一种高密封性能真空镀膜机的制作方法

1.本实用新型属于真空镀膜技术领域，特别是涉及一种高密封性能真空镀膜机。


背景技术：

2.在使用真空镀膜对工件表面进行镀膜时，传统的真空镀膜装置的夹具只是起到放置和固定待镀膜工件的功能，在加热形成镀膜的过程中，对于一些异形工件其表面会有部分位置无法充分接触，进而导致镀膜密封性较差，为解决上述问题现设计一种高密封性能真空镀膜机能有效的解决传统的真空镀膜装置的夹具只是起到放置和固定待镀膜工件的功能，对于一些异形工件无法使其充分与蒸发沉淀镀膜接触，进而导致镀膜密封性较差的问题。


技术实现要素：

3.本实用新型的目的在于提供一种高密封性能真空镀膜机解决传统的真空镀膜装置的夹具只是起到放置和固定待镀膜工件的功能，对于一些异形工件无法使其充分与蒸发沉淀镀膜接触，进而导致镀膜密封性较差的问题：
4.本实用新型为一种高密封性能真空镀膜机，包括底座和真空罩，所述真空罩固定安装在底座的上表面；
5.所述真空罩内部包括内仓，所述内仓内部固定安装有电机，所述电机一端连接有电机轴，所述电机轴一端固定连接有第二夹持板，所述第二夹持板下表面固定连接有若干伸缩筒，所述伸缩筒内部开设有伸缩腔，所述伸缩腔内部安装有牵拉弹簧，所述牵拉弹簧一端设置有伸缩柱，所述伸缩柱与伸缩筒滑动配合，所述伸缩柱一端固定连接有第一夹持板，所述第一夹持板与第二夹持板之间放置有工件，通过设置带有第一夹持板与第二夹持板的电机轴，在使用时可将待镀膜的工件放置在第一夹持板与第二夹持板之间，由于牵拉弹簧的回拉力可使得第一夹持板与第二夹持板配合将工件夹持固定，并且在启动真空泵以及坩埚蒸发装置进行蒸发镀膜的同时可启动电机，电机带动工件匀速转动，能够保证工件与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。
6.进一步地，所述真空罩上表面设置有出气阀，所述出气阀一端穿过内仓与真空罩内部相连通。
7.进一步地，所述底座内部设置有真空泵，所述真空泵一端连接有抽气管，所述抽气管一端与真空罩内部相连通。
8.进一步地，所述真空罩内部安装有坩埚蒸发源，所述坩埚蒸发源一端位于工件的下方。
9.进一步地，所述坩埚蒸发源下表面设置有输出腔，所述输出腔一端连接有坩埚蒸发装置，所述坩埚蒸发装置安装在底座的内部。
10.进一步地，所述底座上表面设置有操控装置，所述操控装置与坩埚蒸发装置电性连接，所述真空罩一表面设置有密封门。
11.本实用新型具有以下有益效果：
12.1、本实用新型通过设置带有第一夹持板与第二夹持板的电机轴，在使用时可将待镀膜的工件放置在第一夹持板与第二夹持板之间，由于牵拉弹簧的回拉力可使得第一夹持板与第二夹持板配合将工件夹持固定，并且在启动真空泵以及坩埚蒸发装置进行蒸发镀膜的同时可启动电机，电机带动工件匀速转动，能够保证工件与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。
13.当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上的所有优点。
附图说明
14.为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
15.图1为本实用新型左视立体结构示意图；
16.图2为本实用新型前视图；
17.图3为本实用新型右视立体结构示意图；
18.图4为本实用新型俯视图；
19.图5为本实用新型真空罩内部结构示意图。
20.附图中，各标号所代表的部件列表如下：1、真空罩；2、出气阀；3、密封门；4、底座；5、操控装置；6、电机；7、抽气管；8、电机轴；9、工件；10、第二夹持板；11、真空泵；12、输出腔；13、坩埚蒸发装置；14、坩埚蒸发源；15、伸缩柱；16、牵拉弹簧；17、伸缩筒；18、第一夹持板；19、内仓。
具体实施方式
21.下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本实用新型保护的范围。
22.在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“中”、“外”、“内”、“下”等指示方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的组件或元件必须具有特定的方位，以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
23.请参阅图1-图5所示，本实用新型为一种高密封性能真空镀膜机，包括底座4和真空罩1，真空罩1固定安装在底座4的上表面；
24.真空罩1内部包括内仓19，内仓19内部固定安装有电机6，电机6一端连接有电机轴8，电机轴8一端固定连接有第二夹持板10，第二夹持板10下表面固定连接有若干伸缩筒17，伸缩筒17内部开设有伸缩腔，伸缩腔内部安装有牵拉弹簧16，牵拉弹簧16一端设置有伸缩柱15，伸缩柱15与伸缩筒17滑动配合，伸缩柱15一端固定连接有第一夹持板18，第一夹持板18与第二夹持板10之间放置有工件9，通过设置带有第一夹持板18与第二夹持板10的电机
轴8，在使用时可将待镀膜的工件9放置在第一夹持板18与第二夹持板10之间，由于牵拉弹簧16的回拉力可使得第一夹持板18与第二夹持板10配合将工件9夹持固定，并且在启动真空泵11以及坩埚蒸发装置13进行蒸发镀膜的同时可启动电机6，电机6带动工件9匀速转动，能够保证工件9与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性。
25.真空罩1上表面设置有出气阀2，出气阀2一端穿过内仓19与真空罩1内部相连通。
26.底座4内部设置有真空泵11，真空泵11一端连接有抽气管7，抽气管7一端与真空罩1内部相连通。
27.真空罩1内部安装有坩埚蒸发源14，坩埚蒸发源14一端位于工件9的下方。
28.坩埚蒸发源14下表面设置有输出腔12，输出腔12一端连接有坩埚蒸发装置13，坩埚蒸发装置13安装在底座4的内部。
29.底座4上表面设置有操控装置5，操控装置5与坩埚蒸发装置13电性连接，真空罩1一表面设置有密封门3。
30.实施例一：
31.本实施例的一个具体应用为：本装置在使用时可将待镀膜的工件9放置在第一夹持板18与第二夹持板10之间，由于牵拉弹簧16的回拉力可使得第一夹持板18与第二夹持板10配合将工件9夹持固定，并且在启动真空泵11以及坩埚蒸发装置13进行蒸发镀膜的同时可启动电机6，电机6带动工件9匀速转动，能够保证工件9与蒸发沉淀镀膜充分接触，提高了镀膜的密封性，其中所使用的ye3，所使用的真空泵11的型号为sk。
32.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“示例”、“具体示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不一定指的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任何的一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。
33.以上公开的本实用新型优选实施例只是用于帮助阐述本实用新型。优选实施例并没有详尽叙述所有的细节，也不限制该实用新型仅为的具体实施方式。显然，根据本说明书的内容，可作很多的修改和变化。本说明书选取并具体描述这些实施例，是为了更好地解释本实用新型的原理和实际应用，从而使所属技术领域技术人员能很好地理解和利用本实用新型。本实用新型仅受权利要求书及其全部范围和等效物的限制。