一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置的制作方法

1.本实用新型涉及人工金刚石生产技术领域，具体涉及一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置。


背景技术：

2.金刚石，俗称“金刚钻”是一种由碳元素组成的矿物，是石墨的同素异形体，化学式为c，也是常见的钻石的原身，金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质。石墨可以在高温、高压下形成人造金刚石，人造金刚石在其生长即制备时需要将培养片置于培养盘上，随后将培养盘放置在微波等离子体化学气相沉积用的真空气相室内，使得培养片在高温低压环境下通入甲烷和氢气促使甲烷中的碳单质沉积在培养片上，此过程全程高温低压而在放置培养盘时需要工作人员手持夹具将培养盘夹起放入真空气相室，相应的取出时也需要工作人员手动加持，而常见的进料夹具即夹取培养盘将单晶体培养片放入真空气相室的夹具，没有相应的防护措施工作人员在操作时容易受到高温伤害，且培养盘为圆形夹取较为困难且费力，有鉴于此我们提出一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置来解决上述问题。


技术实现要素：

3.有鉴于此，本实用新型提供一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置，可以通过设置在夹具上的防护罩对真空气相室进料口与工作人员手持部位进行隔离减少高温伤害，同时通过夹具上设置的顶板以及侧夹板将培养盘进行固定便于夹取。
4.为解决上述技术问题，本实用新型提供一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置，包括进料装置即夹具的主体，主体的一侧设置有防护罩，防护罩固定连接在主体上，通过防护罩减少高温对工作人员带来的伤害，防护罩另一侧且在主体上设置有夹取头，夹取头用以将培养盘进行夹取，夹取头由固定连接在主体上的安装板以及设置在安装板上的定夹板和侧夹板组成，侧夹板于定夹板间且在主体上还连接有固定机构，固定机构用以在夹取头将培养盘进行夹取时对培养盘进行固定。
5.防护罩为耐高温玻璃制成，即在对培养盘进行夹取时仍可通过耐高温玻璃对培养盘进行观察，防护罩呈弧状，防护罩呈弧状可将逸散的高温气体向防护罩两侧导流避免高温汽体集中到工作人员手部带来伤害，主体穿过防护罩且与防护罩固定连接，主体上活动连接有按压板，按压板在按压时夹取头收紧对培养盘进行夹取，且同时顶板伸出对培养盘进行固定，对应按压板在主体的侧壁上开设有连接槽，连接槽内设置有用以连接按压板的连接轴，即按压板可沿连接槽上所设的连接轴进行转动。
6.主体的内部为空腔，固定机构位于空腔内部，固定机构包括设置在主体内部的顶杆，顶杆贯穿主体的内部，设置在顶杆一侧且与按压板相适应的按压盘，按压盘与按压板相适应，相应的在按动按压杆时按压盘将带动顶杆下沉，设置在按压盘一侧且固定连接在主体内壁上的限位板，限位板固定连接在主体的内壁上且顶杆穿过按压盘，设置在按压板与
限位板间且套接在顶杆上的弹性结构，设置在顶杆另一侧且位于安装板内的限位段，限位段位于安装板内部，设置在限位段上的第一限位环板以及连接在限位段上且位于定夹板与侧夹板间的顶板，顶板与顶杆连接，按压盘与主体内的空腔相适应，限位板上设置有与顶杆相适应的穿孔，限位段的一侧穿过安装板且在穿过安装板的限位段上设置有第二限位环板，相对的第一限位环板与第二限位环板对顶杆的活动区间进行限位。
7.定夹板固定连接在安装板上，侧夹板上设置有与安装板活动连接的侧边卡板，侧边卡板与侧夹板为一体结构，侧边卡板上活动连接有伸缩杆，伸缩杆与固定筒相配合使得常态下侧夹板受到伸缩杆的推力，相应的侧夹板将远离定夹板一侧，伸缩杆与设置在安装板内壁上的固定筒相连，固定筒内设置有弹性金属片，弹性金属片常态下作用力将带动伸缩杆向固定筒外部伸出，伸缩杆的一侧且在固定筒内设置有与弹性金属片相接触的活动板，侧边卡板通过连接轴活动连接在安装板的侧壁上，伸缩杆与侧边卡板相铰接，即伸缩杆与固定筒分别于侧边卡板以及安装板的内壁进行铰接以此适应侧边卡板发生变化时产生形变，固定筒与安装板的内壁活动连接。
8.本实用新型的上述技术方案的有益效果如下：
9.1、主体上安装防护罩且防护罩呈弧状，可通过防护罩有效导流并隔绝热量避免高温烫伤工作人员。
10.2、伸缩杆以及固定筒相配合使得侧边卡板常态下带动侧夹具复位即远离定夹具。
11.3、按压杆按下时顶杆将带动顶板对培养盘进行限位，同时侧夹具配合定夹具对培养盘进行固定并夹取，能够有效避免培养盘脱落。
附图说明
12.图1为本实用新型的俯视结构示意图；
13.图2为本实用新型的俯视剖视结构示意图；
