推舟座及管式PECVD设备的制作方法

推舟座及管式pecvd设备
技术领域
1.本实用新型涉及薄膜工艺设备技术领域，尤其涉及一种推舟座及管式pecvd设备。


背景技术：

2.pecvd(plasma enhanced chemical vapor deposition)等离子增强化学气相沉积是光伏产业生产电池过程中重要的薄膜工艺设备。pecvd具备投资成本低、占地面积小、开机率高等特点。
3.目前管式pecvd设备采用推舟装置将石墨舟推至炉体反应管内，同时将反应管内石墨舟取出。推舟装置包含推舟座及推舟桨，推舟座连接模组滑块和推舟桨，推舟桨连接石墨舟，推舟座是影响石墨舟能否正常送入炉体反应管的重要部件。
4.推舟桨为悬臂梁结构，推舟桨的变形会导致进舟时，推舟桨与炉管发生刮擦。
5.随着光伏产业发展，行业内迫切需要提高管式pecvd的生产效率，因此需要增大石墨舟的载片量。而石墨舟的载片量增大时，石墨舟的重量增大，造成推舟桨的变形量增大，容易与炉管发生刮擦。由此可见，推舟桨所产生变形是限制石墨舟载片量以及限制生产效率的重要因素。


技术实现要素：

6.本实用新型提供一种推舟座及管式pecvd设备，用以解决现有技术中推舟桨所产生的变形限制石墨舟载片量的问题。
7.本实用新型提供一种推舟座，包括：
8.连接杆，所述连接杆适于安装推舟桨；
9.安装框架，所述安装框架适于连接模组滑块；
10.安装组件，设置于所述安装框架，所述安装组件包括竖向设置的第一调节件，所述第一调节件连接所述连接杆的一端，所述第一调节件适于调节所述连接杆的高度。
11.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述安装组件还包括：
12.夹块，所述夹块与所述安装框架固定连接，所述夹块上设置有贯穿孔和第一调节孔，所述第一调节孔连通所述贯穿孔；
13.所述连接杆穿设于所述贯穿孔，所述连接杆的上侧与所述贯穿孔的顶部内壁之间和/或所述连接杆的下侧与所述贯穿孔的底部内壁之间间隔设置；
14.所述第一调节件穿设于所述第一调节孔，且端部与所述连接杆连接。
15.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述夹块设置有两个，所述连接杆同时穿设于两个所述夹块，且分别通过对应的所述第一调节件与两个所述夹块连接。
16.根据本实用新型提供的一种推舟座，
17.所述第一调节孔为长圆孔，且所述第一调节孔的长度方向平行于所述连接杆的长度方向。
18.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述夹块的上下两侧分别设置有至少一个与
所述连接杆连接的所述第一调节件。
19.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述安装框架上设置有第二调节孔，所述第二调节孔为长圆孔，所述第二调节孔的长度方向水平且垂直于所述连接杆的长度方向；
20.所述安装组件还包括第二调节件，所述第二调节件穿设于所述第二调节孔，并与所述夹块连接，所述第二调节件适于沿所述第二调节孔的长度方向调节位置。
21.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述安装组件还包括第三调节件，所述第三调节件穿设于所述安装框架，所述第三调节件的轴线平行于所述第二调节孔的长度方向，所述第三调节件与所述夹块连接，所述第三调节件适于沿所述第二调节孔的长度方向调节所述连接杆的位置。
22.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述安装框架包括：
23.固定板，所述固定板上设置有第一安装件，所述第一安装件适于连接所述模组滑块；
24.一对侧支撑块，所述侧支撑块与所述固定板垂直固定，所述安装组件连接所述侧支撑块；以及
25.至少一个加强板，所述加强板位于一对所述侧支撑块之间，且分别与一对所述侧支撑块垂直固定，所述安装组件连接所述加强板。
26.根据本实用新型提供的一种推舟座，所述连接杆为方形管结构。
