硅棒磨削装置的制作方法

本技术涉及磨削加工的，尤其涉及一种硅棒磨削装置。

背景技术：

1、现有硅棒磨削设备中，能够设置随行夹具来配合磨床，实现硅棒的加工。

2、但是在相关技术中，对于立式磨削设备，为了避免过定位问题，滑台与对应的机架之间多采用两组滑轨建立滑动连接关系，由于采用两组滑轨进行定位，因此，当其中一组滑轨出现松动时，会影响到滑台整体的滑动精度，进而不利于硅棒加工精度的提升。

技术实现思路

1、(一)要解决的技术问题

2、鉴于现有技术的上述缺点、不足，本实用新型提供一种硅棒磨削装置，其解决了相关技术中存在的由于采用两组滑轨进行定位，因此，当其中一组滑轨出现松动时，会影响到滑台整体的滑动精度，进而不利于硅棒加工精度的提升的技术问题。

3、(二)技术方案

4、为了达到上述目的，本实用新型采用的主要技术方案包括：

5、本实用新型实施例提供一种硅棒磨削装置，包括过定位滑台和磨削机构，磨削机构设于过定位滑台，过定位滑台包括机架、滑台本体和第一滑动驱动件，滑台本体竖向滑动连接于机架，第一滑动驱动件能够设于机架，且与滑台本体驱动连接；机架和滑台本体之间通过过定位滑动机构建立滑动连接关系；其中，过定位滑动机构能够设置为至少三组滑轨组件。

6、在该技术方案中，过定位滑台包括机架、滑台本体和第一滑动驱动件，机架用来为滑台本体和驱动机构提供支撑，第一滑动驱动件则用来带动滑台本体竖向有限位的滑移，滑台本体竖向滑动连接在机架上，并且二者之间通过过定位滑动机构建立连接关系；

7、具体的，机架为立式机架，第一滑动驱动件可为伸缩驱动件，如电动伸缩件。

8、过定位滑动机构包括至少三组平行设置的滑轨组件，滑轨组件包括滑块和滑道，滑道设置在机架上，滑块则设置在滑台本体上，对应的滑道和滑块相匹配；

9、在常规情况下，通过三组或三组以上滑轨组件建立滑台本体和机架之间的滑动连接关系时，势必存在过定位的情况，而通过提高滑轨组件的配合精度，即可避免过定位带来的负面影响；

10、正是由于采用了至少三组滑轨组件，且消除了过定位的影响，因此，及时在使用过程中，某个滑轨组件因疲劳而出现松动，偏移的问题，剩余的滑轨组件依然能够准确的保证滑台本体的滑动准确性，进而提高应用滑台本体的装置的使用精度。

11、在本实用新型的一个技术方案中，过定位滑台还包括配重部，配重部与滑台本体通过柔性连接件连接，并且为滑台本体提供平衡力。

12、在该技术方案中，过定位滑台还包括配重部，配重部用来滑台本体的自重，配重部的质量约等于滑台本体以及滑台本体上设置的构件的质量的总和，在配重部的作用下，驱动机构对于滑台本体的锁紧压力可得到减缓，有利于提高该过定位滑台的使用寿命。

13、具体的，配重部可设置有配重块，如金属块，柔性连接件可为链条、皮带、连接绳等。

14、在本实用新型的一个技术方案中，过定位滑台还包括导向部，导向部设于机架，导向部用于支撑柔性连接件。

15、在该技术方案中，过定位滑台还包括导向部，导向部为柔性连接件提供导向作用，导向部能够设置为导轮，柔性连接件与导轮的导向面相切。

16、在本实用新型的一个技术方案中，磨削机构包括基体、磨削主轴、磨削头和第二滑动驱动件，基体横向滑动连接于滑台本体，第二滑动驱动件设于基体，能够带动基体横向滑移，磨削主轴横向转动连接于基体，磨削头与磨削主轴驱动连接，磨削头用于实现硅棒的打磨。

17、在该技术方案中，过定位滑台应用于硅棒磨削装置，过定位滑台用于驱动磨削机构竖向滑移，磨削机构包括基体、磨削主轴和磨削头，磨削主轴带动磨削头运转，实现预定工件与硅棒的打磨。

18、同时，硅棒磨削装置上还设有随行夹具安装位，用来安装随行夹具，通过随行夹具夹持硅棒，再通硅棒磨削装置实现硅棒的磨削工作。

19、在本实用新型的一个技术方案中，磨削机构设置为两组，且两组磨削主轴中的对应磨削头相对设置。

20、在该技术方案中，磨削机构设置为两组，且两组磨削头相对设置，如此，便可实现硅棒两个面的同时打磨，如此便可提高硅棒的加工效率。

21、在本实用新型的一个技术方案中，磨削机构还两组包括检测机构，两组检测机构对应设于基体，检测机构能够对磨削头与工件之间的距离进行等效绝对值检测；

22、检测机构包括位移传感器和基板，位移传感器设于基体，基板设于过定位滑台，基板上形成校准平面，校准平面与工件加工后的标准平面重合。

23、在该技术方案中，为了保证磨削头能够准确的运行至预定位置执行打磨动作，可通过检测机构来检测磨头与硅棒之间的间距。

24、具体的，检测机构包括位移传感器和基板，在进行基板位置校准时，可通过打磨好的标准硅棒的加工面作为参考面，并且使得基板上校准平面与参考面重合，如此一来，位置传感器检测到的数值，即为磨削头与标准硅棒加工面之间的等效绝对值。

