一种异性真空腔体的打磨装置的制作方法

本发明涉及异性真空腔体打磨，尤其涉及为一种异性真空腔体的打磨装置。

背景技术：

1、真空腔体是为减少了半导体应用中真空腔的个数而研发的，而晶圆容量几乎不变。这种结构采用了配备有压差真空凹槽的预置空气轴承的移动真空。产品的特点有改善的机台定位的静态、动态响应，抽气时间、稳定时间缩短等等。

2、现有的技术中，真空腔体由于压差真空凹槽位置不确定，位置大小不一，从而无法进行编程和系统的打磨，现有的真空腔体打磨装置在使用过程中由于进入真空腔体的距离受限，同时无法灵活在真空腔体内部进行旋转调节角度，从而造成真空腔体的边角和沉孔内打磨效果差，甚至无法进行打磨的问题，导致真空腔体打磨装置的打磨效率下降。

技术实现思路

1、针对现有技术存在的不足，本发明目的是提供一种异性真空腔体的打磨装置，能够便于对高压喷头进行调节，能够提高真空腔体打磨的灵活性，以解决现有的真空腔体打磨效果差的问题。

2、为了实现上述目的，本发明是通过如下的技术方案来实现：一种异性真空腔体的打磨装置，包括网格板，所述网格板的两侧均固定连接有第一直线电机导轨，所述第一直线电机导轨底部的两端均固定连接有支撑腿，所述网格板的底部固定连接有收料仓；

3、所述网格板的顶部设置有第二直线电机导轨，所述第二直线电机导轨底部的两侧均固定连接有支撑架，所述支撑架的底部与第一直线电机导轨的输出端固定连接；

4、所述第二直线电机导轨的顶部固定连接有回收结构，所述回收结构的输入端与收料仓的一端固定连通，所述第二直线电机导轨的输出端固定连接有第一连接板；

5、所述第一连接板的底部固定连接有转动结构，所述转动结构的底部固定连接有伸缩气缸，所述伸缩气缸的内部活动连接有伸缩杆，所述伸缩杆的底部可拆卸连接有安装架；

6、所述伸缩杆的底部设置有旋转球，所述旋转球的两侧均通过第一转轴与安装架的内部活动连接，所述旋转球的一侧固定连接有高压喷头，所述旋转球远离高压喷头的一侧设置有驱动结构，所述驱动结构可拆卸连接于安装架的表面；

7、所述回收结构的底部固定连通有传输结构，所述传输结构远离回收结构的一侧与高压喷头连通配合。

8、进一步地，所述回收结构包括第一连接管和回收箱，所述回收箱的底部与第二直线电机导轨顶部的一侧固定连接，所述回收箱的一侧与第一连接管的一端固定连通，所述第一连接管的另一端与收料仓的一侧可拆卸连通，所述回收箱的内部设置有过滤板，所述过滤板靠近回收箱的一侧与回收箱的内壁固定连接，所述回收箱远离第一连接管的一侧固定连通有第二连接管，所述第二连接管远离回收箱的一侧固定连通有气泵，所述气泵的底部与第二直线电机导轨的顶部固定连接，所述气泵的输出端固定连通有第三连接管，所述第三连接管远离气泵的一端固定连接有储气罐，所述储气罐的底部与第二直线电机导轨的顶部可拆卸连接，所述储气罐的一侧与传输结构固定连通。

9、进一步地，所述转动结构包括第一驱动电机，所述第一驱动电机的顶部固定连接有第一传动齿轮，所述第一传动齿轮的一侧啮合有第二传动齿轮，所述第二传动齿轮的顶部与第一连接板的底部活动连接，所述第二传动齿轮的底部与伸缩气缸的顶部固定连接，所述第一驱动电机的底部固定连接有固定架，所述固定架远离第一驱动电机的一端与第一连接板的底部固定连接，所述第一传动齿轮和第二传动齿轮的表面套设有防护壳，所述防护壳的顶部与第一连接板的底部固定连接，所述防护壳的内部与伸缩气缸和第一驱动电机的表面活动连接。