27.本实用新型还提供一种管式pecvd设备，包括模组滑块、推舟桨、石墨舟和上述的推舟座，所述安装框架与所述模组滑块固定连接，所述推舟桨安装于所述连接杆，所述石墨舟设置于所述推舟桨。
28.本实用新型提供的推舟座，可以通过第一调节件调节连接杆的高度，由此可以在竖直方向上调节推舟桨，保证推舟桨因石墨舟载片量发生变化时推舟桨不会与炉管发生刮擦，进而可以适应大载片量的生产过程，有效提高生产效率。
29.进一步地，在本实用新型提供的管式pecvd设备中，由于具备如上所述的推舟座，因此同样具备如上所述的优势。
附图说明
30.为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
31.图1是本实用新型提供的一种推舟座整体结构示意图；
32.图2是本实用新型提供的一种推舟座中的夹块结构示意图；
33.图3是本实用新型提供的一种推舟座中的连接杆结构示意图；
34.图4是本实用新型提供的一种推舟座中的侧支撑块结构示意图；
35.图5是本实用新型提供的一种推舟座中的固定板结构示意图；
36.图6是本实用新型提供的一种推舟座中的加强板结构示意图；
37.附图标记：
38.1、安装框架；2、连接杆；3、第一调节件；4、夹块；5、贯穿孔；6、第一调节孔；7、第二
调节孔；8、侧向孔；9、第二调节件；10、第三调节件；11、第一安装孔；12、第二安装孔；13、第一安装件；14、第四安装孔；15、第五安装孔；16、第三安装件；17、第六安装孔；18、第七安装孔；19、第一避让孔；20、第二避让孔；21、固定板；22、侧支撑块；23、加强板；24、连接块；25、第三安装孔；26、第二安装件。
具体实施方式
39.下面结合附图和实施例对本实用新型的实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不能用来限制本实用新型的范围。
40.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型实施例和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型实施例的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
41.在本实用新型实施例的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型实施例中的具体含义。
42.在本实用新型实施例中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
43.在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本实用新型实施例的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。
44.下面结合图1至图6描述本实用新型实施例的推舟座，该推舟座可以安装在模组滑块上，随模组滑块滑动。为便于描述，设定推舟座随模组滑块滑动时的方向为x方向，垂直于x方向的水平方向为y方向，竖直方向为z方向。
45.结合图1至图3，根据本实用新型实施例的推舟座，其包括连接杆2、安装框架1及安装组件。安装框架1适于连接模组滑块。连接杆2沿x方向设置，连接杆2适于安装推舟桨，对推舟桨进行支撑。安装组件设置于安装框架1，安装组件包括第一调节件3，第一调节件3竖向设置，也即第一调节件3沿z方向设置。第一调节件3与连接杆2的一端连接，以适于调节连
接杆2的高度。本实用新型实施例中，第一调节件3优选为螺栓结构，通过旋转第一调节件3可以调节连接杆2的高度。
46.上述方案中，通过第一调节件3调节连接杆2，使连接杆2的高度变化，进而使推舟桨的高度发生变化，以适应不同的载片量。例如，当石墨舟上的载片量较大时，可以通过第一调节件3向上调节连接杆2，相应地，推舟桨随连接杆2向上调节，能够有效防止推舟桨与炉管发生刮擦。
