一种高真空电子束热蒸发镀膜设备的制作方法

本技术属于真空镀膜，特别是涉及一种高真空电子束热蒸发镀膜设备。

背景技术：

1、传统的真空蒸发镀膜在对薄膜进行蒸发加工时，不方便对加工好避免进行收集，容易影响蒸发镀膜加工效率，而且自动化较低，影响蒸发镀膜生产。

技术实现思路

1、本实用新型的目的在于提供一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，解决现有的问题。

2、为解决上述技术问题，本实用新型是通过以下技术方案实现的：

3、本实用新型为一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，包括底座和真空箱，所述真空箱焊接在底座上表面，所述真空箱内表面焊接有安装箱，所述安装箱内表面安装有若干伸缩杆，所述伸缩杆上表面焊接有升降板，所述升降板上表面焊接有蒸发源，所述真空箱内表面焊接有安装框架，所述安装框架内表面嵌合有安装套筒，所述安装套筒内表面嵌合有安装轴，所述安装轴外表面焊接有安装板，所述安装板外表面焊接有收集辊。

4、优选地，所述安装轴外表面焊接有传动齿轮，所述真空箱内表面焊接有电机座，所述电机座上表面焊接有收集电机，所述收集电机输出端安装有动力齿轮，所述动力齿轮外表面安装有齿轮条，所述传动齿轮与齿轮条啮合，通过控制收集电机，带动动力齿轮进行旋转，利用动力齿轮与齿轮条之间的啮合以及传动齿轮与齿轮条之间的啮合，从而带动安装轴进行旋转，从而带动收集辊进行旋转，从而方便对加工过后的薄膜进行收集，从而方便对薄膜进行蒸发镀膜，从而方便对薄膜进行加工，不仅能够提高蒸发镀膜的加工效率，而且能够提高自动化效率。

5、优选地，所述安装框架外表面焊接有转动轴，所述转动轴外表面焊接有弧形固定板，所述安装框架外表面焊接有固定板，所述弧形固定板内表面嵌合有固定螺栓，通过将弧形固定板安装在安装框架外表面安装的转动轴外表面，转动弧形固定板，使弧形固定板围绕转动轴进行转动，然后通过固定螺栓的安装，从而对安装套筒进行固定。

6、优选地，所述真空箱内表面焊接有固定框架，所述固定框架内表面焊接有固定套筒，所述固定套筒内表面嵌合有固定轴，所述固定轴外表面焊接有辅助辊，通过将固定框架焊接在真空箱内部，然后通过固定框架内部固定套筒的安装，通过将辅助辊焊接在固定套筒内部嵌合的固定轴外表面，从而方便对薄膜的移动进行固定。

7、优选地，所述真空箱内表面焊接有放置框架，所述放置框架内表面嵌合有转动套筒，所述转动套筒内表面嵌合有转轴，所述转轴外表面焊接有放置辊。

8、优选地，所述底座上表面焊接有若干液压杆，所述液压杆上表面焊接有移动板，所述移动板下表面焊接有密封盖，所述底座下表面焊接有若干支撑腿。

9、本实用新型具有以下有益效果：

10、本实用新型通过将弧形固定板安装在安装框架外表面安装的转动轴外表面，转动弧形固定板，使弧形固定板围绕转动轴进行转动，然后通过固定螺栓的安装，从而对安装套筒进行固定，然后通过控制收集电机，带动动力齿轮进行旋转，利用动力齿轮与齿轮条之间的啮合以及传动齿轮与齿轮条之间的啮合，从而带动安装轴进行旋转，从而带动收集辊进行旋转，从而方便对加工过后的薄膜进行收集，从而方便对薄膜进行蒸发镀膜，不仅能够提高蒸发镀膜的加工效率，而且能够提高自动化效率。

11、当然，实施本实用新型的任一产品并不一定需要同时达到以上所述的所有优点。

技术特征：

1.一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，包括底座(1)和真空箱(2)，其特征在于：所述真空箱(2)焊接在底座(1)上表面，所述真空箱(2)内表面焊接有安装箱(3)，所述安装箱(3)内表面安装有若干伸缩杆(4)，所述伸缩杆(4)上表面焊接有升降板(5)，所述升降板(5)上表面焊接有蒸发源(6)，所述真空箱(2)内表面焊接有安装框架(7)，所述安装框架(7)内表面嵌合有安装套筒(8)，所述安装套筒(8)内表面嵌合有安装轴(9)，所述安装轴(9)外表面焊接有安装板(10)，所述安装板(10)外表面焊接有收集辊(11)。

2.根据权利要求1所述的一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，其特征在于，所述安装轴(9)外表面焊接有传动齿轮(12)，所述真空箱(2)内表面焊接有电机座(13)，所述电机座(13)上表面焊接有收集电机(14)。

3.根据权利要求2所述的一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，其特征在于，所述收集电机(14)输出端安装有动力齿轮(15)，所述动力齿轮(15)外表面安装有齿轮条(16)，所述传动齿轮(12)与齿轮条(16)啮合。

4.根据权利要求1所述的一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，其特征在于，所述安装框架(7)外表面焊接有转动轴(17)，所述转动轴(17)外表面焊接有弧形固定板(18)，所述安装框架(7)外表面焊接有固定板(19)，所述弧形固定板(18)内表面嵌合有固定螺栓(20)。

5.根据权利要求1所述的一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，其特征在于，所述真空箱(2)内表面焊接有固定框架(21)，所述固定框架(21)内表面焊接有固定套筒(22)，所述固定套筒(22)内表面嵌合有固定轴(23)，所述固定轴(23)外表面焊接有辅助辊(24)。

6.根据权利要求1所述的一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，其特征在于，所述真空箱(2)内表面焊接有放置框架(25)，所述放置框架(25)内表面嵌合有转动套筒(26)，所述转动套筒(26)内表面嵌合有转轴(27)，所述转轴(27)外表面焊接有放置辊(28)。

7.根据权利要求1所述的一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，其特征在于，所述底座(1)上表面焊接有若干液压杆(29)，所述液压杆(29)上表面焊接有移动板(30)，所述移动板(30)下表面焊接有密封盖(31)，所述底座(1)下表面焊接有若干支撑腿(32)。

技术总结
本技术公开了一种高真空电子束热蒸发镀膜设备，涉及真空镀膜技术领域。本技术包括底座和真空箱，安装轴外表面焊接有传动齿轮，真空箱内表面焊接有电机座，电机座上表面焊接有收集电机，收集电机输出端安装有动力齿轮，动力齿轮外表面安装有齿轮条，传动齿轮与齿轮条啮合。本技术通过控制收集电机，带动动力齿轮进行旋转，利用动力齿轮与齿轮条之间的啮合以及传动齿轮与齿轮条之间的啮合，从而带动安装轴进行旋转，从而带动收集辊进行旋转，从而方便对加工过后的薄膜进行收集，从而方便对薄膜进行蒸发镀膜，从而方便对薄膜进行加工，不仅能够提高蒸发镀膜的加工效率，而且能够提高自动化效率。

技术研发人员：吴科宁,朱姝
受保护的技术使用者：沈阳硕科科技有限公司
技术研发日：20221125
技术公布日：2024/1/12