一种真空镀膜机用镀膜室的制作方法

1.本实用新型属于真空镀膜技术领域，具体涉及一种真空镀膜机用镀膜室。


背景技术：

2.真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，mbe分子束外延，pld激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种。真空蒸镀是最普遍、应用最广的真空镀膜工艺，真空蒸镀的物理过程包括：沉积材料蒸发或升华为气态粒子
→
气态粒子快速从蒸发源向基片表面输送
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气态粒子附着在基片表面形核、长大成固体薄膜
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薄膜原子重构或产生化学键合。
3.镀膜室壳体是磁控溅射镀膜设备的核心部件，由于各种真空磁控溅射镀膜工艺都必须在真空室条件下进行，因此，镀膜室壳体同时又是磁控溅射镀膜设备的最关键的部件。其性能应满足基本的工艺要求，并确保基片架在室内能够稳定的运行，要求室内温度均匀，具有良好的屏蔽效果，均匀的气流，才能实现连续镀膜。
4.现有的真空镀膜机用镀膜室，在对物体进行真空镀膜前，无法去除物体上的水汽，容易对物品镀膜造成影响，导致镀膜效果差。


技术实现要素：

5.本实用新型的目的在于提供一种真空镀膜机用镀膜室，以解决上述背景技术中提出的问题。
6.为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案为：
7.一种真空镀膜机用镀膜室，包括主体箱，其特征在于：所述主体箱为侧面开口的箱状结构，所述主体箱的内部底端构造有短管，所述短管内部开设有空腔，且所述空腔内中部安装有风扇，所述空腔在风扇的下方安装有加热空气的加热电丝，所述短管的顶端安装有横板，所述主体箱的一侧中部构造有排出主体箱内含有水汽的热空气的通风管，可以对物品进行干燥，防止因物体表面潮湿而导致镀膜效果差。
8.进一步地，所述短管的顶端插接安装有框架，所述框架的底端构造有磁柱，所述短管的顶端开设有供磁柱插接吸附的凹槽，磁吸插接的框架，方便拆卸。
9.进一步地，所述通风管的内侧安装有封闭通风管的第一密封板，所述通风管上安装有控制第一密封板闭合通风管的第一伸缩杆，通过调节第一伸缩杆可以将通风管封闭。
10.进一步地，所述主体箱在空腔的下方开设有连通空腔的通风口，所述通风口的下方安装有闭合通风口的第二密封板，所述主体箱的底端安装有控制第二密封板封闭通风口的第二伸缩杆，通过调节第二伸缩杆可以将通风口封闭。
11.进一步地，所述主体箱的内部顶端安装有正对横板的镀膜机构，所述主体箱的内侧顶端安装有抽出主体箱内空气的真空泵机，正对横板的镀膜机构便于对物品进行镀膜。
12.进一步地，所述主体箱的侧面开口处安装有箱门，所述箱门的内部安装有观察框，且所述观察框内安装有观察板，观察板为透明材料，可以实时观察物品的镀膜情况。
13.与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：通过安装在主体箱内部的短管，由短管内部的风扇和加热电丝，向空腔内输送热空气，对横板上的物品进行热风干，然后含有水汽的空气由通风管排出，可以在对物体进行真空镀膜前，去除物体上的水汽，避免对物品镀膜造成影响，提高镀膜效果；通过安装在短管上的框架，可以将镀膜材料集中在横板的上方，同时可拆卸的框架方便对附着在框架内的镀膜材料进行收集再利用，较为环保。
附图说明
14.图1为本实用新型的结构示意图；
15.图2为本实用新型图1中a-a处的剖视图；
16.图3为本实用新型图2中b处结构的放大示意图。
17.图中：1、主体箱；101、通风口；102、镀膜机构；103、真空泵机；2、短管；201、空腔；202、横板；3、风扇；301、加热电丝；4、通风管；401、第一密封板；402、第一伸缩杆；5、第二密封板；501、第二伸缩杆；6、框架；601、磁柱；7、箱门；701、观察框。
具体实施方式
18.为使本实用新型实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本实用新型。
19.如图1-3所示，一种真空镀膜机用镀膜室，包括主体箱1，其特征在于：主体箱1为侧面开口的箱状结构，主体箱1的内部底端构造有短管2，短管2内部开设有空腔201，且空腔201内中部安装有风扇3，空腔201在风扇3的下方安装有加热空气的加热电丝301，短管2的顶端安装有横板202，具体实施时，横板202为网状结构，便于通风，主体箱1的一侧中部构造有排出主体箱1内含有水汽的热空气的通风管4。
20.其中，述短管2的顶端插接安装有框架6，框架6的底端构造有磁柱601，短管2的顶端开设有供磁柱601插接吸附的凹槽。
21.其中，通风管4的内侧安装有封闭通风管4的第一密封板401，通风管4上安装有控制第一密封板401闭合通风管4的第一伸缩杆402。
22.其中，主体箱1在空腔201的下方开设有连通空腔201的通风口101，通风口101的下方安装有闭合通风口101的第二密封板5，主体箱1的底端安装有控制第二密封板5封闭通风口101的第二伸缩杆501。
23.其中，主体箱1的内部顶端安装有正对横板202的镀膜机构102，主体箱1的内侧顶端安装有抽出主体箱1内空气的真空泵机103。
24.其中，主体箱1的侧面开口处安装有箱门7，箱门7的内部安装有观察框701，且观察框701内安装有观察板，具体实施时，观察板为透明材料，可用透明玻璃制成，但不限于此。
25.工作原理：该真空镀膜机用镀膜室，使用时将各个组件安装完毕后，拉动箱门7，将物品放置在横板202上，然后打开风扇3和加热电丝301，对物品进行热干燥，含有湿气的空气由通风管4排出，干燥完毕后，控制第一伸缩杆402和第二伸缩杆501，封闭通风口101和通风管4，然后打开真空泵机103将主体箱1内空气抽出，然后打开镀膜机构102对横板202上的物品进行镀膜。
26.以上显示和描述了本实用新型的基本原理和主要特征和本实用新型的优点。本行
业的技术人员应该了解，本实用新型不受上述实施例的限制，上述实施例和说明书中描述的只是说明本实用新型的原理，在不脱离本实用新型精神和范围的前提下，本实用新型还会有各种变化和改进，这些变化和改进都落入要求保护的本实用新型范围内。本实用新型要求保护范围由所附的权利要求书及其等效物界定。


