本技术涉及镀膜机,具体是一种箱式真空镀膜机冷却装置。
背景技术:
1、真空镀膜是指在真空环境下,将某种金属或金属化合物以气相的形式沉积到材料表面(通常是非金属材料),属于物理气相沉积工艺,真空镀膜技术广泛应用到电子、宇航、包装、光伏等技术领域,当利用真空腔体在基片上对某种材料进行真空镀膜时,往往由于沉积反应或工艺要求,需要对基片进行高温加热,加热过程导致真空腔体内部温度过高,长期受热则会使真空腔体内部的机械结构发生形变,从而使真空腔体的功能失效,因此使用时需要冷却装置对镀膜机进行冷却处理。
2、现有的真空镀膜机通常是采用自然冷却的方式进行冷切降温,但是自然冷却速度较慢,温度冷却不及时容易损坏真空镀膜机的内部机械结构,中国专利cn215103535u公布了一种真空镀膜机冷却装置,该装置虽然可提高冷却范围,但是由于镀膜机外侧设置有安装箱,而冷却装置设置在镀膜机与安装箱之间,安装箱将镀膜机产生的热量封闭在安装箱内,虽然冷却装置及时对镀膜机进行散热冷却,但是热量封闭在安装箱内,随着时间正常整个安装箱内部的温度会逐渐升高,从而使得冷却效果逐渐下降。
3、因此,我们提出一种箱式真空镀膜机冷却装置用以解决上述问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的在于提供一种箱式真空镀膜机冷却装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
2、为实现上述目的,本实用新型提供如下技术方案:
3、一种箱式真空镀膜机冷却装置,包括:外箱体,所述外箱体内固定安装有承载架,所述承载架上设置有镀膜机;
4、散热冷却组件,所述散热冷却组件设置在外箱体内部的镀膜机一侧,用于进行镀膜机的冷却散热,其中包括:驱动组件,所述驱动组件设置在镀膜机与外箱体顶部之间,用于散热时的驱动工作;散热组件,所述散热组件设置在驱动组件一端,用于由镀膜机的一侧对镀膜机进行散热工作。
5、与现有技术相比,本实用新型的有益效果是:
6、该装置在使用时,相较于现有的镀膜机冷却装置能够对镀膜机的周边进全方位的散热冷却,而且散热冷却时产生的“热气”会随着散热工作的进行快速的被排送至外箱体的外侧,加大内外空气流动速度,提升镀膜机使用时的冷却散热效果。
1.一种箱式真空镀膜机冷却装置,其特征在于,包括:外箱体,所述外箱体内固定安装有承载架,所述承载架上设置有镀膜机;
2.根据权利要求1所述的一种箱式真空镀膜机冷却装置,其特征在于,所述承载架与外箱体的底部与底部分别设置有第一散热通风孔与第二散热通风孔,用于提升外箱体的箱体内外空气流通速度,提升冷却散热效果。
3.根据权利要求2所述的一种箱式真空镀膜机冷却装置,其特征在于,所述驱动组件包括:
4.根据权利要求3所述的一种箱式真空镀膜机冷却装置,其特征在于,所述散热组件包括:
5.根据权利要求4所述的一种箱式真空镀膜机冷却装置,其特征在于,所述转轴的一端安装有排热扇,用于将镀膜机产生的热量经过散热扇散发然后通过排热扇排至处理箱外侧,从而降低处理箱的内部温度。