10、进一步地，所述驱动结构包括第二驱动电机，所述第二驱动电机的输出端固定连接有固定柱，所述固定柱表面远离第二驱动电机的一侧固定连接有轴承，所述轴承和第二驱动电机的表面均固定连接有连接架，所述连接架靠近安装架的一侧与安装架可拆卸连接，所述固定柱的表面固定连接有第三传动齿轮，所述旋转球的表面固定连接弧形半圆齿板，所述弧形半圆齿板远离旋转球的一侧与第三传动齿轮的表面啮合。

11、进一步地，所述传输结构包括第一传输软管，所述第一传输软管靠近回收箱的一侧与回收箱的底部固定连通，所述第一传输软管远离回收箱的一侧固定连通有第一电磁阀，所述第一电磁阀靠近第一连接板的一侧与第一连接板的表面固定连接，所述第一电磁阀的输出端固定连通有第二传输软管，所述第二传输软管远离第一电磁阀的一端与高压喷头的表面固定连通，所述储气罐的一侧固定连通有第三传输软管，所述第三传输软管远离储气罐的一侧固定连通有第二电磁阀，所述第二电磁阀的输出端固定连通有第四传输软管，所述第四传输软管远离第二电磁阀的一端与高压喷头的表面固定连通，所述第四传输软管位于第二传输软管远离旋转球的一侧。

12、进一步地，所述过滤板远离第二连接管的一侧设置有刮板，所述刮板靠近过滤板的一侧与过滤板的表面配合使用，所述刮板顶部的两端均固定连接有导向柱，所述导向柱的顶部贯穿回收箱并延伸至回收箱的顶部，所述回收箱的顶部设置有提拉杆，所述提拉杆的底部与导向柱的顶部固定连接。

13、进一步地，所述储气罐表面的两侧均套设有固定箍，所述固定箍的底部卡接于第二直线电机导轨的顶部，所述固定箍远离第二直线电机导轨的一侧设置有第一螺栓，所述第一螺栓的螺纹端贯穿固定箍并延伸至第二直线电机导轨的内部。

14、进一步地，所述伸缩杆的表面套设有限位套，所述限位套的一侧固定连接有稳定架，所述稳定架远离限位套的一侧与安装架的表面固定连接，所述稳定架靠近第二传输软管和第四传输软管的一侧均设置有导向杆，所述导向杆的内部分别与第二传输软管和第四传输软管的表面活动连接。

15、进一步地，所述导向杆远离稳定架的一侧设置有第二螺栓，所述第二螺栓的螺纹端贯穿导向杆并延伸至稳定架的内部，所述导向杆的内部设置有滚珠，所述滚珠的表面与导向杆的内部活动连接，所述滚珠的数量为若干个，且呈均匀分布，所述滚珠的表面分别与第二传输软管和第四传输软管的表面配合使用。

16、进一步地，所述伸缩杆的表面开设有螺纹，所述伸缩杆的底部贯穿安装架并延伸至安装架的底部，所述安装架的顶部和底部均设置有螺母，所述螺母的内部与伸缩杆的表面螺纹连接，所述螺母靠近安装架的一侧与安装架的表面配合使用。

17、进一步地，所述连接架远离安装架一侧的顶部设置有第三螺栓，所述第三螺栓的螺纹端贯穿连接架并延伸至安装架的内部，所述连接架表面的底部套设有限位卡箍，所述限位卡箍靠近安装架的一侧与安装架的表面固定连接。

18、本发明的有益效果：

19、1、本发明通过设置回收结构、转动结构、伸缩气缸、伸缩杆、安装架、旋转球、高压喷头、驱动结构和传输结构，能够通过转动结构对伸缩气缸、伸缩杆和安装架进行旋转，伸缩气缸和伸缩杆带动安装架、旋转球和高压喷头进行上下移动，驱动结构对旋转球和高压喷头的角度进行调节，传输结构能够将回收机构内部的打磨沙向高压喷头进行输送，回收结构能够对打磨沙进行回收利用，方便循环进行使用，解决现有的真空腔体打磨效果差的问题。