25、对于等效绝对值，由于位移传感器检测的初始位置可能存在与磨削头打磨面不一致的情况，因此，在计算磨削头与校准平面之间的间距时，需要将位移传感器检测的初始位置可能存在与磨削头打磨面之间的位置差值考虑进去，磨削头与标准硅棒加工面之间的等效绝对值。

26、检测机构可为磨削头的运行位置的测定提供硬件基础，由于基板位置恒定，而基板的校准平面与磨削好的硅棒标准件的加工面重合，因此有利于使得检测机构或者更准确的检测基准，有利于提高硅棒的加工精度。

27、在本实用新型的一个技术方案中，硅棒磨削装置还包括压紧装置和驱动装置，压紧装置和驱动装置均设于机架，压紧装置用于压紧随行夹具，驱动装置用于驱动随行夹具执行夹紧动作或者松开夹紧动作。

28、在该技术方案中，硅棒磨削装置还包括压紧装置和驱动装置，压紧机构用来压紧随行夹具，驱动装置则用来带动随行夹具运行，以执行相应的夹紧或者松开夹紧的动作。

29、在本实用新型的一个技术方案中，压紧装置设置为浮动压紧装置，压紧装置包括伸缩驱动件和浮动压头，浮动压头与伸缩驱动件连接，并用于压紧随行夹具。

30、在该技术方案中，通过将压紧装置设置为浮动压紧装置，由于浮动压紧装置与随行夹具之间为浮动接触，因此，可以保证随行夹具本身受到的压紧力始终保持竖直向下，可以确保随行夹具的竖向轴线保持稳定，进而有利于提高硅棒的加工精度。

31、在本实用新型的一个技术方案中，浮动压头包括连接柱、压板和连接部，连接部与伸缩驱动件连接，连接部内形成容纳腔，连接部的底端与压板连接，连接柱的顶端形成球状接触面，连接柱延伸至容纳腔内，且与连接部滑动连接；

32、浮动压头包括自由状态和压紧状态，自由状态对应连接柱相对于连接部的下止点状态，压紧状态对应连接柱相对于连接部的上止点状态，浮动压头能够在自由状态和压紧状态进行切换，且当浮动压头处于压紧状态时，球状接触面与连接部的内壁相抵接。

33、在该技术方案中，浮动压头包括连接柱、压板和连接部，连接柱和压板可为一体结构，连接柱能够相对于连接部沿竖向摆动，如此一来，当压板与随行夹具接触后，压板可以自行实现角度的调整，进而使得压板与随行夹具充分可靠接触。

34、同时，连接柱通过顶部的球状接触面接收来自伸缩驱动件的压紧力，即球状接触面与连接部的内壁相抵接，也正是由于连接柱能够相对于连接部沿竖向摆动，因此可以保证连接部受到的来自连接部的作用力的方向始终沿球状接触面的经线延伸，进而可以确保随行夹具受到的压紧力的方向始终与随行夹具的总线轴线重合，有利于保证随行夹具的稳定性，进而保证硅棒加工的精确性。

35、在本实用新型的一个技术方案中，浮动压头还包括横向弹性柱塞，横向弹性柱塞设于连接部且与连接柱相对应，且弹性柱塞为连接柱提供周向压紧力矩；浮动压头还包括竖向弹性柱塞，竖向弹性柱塞设于连接部，竖向弹性柱塞能够为连接柱提供竖向向上的挤压力矩。

36、在该技术方案中，浮动压头还包括横向弹性柱塞和竖向弹性柱塞，横向弹性柱塞与连接柱弹性接触，可以确保连接柱能够进行竖向的摆动。竖向的弹性柱塞则能够起到连接部的缓冲作用，避免连接柱下行时与连接部产生冲击。

37、(三)有益效果

38、本实用新型的有益效果是：本实用新型的硅棒磨削装置，过定位滑动机构包括至少三组平行设置的滑轨组件，滑轨组件包括滑块和滑道，滑道设置在机架上，滑块则设置在滑台本体上，对应的滑道和滑块相匹配；

39、在常规情况下，通过三组或三组以上滑轨组件建立滑台本体和机架之间的滑动连接关系时，势必存在过定位的情况，而通过提高滑轨组件的配合精度，即可避免过定位带来的负面影响；

40、正是由于采用了至少三组滑轨组件，且消除了过定位的影响，因此，及时在使用过程中，某个滑轨组件因疲劳而出现松动，偏移的问题，剩余的滑轨组件依然能够准确的保证滑台本体的滑动准确性，进而提高应用滑台本体的装置的使用精度；

41、过定位滑台应用于硅棒磨削装置，过定位滑台用于驱动磨削机构竖向滑移，磨削机构包括基体、磨削主轴和磨削头，磨削主轴带动磨削头运转，配合随性夹具的共同作用，实现预定工件与硅棒的打磨。