一种兼容性铝蚀刻液及制备方法与流程

本发明涉及蚀刻液，具体为一种兼容性铝蚀刻液及制备方法。

背景技术：

1、近年来，液晶显示行业高速发展，产品也趋于大型化,高画质,高功能化方向发展。人们对液晶显示器的需求量不断增加的同时，对产品的质量和画面精度也提出了更高的要求。

2、因此，亟需一种适用于不同厚度液晶显示屏含铝膜层且能保证蚀刻精度的兼容性铝蚀刻液，在蚀刻过程中只需控制蚀刻时间无需切换蚀刻液。

3、为此，我们提出一种兼容性铝蚀刻液及制备方法。

技术实现思路

1、为了弥补现有技术的不足，本发明提供如下技术方案：一种兼容性铝蚀刻液及制备方法，所述蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括：

2、

3、剩余部分为去离子水。

4、优选的，所述硝酸的浓度为70wt％，所述硝酸、醋酸以及磷酸均为电子级。

5、优选的，所述添加剂包含以下占蚀刻液总质量百分比的组合物：

6、表面活性剂       1％～4％；

7、金属抑制剂       0.1％～1％；

8、保护剂           0.5％～5％。

9、优选的，所述金属盐为有机酸金属盐与无机盐的混合物，所述金属盐中的有机酸金属盐为醋酸钠，所述金属盐中的无机盐为氯化钾。

10、优选的，所述表面活性剂为大分子长链有机物的非金属盐溶液和/或使用聚氧乙烯﹑蓖麻油、二甘醇胺、月桂醇硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、甘胆酸钠、单月桂基磷酸酯中的至少一种。

11、优选的，所述金属抑制剂为钼酸盐、硝酸盐、巯基苯并噻唑、月桂酸和硫醇苯并噻唑的复配混合物。

12、优选的，所述钼酸盐选自钼酸铵、钼酸钠、钼酸钾、磷钼酸铵、硅钼酸铵中的一种或多种。

13、优选的，所述述保护剂为有机多元磷酸、多硫酸盐和硫代硫酸盐中的一种或多种；所述有机多元磷酸为氨基三甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸和二乙烯三胺五甲叉膦酸中的一种。

14、一种兼容性铝蚀刻液的制备方法，包含以下步骤：

15、s1：按照以上所述的一种兼容性铝蚀刻液的原料进行备料；

16、s2：将强酸性离子交换树脂分别加入到硝酸、醋酸和磷酸中，搅拌混合，然后滤出强酸性离子交换树脂，控制或去除硝酸、醋酸和磷酸中的杂质离子；

17、s3：将一半的去离子水加入配料罐中，搅拌下加入磷酸，将去离子水和磷酸搅拌均匀后，搅拌下加入醋酸与硝酸混合均匀；

18、s4：往混匀的硝酸、醋酸、磷酸中和去离子水的混合物中加入添加剂，混合后再加入金属盐，然后加入剩余去离子水，充分搅拌；

19、s5：将混合物通入过滤器中过滤，得到所述兼容性铝蚀刻液。

20、优选的，所述强酸性离子交换树脂与硝酸、醋酸和磷酸混合搅拌是在常温、常压的状态下进行，搅拌的速度为60～85转/分钟，树脂与硝酸、醋酸以及磷酸的质量比为0.2～0.3，搅拌的时间为10分钟,所述过滤器中使用15000目的过滤网。

21、有益效果

22、与现有技术相比，本发明提供了一种兼容性铝蚀刻液及制备方法，具备以下有益效果：

23、1.该一种兼容性铝蚀刻液及制备方法，通过将硝酸含量控制在2.7％～3.3％，磷酸含量控制在63％～67％，醋酸含量控制在16％～18％，使得蚀刻液适用于不同厚度的液晶显示屏含铝膜层，且反应温和稳定，蚀刻精度高，更优先的，并添加金属盐以实现对液晶显示屏含铝膜层稳定和均匀的蚀刻，针对不同厚度的膜层，只需调整蚀刻时间即可达到蚀刻的目的，无需更换蚀刻液成分以及调整蚀刻液成分含量。

24、2.该一种兼容性铝蚀刻液及制备方法，通过本配方均匀混合而成的铝蚀刻液，与现有的蚀刻液相比，单一性强，不仅速率适中，反应稳定，无残留，形成的蚀刻角度在40～60度之间，基本无侧蚀现象，而且对客户端设备和人员均无影响。

技术特征：

1.一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括：

2.根据权利要求1所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述硝酸的浓度为70wt％，所述硝酸、醋酸以及磷酸均为电子级。

3.根据权利要求1所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述添加剂包含以下占蚀刻液总质量百分比的组合物：

4.根据权利要求1所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述金属盐为有机酸金属盐与无机盐的混合物，所述金属盐中的有机酸金属盐为醋酸钠，所述金属盐中的无机盐为氯化钾。

5.根据权利要求3所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述表面活性剂为大分子长链有机物的非金属盐溶液和/或使用聚氧乙烯﹑蓖麻油、二甘醇胺、月桂醇硫酸钠、十二烷基苯磺酸钠、甘胆酸钠、单月桂基磷酸酯中的至少一种。

6.根据权利要求3所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述金属抑制剂为钼酸盐、硝酸盐、巯基苯并噻唑、月桂酸和硫醇苯并噻唑的复配混合物。

7.根据权利要求6所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述钼酸盐选自钼酸铵、钼酸钠、钼酸钾、磷钼酸铵、硅钼酸铵中的一种或多种。

8.根据权利要求3所述的一种兼容性铝蚀刻液，其特征在于：所述述保护剂为有机多元磷酸、多硫酸盐和硫代硫酸盐中的一种或多种；所述有机多元磷酸为氨基三甲叉膦酸、乙二胺四甲叉膦酸、羟基乙叉二膦酸和二乙烯三胺五甲叉膦酸中的一种。

9.一种兼容性铝蚀刻液的制备方法，其特征在于，包含以下步骤：

10.根据权利要求9所述的一种兼容性铝蚀刻液的制备方法，其特征在于：所述强酸性离子交换树脂与硝酸、醋酸和磷酸混合搅拌是在常温、常压的状态下进行，搅拌的速度为60～85转/分钟，树脂与硝酸、醋酸以及磷酸的质量比为0.2～0.3，搅拌的时间为10分钟,所述过滤器中使用15000目的过滤网。

技术总结
本发明涉及蚀刻液技术领域，且公开了一种兼容性铝蚀刻液，所述蚀刻液的原料按重量百分比计算，包括：硝酸2.7％～3.3％；磷酸63％～67％；醋酸16％～18％；添加剂1.6％～10％；金属盐0.3％～0.5％；剩余部分为去离子水。该一种兼容性铝蚀刻液及制备方法，使得蚀刻液适用于不同厚度的液晶显示屏含铝膜层，且反应温和稳定，蚀刻精度高，更优先的，并添加金属盐以实现对不同厚度液晶显示屏含铝膜层稳定和均匀的蚀刻，针对不同厚度的膜层，只需调整蚀刻时间即可达到蚀刻的目的，无需更换蚀刻液成分以及调整蚀刻液成分含量。

技术研发人员：林秋玉,王维
受保护的技术使用者：福建中融科技有限公司
技术研发日：
技术公布日：2024/1/14