14.图3为本实用新型的正视结构示意图；
15.图4为本实用新型的图2中a处结构放大示意图。
16.图中：100、主体；101、防护罩；102、安装板；103、定夹板；104、侧夹板；105、按压板；106、侧边卡板；200、顶杆；201、按压盘；202、限位板；203、弹性结构；204、限位段；205、第一限位环板；206、顶板；207、第二限位环板；300、伸缩杆；301、固定筒；302、弹性金属片；303、活动板。
具体实施方式
17.为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例的附图1-4，对本实用新型实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本实用新型的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本实用新型的实施例，本领域普通技术人员所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
18.如图1、2、3所示：一种微波等离子体化学气相沉积用单晶体原料进料装置，包括进料装置即夹具的主体100，主体100的一侧设置有防护罩101，防护罩101朝向真空气相室的进料口，在进料以及出料时手握主体100将夹取头部分伸入真空气相室内，透过防护罩101目视夹取头对培养盘的夹取情况，防护罩101另一侧且在主体100上设置有夹取头，夹取头
由固定连接在主体100上的安装板102以及设置在安装板102上的定夹板103和侧夹板104组成，定夹板103固定在安装板102上，而侧夹板104可在安装板102上进行活动，即通过侧夹板104配合定夹板103将培养盘进行固定并夹取，侧夹板104于定夹板103间且在主体100上还连接有固定机构。
19.防护罩101为耐高温玻璃制成，防护罩101呈弧状，（可参照图1、2）防护罩101呈弧状可对热量形成导流效果，而防护罩101为耐高温玻璃支撑可透过防护罩101对真空气相室内的情况进行观察，有助于夹取头对培养盘的夹取，主体100穿过防护罩101且与防护罩101固定连接，即主体100与防护罩101为一体结构，主体100上活动连接有按压板105，对应按压板105在主体100的侧壁上开设有连接槽，连接槽内设置有用以连接按压板105的连接轴，按压板105可沿连接轴进行旋转，主体100的内部为空腔，固定机构位于空腔内部，固定机构包括设置在主体100内部的顶杆200，设置在顶杆200一侧且与按压板105相适应的按压盘201，（可参照图2）在拉动按压杆时通过按压板105另一侧下沉对按压盘201形成挤压，迫使顶板206带动顶杆200向夹取头一侧运动，设置在按压盘201一侧且固定连接在主体100内壁上的限位板202，限位盘固定连接在主体100的内壁上，顶板206穿过限位盘，且限位盘对弹性结构203进行限位使其作用力只能朝向限位盘，从而带动顶杆200朝向按压板105一侧运动即复位，设置在按压板105与限位板202间且套接在顶杆200上的弹性结构203，设置在顶杆200另一侧且位于安装板102内的限位段204，限位段204使得顶杆200的一侧只能在安装板102内进行运动，设置在限位段204上的第一限位环板205以及连接在限位段204上且位于定夹板103与侧夹板104间的顶板206组成，按压盘201与主体100内的空腔相适应，限位板202上设置有与顶杆200相适应的穿孔，限位段204的一侧穿过安装板102且在穿过安装板102的限位段204上设置有第二限位环板207。
20.如图3、4所示：定夹板103固定连接在安装板102上，侧夹板104上设置有与安装板102活动连接的侧边卡板106，侧边卡板106上活动连接有伸缩杆300，顶杆200在运动时将带动第一限位板202挤压设置在安装板102内的双侧翘板，通过双侧翘板的一侧挤压侧边卡板106，通过侧边卡板106带动侧夹板104向定夹板103一侧运动从而对培养盘进行固定，伸缩杆300与设置在安装板102内壁上的固定筒301相连，固定筒301内设置有弹性金属片302，伸缩杆300的一侧且在固定筒301内设置有与弹性金属片302相接触的活动板303，侧边卡板106通过连接轴活动连接在安装板102的侧壁上，伸缩杆300与侧边卡板106相铰接，固定筒301与安装板102的内壁活动连接。
21.此外，还需要说明的是，在本实用新型的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域技术人员而言，可根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
22.以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。