47.根据本实用新型实施例的推舟座，安装组件还包括夹块4，夹块4与安装框架1固定连接。夹块4可采用长方形块体结构，夹块4上设置有贯穿孔5和第一调节孔6。贯穿孔5沿x方向贯穿夹块4，第一调节孔6竖向设置并与贯穿孔5连通。
48.连接杆2穿设于贯穿孔5，连接杆2的上侧与贯穿孔5的顶部内壁之间和/或连接杆2的下侧与贯穿孔5的底部内壁之间间隔设置。可以理解的是，在z方向上，贯穿孔5的尺寸大于连接杆2的尺寸，由此可以使连接杆2能够在贯穿孔5内沿z方向调整位置。
49.第一调节件3穿设于第一调节孔6，且端部与连接杆2连接，通过旋转第一调节件3可以调节连接杆2的高度。在一种可选方案中，第一调节孔6为螺纹孔，第一调节件3螺纹连接于第一调节孔6，第一调节件3的端部与连接杆2转动连接，且第一调节件3与连接杆2之间在第一调节件3的轴向上的相对位置固定；在另一种可选方案中，第一调节孔6为通孔，第一调节件3可转动地穿设在第一调节孔6内，第一调节件3的端部与连接杆2螺纹连接。
50.可以理解的是，第一调节件3可以连接连接杆2的下侧，也可以连接连接杆2的上侧。进一步可以理解的是，当第一调节件3与连接杆2的下侧连接，且仅通过位于连接杆2下侧的第一调节件3支撑连接杆2时，应当使第一调节件3转动连接于夹块4，通过夹块4对第一调节件3进行轴向移动限位，且第一调节件3的顶端与连接杆2的下侧螺纹连接。
51.可选地，夹块4的上下两侧分别设置有至少一个与连接杆2连接的第一调节件3。位于夹块4上侧的第一调节件3与连接杆2的上侧连接，为连接杆2提供向上的拉力；位于夹块4下侧的第一调节件3与连接杆2的下侧连接，为连接杆2提供向下的拉力。夹块4上下两侧的第一调节件3共同作用于连接杆2，能够对连接杆2形成稳定的固定。需要调节连接杆2的高度时，同时调整夹块4上下两侧的第一调节件3即可。
52.可选地，夹块4设置有两个，两个夹块4平行间隔设置。两个夹块4可以采用相同形状，也可以采用不同的形状，本实施例中，两个夹块4优选为相同形状。连接杆2同时穿设于两个夹块4，且分别通过对应的第一调节件3与两个夹块4连接，由此，可以达到更稳定的支撑效果。并且此种设置方式还有利于在连接杆2的一端受力时，防止第一调节件3承受较大的剪切应力，对第一调节件3起到保护作用。当然，在一些可选方式中，夹块4也可以沿连接杆2的长度方向设置三个以上，并分别通过第一调节件3与连接杆2连接。
53.可选地，连接杆2的外壁设置有与第一调节件3对应的连接块24，第一调节件3连接该连接块24。以夹块4设置有两个，且各夹块4的上下两侧分别设置有一个第一调节件3为例，连接杆2的上侧和下侧分别设置有两个连接块24，位于连接杆2上侧的两个连接块24之间以及位于连接杆2下侧的两个连接块24之间分别沿连接杆2的长度方向间隔排布，各连接块24分别螺纹连接或转动连接对应的第一调节件3。
54.在本实用新型一些实施例中，第一调节孔6为长圆孔，第一调节孔6的长度方向平行于连接杆2的长度方向，即第一调节孔6的长度方向沿x方向。沿第一调节孔6长度方向调
整第一调节件3的位置可以实现沿x方向调整连接杆2位置的功能。
55.可选地，第一调节孔6为沉头孔结构，由此可以实现对第一调节件3头部的隐藏，还能使第一调节件3与夹块4的配合更稳定。
56.在本实用新型一些实施例中，安装框架1上设置有第二调节孔7，第二调节孔7为长圆孔，第二调节孔7的长度方向水平且垂直于连接杆2的长度方向，即第二调节孔7的长度方向沿y方向。
57.安装组件还包括第二调节件9，第二调节件9穿设于第二调节孔7，并与夹块4连接，第二调节件9能够将夹块4固定在安装框架1上，且第二调节件9适于沿第二调节孔7的长度方向调节位置。优选地，第二调节件9为螺栓结构，第二调节件9螺纹连接于夹块4，通过松动第二调节件9并使第二调节件9沿第二调节孔7滑动可以沿y方向调节连接杆2的位置。
58.可选地，夹块4侧壁设置有多个侧向孔8，侧向孔8为螺纹孔结构，各侧向孔8分别对应连接第二调节件9，第二调节孔7与第二调节件9对应设置有多个。例如，夹块4设置有两个，每个夹块4的四角位置分别设置有一个侧向孔8，第二调节件9和第二调节孔7设置有八个，各第二调节件9分别穿设于相应的第二调节孔7，并与相应的侧向孔8螺纹配合。由此可以增加夹块4与安装组件固定的牢固性。