20、2、本发明通过设置回收结构，能够当异性真空腔体放置在网格板，进行异性真空腔体打磨时，打磨后的打磨沙通过网格板落入到收料仓的内部，通过第一连接管进行传输，当异性真空腔体底部为实体时，可将第一连接管直接拆卸，插入异性真空腔体的内部，同时启动气泵，气泵将第一连接管的空气和打磨沙进行吸动，打磨沙和空气通过第一连接管进入到回收箱的内部，通过过滤板进行过滤，打磨沙向下落去，空气通过过滤板进入到第二连接管的内部，空气通过第二连接管进入气泵的内部，气泵将空气通过第三连接管输入到储气罐的内部进行储存，为设备提供高压气体，方便对异性真空腔体的打磨，利于打磨沙的回收利用，避免材料的浪费。

21、3、本发明通过设置转动结构，能够通过启动第一驱动电机，第一驱动电机由于与固定架固定连接，固定架与第一连接板固定连接，因此第一驱动电机会带动第一传动齿轮转动，第一传动齿轮通过与第二传动齿轮啮合，带动第二传动齿轮转动，第二传动齿轮带动伸缩气缸进行转动，从而方便结构的传动，防护壳能够对第一传动齿轮和第二传动齿轮进行防护，能够方便伸缩气缸的转动，从而使底部高压喷头发生旋转，达到多角度调节的目的。

22、4、本发明通过设置驱动结构，能够通过启动第二驱动电机，第二驱动电机带动固定柱进行转动，固定柱带动第三传动齿轮转动，第三传动齿轮带动弧形半圆齿板转动，由于弧形半圆齿板与旋转球固定连接，旋转球通过第一转轴与安装架活动连接，当弧形半圆齿板转动时，弧形半圆齿板会带动旋转球围绕第一转轴转动，从而方便旋转球带动高压喷头位置进行调节，达到多角度对异性真空腔内部进行打磨的目的。

23、5、本发明通过设置传输结构，能够通过第一传输软管与回收箱底部连通，回收箱内部的打磨沙会受重力落入第一传输软管，当需要对高压喷头输入打磨沙时，启动第一电磁阀，第一传输软管中的打磨沙通过第一电磁阀落入到第二传输软管中，通过第二传输软管落入到高压喷头的内部，达到对高压喷头进行打磨沙供给的目的，当高压喷头需要高压空气注入时，高压空气进入到第三传输软管，通过打开第二电磁阀，第三传输软管中的高压空气通过第二电磁阀进入到第四传输软管的内部，然后进入到高压喷头的内部，通过高压气体从高压喷头内部喷出，由于负压，高压空气会带动打磨沙喷出，通过打磨沙与真空腔体的内壁接触，达到对真空腔体内壁进行打磨的目的，能够无死角的对真空腔体进行打磨。

24、6、本发明通过设置刮板、导向柱和提拉杆，能够通过上下移动提拉杆，提拉杆带动导向柱上下移动，导向柱带动刮板上下移动，通过刮板与过滤板的接触配合，达到对过滤板表面进行清理的目的，避免过滤板发生堵塞的问题。

25、7、本发明通过设置固定箍和第一螺栓，能够方便对储气罐进行限位，方便通过第一螺栓将固定箍和储气罐固定在第二直线电机导轨的顶部。

26、8、本发明通过设置限位套、稳定架和导向杆，能够通过伸缩杆表面套设限位套，限位套固定稳定架，稳定架与安装架固定，能够对安装架起到限位的作用，增加安装架的稳定性，同时导向杆能够方便对第二传输软管和第四传输软管进行限位导向，方便第二传输软管和第四传输软管的移动。

27、9、本发明通过设置第二螺栓、滚珠、螺母、第三螺栓和限位卡箍，能够通过导向杆一侧设置第二螺栓，能够方便导向杆与稳定架的安装和拆卸，方便结构的维修与更换，通过导向杆内部设置滚珠，能够方便第二传输软管和第四传输软管的移动，避免第二传输软管和第四传输软管的卡死，通过伸缩杆表面固定螺母，能够方便将伸缩杆与安装架进行连接固定，同时方便结构的拆卸，方便底部结构的维护和保养，通过连接架一侧设置第三螺栓，能够方便连接架的安装和拆卸，方便对轴承和第二驱动电机进行维护和保养，通过安装架一侧固定限位卡箍，能够对连接架进行初步的限位固定，方便连接架后续的安装和拆卸。