金属化薄膜、镀膜机及制备工艺的制作方法

本发明涉及金属化薄膜电容器生产的，尤其涉及金属化薄膜、镀膜机及制备工艺。

背景技术：

1、在金属化薄膜电容器中最重要的是金属化薄膜，金属化薄膜是在高分子聚合物基膜层上真空蒸镀金属化层获得的，薄膜上有部分区域不能蒸镀上金属被称为留边部，在现有技术中已披露了控制金属化层厚薄和获得留边部的方法。

2、如申请公布号为cn102796985a的金属化膜、镀膜机及金属化薄膜的制备工艺，公开了控制金属化层厚度在于镀膜机内挡板的渗透孔形状，加厚区对应的渗透孔宽度大，活动区对应的渗透孔宽度窄；

3、如申请公布号为cn108933048a的低功率损耗电容器用金属化膜的制造设备及其制造工艺，公开了基膜在金属蒸镀前先通过油蒸发器或印刷辊将油转移至至基膜上，被油附着的部分形成遮蔽无法付着金属，形成留边部；还公开了锌挡板与蒸发口相适配，所述锌挡板上设有若干个气口，所述气口用于控制锌的蒸发量比例和限制蒸发方向；

4、留边部是因为存在屏蔽油膜无法付着金属而获得的，据有关研究得知，金属化层活动区方阻为6-9ω/□时，其厚度为20-25nm，而屏蔽油的厚度要大于活动区金属化层的厚度，约为50nm左右。很明显的，屏蔽油可能会向两侧的金属化层区域扩散，形成油污染。更麻烦的是，金属化薄膜制造的流程时间短，在制造过程中，油污染的金属化薄膜外观没有异常，无法检出。但到电容器制造厂准备使用前检膜时，油污染的金属化薄膜会在接近留边部的金属化层活动区上留下沿膜长方向不间断的油痕线。因怀疑油污染区金属化层渗油付着力降低，电容器使用过程中可能会发生金属化层脱落，金属极板面积损失，电容器容量下降导致失效，电容器制造厂会对油污染的金属化薄膜判定为不合格，造成报废和退货。

技术实现思路

1、本发明针对现有技术存在的不足，提供了金属化薄膜、镀膜机及制备工艺，具体技术方案如下：

2、金属化薄膜，包括：

3、高分子聚合物基膜层；

4、多组金属化层，相互间隔设置于高分子聚合物基膜层上，所述金属化层包括活动区、设置在活动区中部的加厚区以及翘边区，所述翘边区位于活动区的两端；

5、留边部，设置于相邻两组的金属化层之间的间隔区域上，用于衔接两组相邻的金属化层，所述留边部上喷涂有屏蔽油，所述翘边区的厚度大于屏蔽油的厚度，以防止屏蔽油向活动区方向扩散。

6、该金属化薄膜活动区外侧增加翘边区，相当于在屏蔽油两侧筑起了堤坝，阻止了留边部上的屏蔽油向活动区内部扩散。

7、镀膜机，其用于产生上述所述的金属化膜，该镀膜机包括用于控制真空蒸镀腔内金属粒子的渗透量的挡板，所述挡板沿长度方向开有数个供金属蒸汽通过的渗透孔，所述渗透孔分为加厚区孔和活动区孔，所述加厚区孔和活动区孔相互交叉垂直分布，所述加厚区孔用来形成金属化层上的的加厚区，所述活动区孔的两端为翘边区孔。

8、作为上述技术方案的改进，所述翘边区孔的宽度大于活动区孔。

9、金属化薄膜的制备工艺，其应用于上述所述的镀膜机上用于蒸镀金属化膜，该金属化薄膜的制备工艺在真空蒸镀腔内完成，其特征在于：该金属化薄膜的制备工艺包括以下步骤：

10、步骤一：金属化薄膜在真空镀膜机内真空蒸镀获得，高分子聚合物基膜经放卷后，先经过屏蔽油嘴，在留边部上喷涂屏蔽油，再经过金属蒸发源，金属蒸发源上有挡板，所述挡板的渗透孔渗透该金属粒子至高分子聚合物基膜上，并在高分子聚合物基膜上形成金属化层；

11、步骤二：蒸镀完毕，金属化薄膜卷在低湿度的时效间内静置，释放蒸镀应力；

12、步骤三：沿加厚区中线及留边部中线，使用刀片对金属化薄膜卷进行分切，获得的金属化薄膜成品无屏蔽油残留。

13、本发明的有益效果：

14、通过挡板的翘边区孔在金属化薄膜活动区外侧增加翘边区，相当于在屏蔽油两侧筑起了堤坝，阻止了留边部上的屏蔽油向活动区内部扩散，防止金属化层被油污染，形成金属化膜报废和退货。

技术特征：

1.金属化薄膜，其特征在于，包括：

2.镀膜机，其特征在于：其用于产生如权利要求1所述的金属化膜，该镀膜机包括用于控制真空蒸镀腔内金属粒子的渗透量的挡板(4)，所述挡板(4)沿长度方向开有数个供金属蒸汽通过的渗透孔，所述渗透孔分为加厚区孔(41)和活动区孔(42)，所述加厚区孔(41)和活动区孔(42)相互交叉垂直分布，所述加厚区孔(41)用来形成金属化层(2)上的的加厚区(21)，所述活动区孔(42)的两端为翘边区孔(43)。

3.据权利要求2所述的镀膜机，其特征在于：所述翘边区孔(43)的宽度大于活动区孔(42)。

4.金属化薄膜的制备工艺，其特征在于：其应用于如权利要求2或3所述的镀膜机上用于蒸镀金属化膜，该金属化薄膜的制备工艺在真空蒸镀腔内完成，包括以下步骤：

技术总结
本发明涉及金属化薄膜、镀膜机及制备工艺，包括：高分子聚合物基膜层；多组金属化层，相互间隔设置于高分子聚合物基膜层上，所述金属化层包括活动区、设置在活动区中部的加厚区以及翘边区，所述翘边区位于活动区的两端；留边部，设置于相邻两组的金属化层之间的间隔区域上，用于衔接两组相邻的金属化层，所述留边部上喷涂有屏蔽油，所述翘边区的厚度大于屏蔽油的厚度，以防止屏蔽油向活动区方向扩散，本发明通过挡板的翘边区孔在金属化薄膜活动区外侧增加翘边区，相当于在屏蔽油两侧筑起了堤坝，阻止了留边部上的屏蔽油向活动区内部扩散，防止金属化层被油污染，形成金属化膜报废和退货。

技术研发人员：汤泽波,周峰,李俊,樊申松,程伟
受保护的技术使用者：安徽赛福电子有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/13