59.在本实用新型一些实施例中，安装组件还包括第三调节件10，第三调节件10穿设于安装框架1。第三调节件10的轴线平行于第二调节孔7的长度方向，即第三调节件10的长度方向沿y方向。第三调节件10与夹块4连接，通过第三调节件10可以沿y方向调整夹块4及连接杆2的位置。优选地，本实用新型实施例中第三调节件10为螺栓结构。
60.可以理解的是，为实现通过第三调节件10调节夹块4及连接杆2的位置，可以采用以下两种方式：
61.一、第三调节件10与安装框架1之间为转动连接，安装框架1对第三调节件10形成轴向移动限位，防止第三调节件10轴向移动。第三调节件10与夹块4螺纹连接。转动第三调节件10时可调整第三调节件10与夹块4的配合长度，以驱动夹块4移动；
62.二、第三调节件10与安装框架1之间为螺纹连接。第三调节件10与夹块4之间为转动连接，在第三调节件10的轴向上，第三调节件10与夹块4相对位置固定。转动第三调节件10时可调整第三调节件10与安装框架1的配合长度，以驱动夹块4移动。
63.可选地，夹块4的两侧分别设置有至少两个第三调节件10，以增加夹块4与安装框架1之间连接的牢固性。
64.根据本实用新型实施的推舟座，安装框架1包括固定板21、一对侧支撑块22以及加强板23。
65.结合图5，固定板21竖向设置，固定板21上设置有第一安装孔11。第一安装孔11为通孔结构。第一安装孔11内穿设有第一安装件13，第一安装件13适于连接模组滑块。第一安装件13可以为螺栓或铆钉等结构，优选地，第一安装件13为螺栓结构。
66.回见图4，侧支撑块22与固定板21垂直固定。具体地，固定板21上还设置有第二安装孔12，侧支撑块22上设置有与第二安装孔12对应的第三安装孔25，第三安装孔25内穿设有第二安装件26，第二安装件26与第二安装孔12连接。第二安装件26可以为螺栓或铆钉等结构，优选地，第二安装件26为螺栓结构，相应地，第二安装孔12为螺纹孔，第三安装孔25为通孔结构。
67.可选地，侧支撑块22上设置有第一避让孔19，第三安装孔25与第一避让孔19连通，第二安装件26可以通过第一避让孔19插入第三安装孔25内。
68.安装组件连接侧支撑块22。具体地，第二调节孔7设置于侧支撑块22，第二调节件9将夹块4固定在侧支撑块22上，实现安装组件与侧支撑块22之间的连接。
69.可选地，侧支撑块22上设置有第二避让孔20，连接杆2穿过夹块4的一端可穿过第二避让孔20。
70.结合图6，加强板23设置有至少一个，本实用新型实施例中加强板23优选为两个，且两个加强板23分置于夹块4的两侧。
71.加强板23位于一对侧支撑块22之间，且分别与一对侧支撑块22垂直固定。具体的，加强板23的两端分别设置有至少一个第四安装孔14，侧支撑块22上设置有与第四安装孔14对应的第五安装孔15，第五安装孔15内穿设有第三安装件16，第三安装件16与第四安装孔14配合连接。第三安装件16可以为螺栓或铆钉等结构，优选地，第三安装件16为螺栓结构，第四安装孔14为螺纹孔，第五安装孔15为通孔，第三安装件16穿设在第五安装孔15内并与第四安装孔14螺纹配合。
72.安装组件连接加强板23。具体地，加强板23上设置有第六安装孔17，夹块4上设置有第七安装孔18，第三调节件10分别与第六安装孔和第七安装孔18配合连接。在一种可选方式中，第七安装孔18为螺纹孔，第三调节件10转动设置在第六安装孔17内，并与第七安装孔18螺纹连接；在另一种可选方式中，第六安装孔17为螺纹孔，第三调节件10螺纹连接于第六安装孔17，并转动设置在第七安装孔18内。
73.根据本实用新型实施例的推舟座，连接杆2为方形管结构，使连接杆2具有更好的抗弯性能，以此尽可能减小连接杆2变形量，从而提高载重量。
74.本实用新型实施例还提供一种管式pecvd设备，包括模组滑块、推舟桨、石墨舟和上述的推舟座，安装框架1与模组滑块固定连接，推舟桨安装于连接杆2，石墨舟设置于推舟桨。
75.最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。