一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架

本技术涉及真空离子镀膜领域，具体为一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架。

背景技术：

1、真空镀膜工艺中常遇到需要在同一工件的正反平面镀相同薄膜，为了达到这个目的，常做方法是在其中一面镀膜成功后，将镀膜转架和工件从真空室中取出，人工将工件取下翻转安装后，再装入真空室中进行第二次镀膜；这种镀膜工艺过程明显存在工艺流程繁琐、生产成本高，特别是薄膜质量极难保证的缺点。

2、专利cn208008887u所述的真空翻转镀膜工件转架中常将工件水平横向放置，工作时通过旋转机构旋转翻面，实现翻转镀膜；但在批量镀膜中，存在因单批量低而成本高、生产效益低的缺点。

技术实现思路

1、针对上述难题，本实用新型提出了一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，包括：旋转底座、行星轮组、轨道架、转动机构、支撑座、立式载物架。

2、进一步的是，所述转架底座包括传动轴、下壳体、上壳体、限位槽；其中下壳体边缘设置有多个限位槽与轨道架上的换面槽外边缘过盈配合，用来固定轨道架。

3、进一步的是，所述立式工件转架由传动轴驱动，传动轴与中心齿轮和转动机构同轴心固定，带动中心齿轮和转动机构的转动。

4、进一步的是，所述转架底座的上壳体与支撑座的端盖之间形成圆形通道，用于转动轮带动立式载物架做圆周运动。

5、进一步的是，所述立式工件转架设置有一行星轮组，行星轮组的凸台齿轮上固定有凸台，凸台与凸台齿轮之间过盈配合，并随着凸台齿轮的转动而转动。

6、进一步的是，凸台的凸起端可以与凸台上方的转动轮接触，较低的一端方便转动轮换面翻转时能顺利翻转通过。

7、进一步的是，所述转动机构中的转动轮由旋转架驱动，转动轮的安装柱上的安装孔与立式载物架的插杆配合，用于固定立式载物架的下部。立式载物架的上部与固定架中的转动套配合。

8、进一步的是，所述立式载物架侧面上设置有固定凹槽，用于固定需要翻转的工件。

技术特征：

1.一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：包括转架底座（1）、行星轮组（2）、轨道架（3）、转动机构（4）、支撑座（5）、立式载物架（6）；所述转架底座（1）包括传动轴（101）、下壳体（102）、上壳体（103）、齿轮架（104）；其中下壳体（102）包括限位槽（102a）；所述行星轮组（2）包括中心齿轮（201）、凸台（202）、凸台齿轮（203）；所述轨道架（3）包括圆周轨道（301）、换面槽（302）；所述转动机构（4）包括转动轮（401）、旋转架（402）；其中转动轮（401）包括滚轮凹槽（401a）、安装柱（401b）、安装孔（401c）；所述支撑座（5）包括端盖（501）、固定架（502）、转动套（502a）；所述立式载物架（6）包括插杆（601）、固定凹槽（602）。

2.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述转架底座（1）的下壳体（102）上设置多个限位槽（102a）与轨道架（3）上的换面槽（302）配合，固定轨道架（3）。

3.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述转架底座（1）的上壳体（103）与支撑座（5）的端盖（501）之间形成圆形通道（7），用于转动轮（401）带动立式载物架（6）做圆周运动。

4.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述工件转架由传动轴（101）驱动，传动轴（101）与中心齿轮（201）和转动机构（4）同轴心固定，带动中心齿轮（201）和转动机构（4）的转动。

5.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述行星轮组（2）的凸台齿轮（203）上固定有凸台（202），凸台（202）凸起端用于与转动轮（401）接触，较低的一端方便转动轮（401）换面翻转时能顺利翻转通过。

6.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述轨道架（3）的圆周轨道上有多个换面槽，用于转动轮（401）与凸台（202）接触并在此位置翻转换面。

7.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述转动机构（4）中的转动轮（401）由旋转架（402）驱动，转动轮（401）的安装柱（401b）上的安装孔（401c）与立式载物架（6）的插杆（601）配合。

8.根据权利要求1所述的一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，其特征在于：所述立式载物架（6）侧面上设置有固定凹槽（602），用于固定需要翻转的工件。

技术总结
本技术提出了一种用于真空翻转镀膜的立式工件转架，包括：旋转底座、行星轮组、轨道架、转动机构、支撑座、立式载物架。工件转架由传动轴驱动，传动轴与中心齿轮和转动机构同轴心固定，带动中心齿轮和转动机构的转动。凸台固定在凸台齿轮上，通过行星轮的配合下实现凸台齿轮与凸台转动。工件转架设置有轨道架，轨道架上的圆周轨道与转动机构中的转动轮配合，同时轨道架上设置有换面槽，当凸台与转动轮同时旋转到换面槽时会发生接触，凸台将转动轮一端顶进换面槽中，使转动轮翻转，实现真空镀膜过程中的立式载物架自动换面。

技术研发人员：李宾宾,鄢强,陈刚,宋慧瑾
受保护的技术使用者：成都大学
技术研发日：20221211
技术公布日：2024/1/15