一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮的制作方法

本技术属于游星轮，具体为一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮。

背景技术：

1、游星轮是应用在玻璃，镜片，硅片，硬盘等各种平面抛光工序的夹具，又被称为抛光治具，抛光垫等，但现有技术中的的游星轮表面的通孔都是固定的，如果遇到加工件的大小及数量不一样时，可能会使得使用者不能及时找到适配游星轮进行加工，同时也不方便对通孔的更换，从而导致加工过程中费时费力，因此，需要一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮来对上述问题进行改进。

技术实现思路

1、(一)解决的技术问题

2、为了克服现有技术的上述缺陷，本实用新型提供了一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，解决了现有技术中的的游星轮表面的通孔都是固定的，如果遇到加工件的大小及数量不一样时，可能会使得使用者不能及时找到适配游星轮进行加工，同时也不方便对通孔的更换，从而导致加工过程中费时费力的问题。

3、(二)技术方案

4、为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，包括游星轮主体，所述游星轮主体的内壁搭接有内环组件，所述游星轮主体的内壁固定连接有四个固定组件。

5、所述固定组件的外表面与内环组件的内壁固定连接，四个所述固定组件的另一端固定连接有同一个支撑组件，所述内环组件的内壁开设有导向槽，所述导向槽的内壁滑动连接有导向块。

6、所述内环组件的内壁搭接有放置框，所述放置框的外表面与支撑组件的外表面搭接，所述内环组件的右侧面搭接有限位组件。

7、作为本实用新型的进一步方案：所述内环组件的内壁开设有四个穿孔，所述内环组件的形状设置为圆环形。

8、作为本实用新型的进一步方案：所述放置框的内壁固定连接有防护组件，所述穿孔和导向槽相连通。

9、作为本实用新型的进一步方案：所述放置框与导向块的相对面固定连接，所述导向块的形状设置为矩形。

10、作为本实用新型的进一步方案：所述限位组件的左侧面固定连接有四个限位杆，所述内环组件的右侧面开设有四个限位孔。

11、作为本实用新型的进一步方案：所述限位孔的内壁与限位杆的外表面搭接，所述限位杆的形状设置为圆柱形。

12、(三)有益效果

13、与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：

14、1、该用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，通过设置放置框、导向槽、导向块、限位组件、限位杆和限位槽，首先将放置框接触内环组件，使得放置框上的导向块接触穿孔，往左推动放置框，使得放置框带的导向块往左运动，进而将导向块推到导向槽内，然后将限位组件接触内环组件，使得限位组件上的限位杆接触限位孔，然后往左推动限位组件，使得限位组件带动限位杆在限位孔内往左运动，直至限位组件紧贴内环组件，在导向槽和导向块的作用下，从而方便使用者对放置框编号数量的调节使用，同时限位杆和限位孔的接触和分离，从而方便使用者对放置框的更换使用，同时也保证了加工过程中省时省力。

15、2、该用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，通过设置防护组件和内环组件，当使用该用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮时，防护组件则对加工件起到良好的保护作用，内环组件对放置框起到支撑限位作用，从而方便使用者对放置框的调节。

16、3、该用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，通过设置固定组件和支撑组件，当使用该用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮时，固定组件和支撑组件的相互配合下，从而保证了游星轮主体在加工过程中不会出现随意晃动的现象。

技术特征：

1.一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，包括游星轮主体(1)，其特征在于：所述游星轮主体(1)的内壁搭接有内环组件(7)，所述游星轮主体(1)的内壁固定连接有四个固定组件(2)；

技术总结
本技术公开了一种用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，属于游星轮技术领域，其包括游星轮主体，所述游星轮主体的内壁搭接有内环组件，所述游星轮主体的内壁固定连接有四个固定组件，所述固定组件的外表面与内环组件的内壁固定连接，四个所述固定组件的另一端固定连接有同一个支撑组件。该用于半导体晶片加工的具有孔位编号的游星轮，通过设置放置框、导向槽、导向块、限位组件、限位杆和限位槽，直至限位组件紧贴内环组件，在导向槽和导向块的作用下，从而方便使用者对放置框编号数量的调节使用，同时限位杆和限位孔的接触和分离，从而方便使用者对放置框的更换使用，同时也保证了加工过程中省时省力。

技术研发人员：程鹏,程波,陈元瑞
受保护的技术使用者：无锡晶名光电科技有限公司
技术研发日：20220914
技术公布日：2024/1/11