本技术涉及电池片,尤其涉及一种楔形拼接式石墨舟。
背景技术:
1、石墨舟是一种在等离子体增强型化学气相沉积(pecvd)管式炉内进行氮化硅薄膜沉积的承载工具。
2、现有技术的石墨舟中,在镀膜时,载体石墨舟需要往复运动直至与两侧的挡板进行拍舟,在该过程中会导致石墨舟片的连接耳与电极块之间相互撞击,产生隐裂,甚至产生断裂,严重影响硅片镀膜生产效率和生产成本。
3、具体的,在使用过程中,位于托盘上的石墨舟在气缸的带动下在两个挡板之间往复运动(如图16和图17所示)。在拍舟过程中,电极块会对石墨舟片的连接耳产生推力,在该推力的作用下,连接耳部分容易产生隐裂,甚至产生断裂,造成生产质量问题甚至停工,严重影响硅片镀膜生产效率和生产成本。
技术实现思路
1、鉴于上述的分析,本实用新型旨在提供一种楔形拼接式石墨舟,用以解决石墨舟片连接处易于折损,影响石墨舟使用寿命的技术问题。
2、本实用新型通过如下技术方案实现:
3、一种楔形拼接式石墨舟,包括石墨舟片组件、电极块组件以及连接所述石墨舟片组件和电极块组件的石墨杆组件,所述电极块组件分别设置在所述石墨舟片组件的长度方向上相对的第一端和第二端;
4、其中所述石墨舟片组件包括多个石墨舟片,每个所述石墨舟片两端均设置有向外延伸的楔形连接耳,所述楔形连接耳的厚度从上到下连续递减;
5、所述电极块组件上设置有与每个所述石墨舟片上的所述楔形连接耳相匹配的多个楔形连接槽;
6、其中,所述石墨舟片上的所述楔形连接耳插接在所述电极块组件的楔形连接槽内并且通过所述石墨杆组件连接在一起。
7、进一步地,所述楔形连接耳包括与竖直方向成角度的第一倾斜侧面,所述电极块组件的楔形连接槽包括与所述第一倾斜侧面匹配的第二倾斜侧面。
8、进一步地,所述电极块组件包括多个电极块,
9、其中,多个所述电极块中的一部分电极块的外侧面形成所述第二倾斜侧面,和/或
10、多个所述电极块中的另一部分电极块内部形成具有所述第二倾斜侧面的楔形缺口。
11、进一步地,所述楔形连接耳和所述电极块上均设置有连接孔,所述石墨杆组件依次穿过所述楔形连接耳和所述电极块上设置的所述连接孔并且在端部通过螺母将所述楔形连接耳和所述电极块连接在一起。
12、进一步地,所述楔形连接耳包括设置在所述石墨舟片的端部的上侧的上楔形连接耳以及设置在所述石墨舟片的端部的下侧的下楔形连接耳;
13、所述石墨舟片组件中的所有石墨舟片被划分为第一石墨舟片单元和第二石墨舟片单元,所述第一石墨舟片单元中的每个所述石墨舟片在所述第一端设置所述上楔形连接耳并且在所述第二端设置所述下楔形连接耳;所述第二石墨舟片单元中的每个所述石墨舟片在所述第一端设置所述下楔形连接耳并且在所述第二端设置上楔形连接耳,
14、其中,所述第一石墨舟片单元中的石墨舟片和所述第二石墨舟片单元中的石墨舟片交替间隔设置。
15、进一步地,所述电极块组件包括的多个所述电极块被划分为与所述上楔形连接耳连接的上电极单元以及与所述下楔形连接耳连接的下电极单元。
16、进一步地,所述第一石墨舟片单元包括两个第一外电极片以及位于两个所述第一外电极片之间的多个第一内电极片;
17、所述第二石墨舟片单元包括两个第二外电极片以及位于两个所述第二外电极片之间的多个第二内电极片,
18、其中,所述第二外电极片位于所述第一外电极片的内侧并且所述第一石墨舟片单元包括的所述第一内电极片的数量比所述第二石墨舟片单元包括的所述第二内电极片的数量多一个。
19、进一步地,所述第一外电极片和所述第二外电极片的所述楔形连接耳的内侧设置有与所述电极块组件的所述第二倾斜侧面匹配的所述第一倾斜侧面,外侧设置有与对应的所述石墨舟片齐平的竖直侧面;
20、所述第一内电极片和所述第二内电极片的两侧均设置有所述第一倾斜侧面。
21、进一步地,所述第一外电极片外表面设置有多个排气孔。
22、进一步地,还包陶瓷杆组件;多个所述石墨舟片除了所述楔形连接耳之外的部分通过所述陶瓷杆组件连接在一起。
23、与现有技术相比,本实用新型至少可实现如下有益效果之一:
24、本实用新型的楔形拼接式石墨舟中,石墨舟片连接耳设置成楔形,一方面便于安装,且能增加安装后石墨舟结构的稳定性,另一方面可以产生斜向支撑力,抵消部分重力和推力,减小石墨舟片连接耳所受剪切力,提高石墨舟的使用寿命。
25、本实用新型的其他特征和优点将在随后的说明书中阐述,并且,部分优点可从说明书中变得显而易见,或者通过实施本实用新型而了解。本实用新型的目的和其他优点可通过说明书以及附图中所特别指出的内容中来实现和获得。
1.一种楔形拼接式石墨舟,其特征在于,包括石墨舟片组件(1)、电极块组件(2)以及连接所述石墨舟片组件(1)和电极块组件(2)的石墨杆组件(3),所述电极块组件(2)分别设置在所述石墨舟片组件(1)的长度方向上相对的第一端和第二端;
2.根据权利要求1所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述楔形连接耳包括与竖直方向成角度的第一倾斜侧面(15),所述电极块组件(2)的楔形连接槽包括与所述第一倾斜侧面(15)匹配的第二倾斜侧面(201)。
3.根据权利要求2所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述电极块组件(2)包括多个电极块,
4.根据权利要求3所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述楔形连接耳和所述电极块上均设置有连接孔(5),所述石墨杆组件(3)依次穿过所述楔形连接耳和所述电极块上设置的所述连接孔(5)并且在端部通过螺母将所述楔形连接耳和所述电极块连接在一起。
5.根据权利要求4所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述楔形连接耳包括设置在所述石墨舟片的端部的上侧的上楔形连接耳以及设置在所述石墨舟片的端部的下侧的下楔形连接耳;
6.根据权利要求5所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述电极块组件(2)包括的多个所述电极块被划分为与所述上楔形连接耳连接的上电极单元(21)以及与所述下楔形连接耳连接的下电极单元(22)。
7.根据权利要求6所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述第一石墨舟片单元包括两个第一外电极片(11)以及位于两个所述第一外电极片(11)之间的多个第一内电极片(13);
8.根据权利要求7所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述第一外电极片(11)和所述第二外电极片(12)的所述楔形连接耳的内侧设置有与所述电极块组件(2)的所述第二倾斜侧面(201)匹配的所述第一倾斜侧面(15),外侧设置有与对应的所述石墨舟片齐平的竖直侧面(16);
9.根据权利要求7所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,所述第一外电极片(11)外表面设置有多个排气孔(111)。
10.根据权利要求9所述的楔形拼接式石墨舟,其特征在于,还包陶瓷杆组件(4);多个所述石墨舟片除了所述楔形连接耳之外的部分通过所述陶瓷杆组件(4)连接在一起。