本技术涉及靶材烘干，特别是涉及旋转靶材烘干装置。
背景技术：
1、磁控溅射是制备薄膜材料的主要技术之一，它利用离子源产生的离子，在真空中经过加速聚集，而形成高速度能的离子束流，轰击固体表面，离子和固体表面原子发生动能交换，使固体表面的原子离开固体并沉积在基底表面，被轰击的固体是制备溅射法沉积薄膜的原材料，称为溅射靶材；溅射靶材根据形状可分为平面靶材，多弧靶材，旋转靶材；旋转靶材是磁控的靶材，旋转靶材做成圆筒型。
2、由于旋转靶材在生产过程中难免有内部缺陷或绑定不良情况，因此通常会经过水浸超声c扫描系统检测旋转靶材的内部缺陷，水浸超声c扫描系统会使得某些热压密度较低的旋转靶材处于一个湿润状态，而湿润状态的旋转靶材在打包或运输过程中，会使得包装袋内出现水汽氧化或污染旋转靶材，对旋转靶材的质量和外观产生不良影响，间接导致降低溅射成膜的质量；所以在旋转靶材的生产过程中，需要用到烘干装置对旋转靶材进行加热烘干，降低旋转靶材的水含量，避免旋转靶材的质量和外观出现问题。而现有技术的旋转靶材烘干装置存在旋转靶材受热不均，旋转靶材的烘干速率慢，烘干效果差等问题。
技术实现思路
1、本实用新型的目的是提供一种旋转靶材烘干装置，其能够使得旋转靶材受热均匀，提升旋转靶材的烘干速率，烘干效果好。
2、为了实现上述目的，本实用新型提供了一种旋转靶材烘干装置，包括箱体、温度调节机构、工件固定机构和驱动件；
3、所述箱体具有容纳腔；所述温度调节机构包括加热件，所述加热件设于所述容纳腔内；所述工件固定机构设于所述容纳腔内，用于固定旋转靶材；所述驱动件与所述工件固定机构连接，并能够驱动所述工件固定机构带动所述旋转靶材绕所述旋转靶材的中心轴线转动。
4、在一些实施方式中，所述加热件的数量为多个，多个所述加热件沿所述容纳腔的长度方向间隔分布。
5、在一些实施方式中，所述温度调节机构还包括温度传感器，所述温度传感器安装于所述容纳腔内。
6、进一步地，所述温度调节机构还包括风机和通风口，所述风机安装于所述容纳腔内，所述通风口设于所述箱体上；其中，所述风机能够将所述容纳腔内的空气沿所述通风口排出至所述箱体的外部，或将所述箱体的外部空气沿所述通风口抽吸至所述容纳腔内。
7、在一些实施方式中，所述工件固定机构包括第一固定件、第二固定件和调节件，所述第一固定件设于所述容纳腔内并与所述驱动件固定连接，所述第二固定件设于所述容纳腔内并与所述第一固定件相对布置，所述调节件与所述第二固定件连接；其中，所述调节件能够驱动所述第二固定件靠近所述第一固定件以固定所述旋转靶材，或远离所述第一固定件以放开所述旋转靶材。
8、进一步地，所述调节件包括第一部分和第二部分，所述第一部分设于所述容纳腔内，所述第二固定件连接于所述第一部分朝向所述第一固定件的一面上，所述第二部分的一端与所述第一部分背离所述第一固定件的一面固定连接、另一端延伸至所述箱体的外部；所述箱体开设有与所述容纳腔连通的通孔，所述通孔供所述第二部分穿过。
9、进一步地，所述第一固定件的材质为软质橡胶材质，所述第二固定件的材质为软质橡胶材质。
10、进一步地，所述第一固定件具有第一圆锥部，所述第二固定件具有第二圆锥部；其中，沿所述第一固定件至第二固定件的方向，所述第一圆锥部的直径由大变小，所述第二圆锥部的直径由小变大。
11、在一些实施方式中，所述箱体包括箱体主体、及与所述箱体主体活动连接的箱门。
12、在一些实施方式中，所述箱体的底部安装有万向轮。
13、本实用新型实施例一种旋转靶材烘干装置与现有技术相比，其有益效果在于：通过所述工件固定机构和所述驱动件能够使旋转靶材的加热烘干过程中进行转动，以使得所述旋转靶材受热均匀，提升所述旋转靶材的烘干效率，烘干效果好。
1.一种旋转靶材烘干装置，其特征在于，包括：
2.根据权利要求1所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述加热件的数量为多个，多个所述加热件沿所述容纳腔的长度方向间隔分布。
3.根据权利要求1所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述温度调节机构还包括温度传感器，所述温度传感器安装于所述容纳腔内。
4.根据权利要求3所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述温度调节机构还包括风机和通风口，所述风机安装于所述容纳腔内，所述通风口设于所述箱体上。
5.根据权利要求1所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述工件固定机构包括第一固定件、第二固定件和调节件，所述第一固定件设于所述容纳腔内并与所述驱动件固定连接，所述第二固定件设于所述容纳腔内并与所述第一固定件相对布置，所述调节件与所述第二固定件连接；
6.根据权利要求5所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述调节件包括第一部分和第二部分，所述第一部分设于所述容纳腔内，所述第二固定件连接于所述第一部分朝向所述第一固定件的一面上，所述第二部分的一端与所述第一部分背离所述第一固定件的一面固定连接、另一端延伸至所述箱体的外部；所述箱体开设有与所述容纳腔连通的通孔，所述通孔供所述第二部分穿过。
7.根据权利要求5所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述第一固定件的材质为软质橡胶材质，所述第二固定件的材质为软质橡胶材质。
8.根据权利要求6所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述第一固定件具有第一圆锥部，所述第二固定件具有第二圆锥部；
9.根据权利要求1-8任一项所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述箱体包括箱体主体、及与所述箱体主体活动连接的箱门。
10.根据权利要求1-8任一项所述的旋转靶材烘干装置，其特征在于，所述箱体的底部安装有万向轮。