技术特征：
1.一种真空镀膜机用镀膜室，包括主体箱(1)，其特征在于：所述主体箱(1)为侧面开口的箱状结构，所述主体箱(1)的内部底端构造有短管(2)，所述短管(2)内部开设有空腔(201)，且所述空腔(201)内中部安装有风扇(3)，所述空腔(201)在风扇(3)的下方安装有加热空气的加热电丝(301)，所述短管(2)的顶端安装有横板(202)，所述主体箱(1)的一侧中部构造有排出主体箱(1)内含有水汽的热空气的通风管(4)。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于：所述短管(2)的顶端插接安装有框架(6)，所述框架(6)的底端构造有磁柱(601)，所述短管(2)的顶端开设有供磁柱(601)插接吸附的凹槽。3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于：所述通风管(4)的内侧安装有封闭通风管(4)的第一密封板(401)，所述通风管(4)上安装有控制第一密封板(401)闭合通风管(4)的第一伸缩杆(402)。4.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于：所述主体箱(1)在空腔(201)的下方开设有连通空腔(201)的通风口(101)，所述通风口(101)的下方安装有闭合通风口(101)的第二密封板(5)，所述主体箱(1)的底端安装有控制第二密封板(5)封闭通风口(101)的第二伸缩杆(501)。5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于：所述主体箱(1)的内部顶端安装有正对横板(202)的镀膜机构(102)，所述主体箱(1)的内侧顶端安装有抽出主体箱(1)内空气的真空泵机(103)。6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机用镀膜室，其特征在于：所述主体箱(1)的侧面开口处安装有箱门(7)，所述箱门(7)的内部安装有观察框(701)，且所述观察框(701)内安装有观察板。

技术总结
本实用新型公开了一种真空镀膜机用镀膜室，包括主体箱，其特征在于：所述主体箱为侧面开口的箱状结构，所述主体箱的内部底端构造有短管，所述短管内部开设有空腔，且所述空腔内中部安装有风扇，所述空腔在风扇的下方安装有加热空气的加热电丝，所述短管的顶端安装有横板，所述主体箱的一侧中部构造有排出主体箱内含有水汽的热空气的通风管，所述短管的顶端插接安装有框架，所述框架的底端构造有磁柱，所述短管的顶端开设有供磁柱插接吸附的凹槽，述通风管的内侧安装有封闭通风管的第一密封板，该真空镀膜机用镀膜室，可以在镀膜前风干物体，避免因物体表面潮湿而导致镀膜效果差。避免因物体表面潮湿而导致镀膜效果差。避免因物体表面潮湿而导致镀膜效果差。


技术研发人员：增田清志 增田博志
受保护的技术使用者：浙江京浜光电科技有限公司
技术研发日：2022.07.25
技术公布日：2022/12/23