一种小型真空设备中的可调角度样品台的制作方法

文档序号:32335353发布日期:2022-11-25 23:45阅读:29来源:国知局
一种小型真空设备中的可调角度样品台的制作方法

1.本实用新型涉及一种薄膜生长实验设备技术领域,具体为一种小型真空设备中的可调角度样品台。


背景技术:

2.目前,在薄膜生长研究领域,无论是以磁控溅射的方式或者是以分子束外延方式进行薄膜生长,研究者希望在不破坏真空的情况下直接在生长设备中观测薄膜状态,但目前上述设备中安装的样品台无法调整角度,本实用新型就是为了解决这一问题,而专门研发的。


技术实现要素:

3.本实用新型的目的在于提供一种小型真空设备中的可调角度样品台。
4.为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:一种小型真空设备中的可调角度样品台,包括法兰和万向节组件,所述法兰上固定连接有磁流体及磁流体电机,所述法兰上设置有支板和滑块固定板,所述法兰通过支板与滑块固定板固定,所述磁流体与传动杆的一端固定连接,所述传动杆另一端设置有传动杆接头,所述传动杆通过传动杆接头与万向节组件连接,所述万向节组件固定连接有样品托。
5.优选的,所述样品托底部设置有轴承座,且所述轴承座上设置有固定座。
6.优选的,所述法兰上设有玻璃管和固定管组,且所述玻璃管一端通过固定管组与法兰连接,另一端通过固定座与样品托连接。
7.优选的,所述磁流体电机上设置有磁流体电机座。
8.优选的,所述传动杆和玻璃管上设有固定板,且所述传动杆和玻璃管贯穿固定板。
9.优选的,所述传动杆设置有传动杆吊板,且所述传动杆贯穿传动杆吊板。
10.与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:本实用新型采用万向节组件和传动杆接头共同调节,以达到研究人员调整样品托任意角度的需求,设计合理实用,解决了常规样品台无法调整角度的问题,本实用新型传动部分设计合理,整个样品台小巧,专门针对实验室条件研发制造,配合本司优选的驱动程序,为研究者提供便利的研究条件。
附图说明
11.图1为本实用新型的主视图;
12.图2为本实用新型剖视图。
13.图中标号:1、磁流体电机;2、滑块固定板;3、磁流体电机座;4、支板;5、法兰;6、磁流体;7、传动杆;8、固定管组;9、玻璃管;10、固定板;11、传动杆吊板;12、传动杆接头;13、万向节组件;14、样品托;15、轴承座;16、固定座。
具体实施方式
14.下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本实用新型保护的范围。
15.请参阅图1-2,本实用新型提供一种技术方案:一种小型真空设备中的可调角度样品台,包括法兰和万向节组件,法兰5上固定连接有磁流体6及磁流体电机1,磁流体电机1上设置有磁流体电机座3,法兰5上设置有支板4和滑块固定板2,法兰5上设有玻璃管9和固定管组8,传动杆7和玻璃管9上设有固定板10,且传动杆7和玻璃管9贯穿固定板10,且玻璃管9一端通过固定管组8与法兰5连接,另一端通过固定座16与样品托14连接,法兰5通过支板4与滑块固定板2固定,磁流体6与传动杆7的一端固定连接,传动杆7设置有传动杆吊板11,且传动杆7贯穿传动杆吊板11,传动杆7另一端设置有传动杆接头12,传动杆7通过传动杆接头12与万向节组件13连接,万向节组件13固定连接有样品托14,样品托14底部设置有轴承座15,且轴承座15上设置有固定座16。
16.工作原理:本实用新型可以先启动磁体电机1,磁体电机1带动传动杆7转动,传动杆7带动是万向节组件13转动,然后,万向节组件13带动样品托14进行转动,当转动到示意位置时,关闭磁体电机1,然后可以将样片放在样品托14上,研究者根据实际需要调整万向节组件13和传动杆接头12,使样品托14倾斜,以达到研究者需要的使用角度。
17.尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。


技术特征:
1.一种小型真空设备中的可调角度样品台,包括法兰和万向节组件,其特征在于:所述法兰(5)上固定连接有磁流体(6)及磁流体电机(1),所述法兰(5)上设置有支板(4)和滑块固定板(2),所述法兰(5)通过支板(4)与滑块固定板(2)固定,所述磁流体(6)与传动杆(7)的一端固定连接,所述传动杆(7)另一端设置有传动杆接头(12),所述传动杆(7)通过传动杆接头(12)与万向节组件(13)连接,所述万向节组件(13)固定连接有样品托(14)。2.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台,其特征在于:所述样品托(14)底部设置有轴承座(15),且所述轴承座(15)上设置有固定座(16)。3.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台,其特征在于:所述法兰(5)上设有玻璃管(9)和固定管组(8),且所述玻璃管(9)一端通过固定管组(8)与法兰(5)连接,另一端通过固定座(16)与样品托(14)连接。4.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台,其特征在于:所述磁流体电机(1)上设置有磁流体电机座(3)。5.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台,其特征在于:所述传动杆(7)和玻璃管(9)上设有固定板(10),且所述传动杆(7)和玻璃管(9)贯穿固定板(10)。6.根据权利要求1所述的一种小型真空设备中的可调角度样品台,其特征在于:所述传动杆(7)设置有传动杆吊板(11),且所述传动杆(7)贯穿传动杆吊板(11)。

技术总结
本实用新型公开了一种小型真空设备中的可调角度样品台,包括法兰和万向节组件,所述法兰上固定连接有磁流体及磁流体电机,所述法兰上设置有支板和滑块固定板,所述法兰通过支板与滑块固定板固定,所述磁流体与传动杆的一端固定连接,所述传动杆另一端设置有传动杆接头,所述传动杆通过传动杆接头与万向节组件连接,所述万向节组件固定连接有样品托,本实用新型采用万向节组件和传动杆接头共同调节,以达到研究人员调整样品托任意角度的需求,设计合理实用,解决了常规样品台无法调整角度的问题,本实用新型传动部分设计合理,整个样品台小巧,专门针对实验室条件研发制造,配合本司优选的驱动程序,为研究者提供便利的研究条件。件。件。


技术研发人员:董顺
受保护的技术使用者:沈阳鹏程真空技术有限责任公司
技术研发日:2022.08.22
技术公布日:2022/11/24
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