的安装，在安装时，将轴承盖72从底座71上拆除，并将轴承8放置在第一安装槽内，然后将轴承盖72安装到底座71上，并将轴承8卡入第二安装槽内，最后对轴承盖72进行锁紧后便完成轴承8在轴承座7上的安装，操作简单且高效。具体地，底座71和壳体1通过螺栓连接，螺栓连接的稳定性高，能承受较大载荷。在其他实施例中，底座71和壳体1之间还可以是焊接或者铆接，不以本实施例为限。
[0052]
具体地，第一安装槽的槽壁和轴承8的外侧壁之间设置有绝缘层，第二安装槽和轴承8之间设置有绝缘层，以提高轴承座7和轴承8之间稳定性。一些实施例中，仅在第一安装槽的槽壁设置铁氟龙涂层，或仅在第二安装槽的槽壁设置铁氟龙涂层，实际结构可根据需求设计，不以本实施例为限。
[0053]
本实施例中，如图4所示，轴承盖72的一侧与底座71通过第二紧固件连接，另一侧与底座71抵接，由于轴承盖72为金属材料，硬度较高，因此只要对轴承盖72的一侧进行固定，另一侧便无法转动或者移动，便能将轴承8限位在安装孔内，而且该结构仅通过一侧锁定，其拆装效率较高。另外，该化学气相沉积装置由于一些功能需要，在壳体1上设置有限位板11，而且限位板11邻近于轴承座7，因此该轴承座7的结构能避免与限位板11进行干涉，在
轴承盖72邻近限位板11的一侧不设置固定部，仅在轴承盖72远离限位板11的一侧设置固定部，并且固定部通过第二紧固件与底座71固定。优选地，第二固定件为螺丝，轴承盖72和底座71通过螺丝连接的稳定性高，拆装方便。
[0054]
具体地，如图2所示，壳体1内间隔设置有多个沉积腔，通过多个沉积腔可以同时对多个显示面板进行镀膜，从而提高该化学气相沉积装置镀膜的效率。本实施例中，沉积腔设置有三个，因此门体2同样设置有三个，并且三个门体2均通过一个转动组件与壳体1连接。在其他实施例中，门体2可以是一个、两个或者数量，不以本实施例为限。
[0055]
尽管上面已经参考附图描述了本实用新型的实施例，但是本实用新型不限于以上实施例，而是可以以各种形式制造，并且本领域技术人员将理解，在不改变本实用新型的技术精神或基本特征的情况下，可以以其他特定形式来实施本实用新型。因此，应该理解，上述实施例在所有方面都是示例性的而不是限制性的。