反应炉的制作方法

本技术涉及沉积设备，具体而言，涉及一种反应炉。

背景技术：

1、现有反应炉的前后端上设置若干不同长度的加气管，或在加气管上开设若干小孔或在炉管的前后端盖设置环形加气管并设置小孔，待炉管升到一定的温度及抽到真空时通过前面所述的加气管加入相对应的气体与炉管内的产品反应。由于加气管的管口或者管上的小孔处的流速很大，在通过加气管或孔加气时，在靠近管口或者孔口处会出现流场纹，影响产品的表面质量，也容易将将管内的杂质吹到产品上污染产品，同时不同位置的流场受加气流量的影响很大，导致产品的不同位置反应程度不同，容易出现反应异常的情况，进而导致产品的品质不稳定。同时还会造成管内气体分布不均匀，导致不同位置的产品与气体的反应速度不同，进而造成产品的厚度不同，容易形成瑕疵品。

2、也就是说，现有技术中反应炉存在反应不均匀的问题。

技术实现思路

1、本实用新型的主要目的在于提供一种反应炉，以解决现有技术中反应炉存在反应不均匀的问题。

2、为了实现上述目的，根据本实用新型的一个方面，提供了一种反应炉，包括：炉管，炉管的进气端具有冷却区域，炉管还具有加热区域，且加热区域位于冷却区域的下游位置处；进气装置，进气装置的至少一部分伸入到炉管的进气端内并位于冷却区域的上游位置处；透气组件，透气组件设置在炉管的冷却区域内，且透气组件位于进气装置的下游位置，透气组件具有多个透气孔。

3、进一步地，反应炉包括：加热装置，加热装置设置在炉管的外侧，以在炉管内形成加热区域；冷却装置，冷却装置设置在炉管的外侧，并在炉管内形成冷却区域，冷却装置与加热装置沿炉管的轴向间隔设置。

4、进一步地，冷却装置包括缠绕在炉管上的冷却管。

5、进一步地，进气装置包括：进气管，进气管的一端伸入到炉管内；螺旋喷头，螺旋喷头与进气管伸入到炉管内的一端连接，以将气体喷入炉管内，且螺旋喷头位于冷却区域内。

6、进一步地，螺旋喷头具有锥形段，锥形段的外周面具有螺纹流道，螺纹流道与螺旋喷头的内腔连通。

7、进一步地，透气组件包括多个透气板，多个透气板沿炉管的轴向间隔设置，透气板上具有多个透气孔。

8、进一步地，透气板可拆卸地设置在炉管内，且透气板的外周面与炉管的内壁面抵接。

9、进一步地，透气孔的直径大于等于0.5微米且小于等于100微米。

10、进一步地，炉管的出气端处也设置有透气组件，位于两端的两个透气组件上的透气孔相互对应设置。

11、进一步地，炉管的出气端也具有冷却区域，出气端的透气组件位于出气端的冷却区域内。

12、应用本实用新型的技术方案，反应炉包括炉管、进气装置和透气组件，炉管的进气端具有冷却区域，炉管还具有加热区域，且加热区域位于冷却区域的下游位置处；进气装置的至少一部分伸入到炉管的进气端内并位于冷却区域的上游位置处；透气组件设置在炉管的冷却区域内，且透气组件位于进气装置的下游位置，透气组件具有多个透气孔。

13、通过在炉管内设置的加热区域用于对炉管内的产品进行加热，以使得产品能够与通入的气体进行反应。而在炉管的进气端处设置冷却区域，以使得经过进气装置进入到炉管内的气体不会立刻升温，可以减少气体在冷却区域处反应，使得气体充分流入到加热区域后才参与反应，保证了反应炉内反应的均匀性。此外，经进气装置进入到炉管内的气体被透气组件的部分区域遮挡以改变气体的流动方向，增加了气体的弥散范围，以增加后续反应的均匀性。此外，透气组件的设置可以减少气体进入到加热区域时的喷射压力，减少流场纹的出现，以保证产品的表面质量，同时减少了对产品的冲击，减少了将杂质吹到产品上的风险。

技术特征：

1.一种反应炉，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述反应炉包括：

3.根据权利要求2所述的反应炉，其特征在于，所述冷却装置(50)包括缠绕在所述炉管(10)上的冷却管。

4.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述进气装置(20)包括：

5.根据权利要求4所述的反应炉，其特征在于，所述螺旋喷头(22)具有锥形段(221)，所述锥形段(221)的外周面具有螺纹流道(222)，所述螺纹流道(222)与所述螺旋喷头(22)的内腔连通。

6.根据权利要求1所述的反应炉，其特征在于，所述透气组件(30)包括多个透气板(32)，多个所述透气板(32)沿所述炉管(10)的轴向间隔设置，所述透气板(32)上具有多个所述透气孔(31)。

7.根据权利要求6所述的反应炉，其特征在于，所述透气板(32)可拆卸地设置在所述炉管(10)内，且所述透气板(32)的外周面与所述炉管(10)的内壁面抵接。

8.根据权利要求1至7中任一项所述的反应炉，其特征在于，所述透气孔(31)的直径大于等于0.5微米且小于等于100微米。

9.根据权利要求1至7中任一项所述的反应炉，其特征在于，所述炉管(10)的出气端(12)处也设置有透气组件(30)，位于两端的两个透气组件(30)上的透气孔(31)相互对应设置。

10.根据权利要求1至7中任一项所述的反应炉，其特征在于，所述炉管(10)的出气端(12)也具有冷却区域，所述出气端(12)的透气组件(30)位于所述出气端(12)的冷却区域内。

技术总结
本技术提供了一种反应炉。反应炉包括：炉管，炉管的进气端具有冷却区域，炉管还具有加热区域，且加热区域位于冷却区域的下游位置处；进气装置，进气装置的至少一部分伸入到炉管的进气端内并位于冷却区域的上游位置处；透气组件，透气组件设置在炉管的冷却区域内，且透气组件位于进气装置的下游位置，透气组件具有多个透气孔。本技术解决了现有技术中反应炉存在反应不均匀的问题。

技术研发人员：徐春雷,陈刚
受保护的技术使用者：浙江爱旭太阳能科技有限公司
技术研发日：20221222
技术公布日：2024/1/12